研究者基本情報

研究者

• 氏名

  張　慧, チョウ　エ

基本情報

• 研究者氏名（日本語）

  張, 慧

• 研究者氏名（カナ）

  チョウ, エ

使用外国語

• 発表に使用する外国語

  英語

• 執筆に使用する外国語

  英語

所属

• 群馬大学, 大学院理工学府, 助教

学歴

• 2003年09月, 2007年07月, 中国瀋陽化工学院, 自動化学科
• 2010年04月, 2013年03月, 群馬大学, 工学部, 先端生産システム工学専攻

学位

• 工学博士

所属学協会

• 応用物理学会

経歴

• 2013年04月, 2014年03月, 群馬大学, 高度人材育成センター, ポスドク研究員
• 2014年04月, 2016年03月, 群馬大学, 大学院理工学府電子情報部門, ポスドク研究員
• 2016年10月, 2017年03月, 早稲田大学, ナノ・ライフ創新研究機構, 次席研究員
• 2017年04月, 2019年03月, 早稲田大学, ナノ・ライフ創新研究機構, 招聘研究員
• 2017年04月, 2019年03月, 日本学術振興会, 群馬大学, 外国人特別研究員
• 2019年03月, 9999年, 群馬大学, 理工学府電子情報部門, 助教
• 2019年04月, 2020年03月, 早稲田大学, アンビエントロニクス研究所, 招聘研究員

研究活動情報

研究分野

• ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学）, 計測工学
• ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学）, 電子デバイス、電子機器
• ナノテク・材料, ナノバイオサイエンス
• ライフサイエンス, 医用システム, 高感度バイオセンサ

研究キーワード

• シミュレーション
• 電子顕微鏡
• ナノ電子デバイス
• 超高感度バイオセンサ
• ナノ微細加工・計測
• 熱電発電デバイス

論文

• Estimation of the Depletion Layer Thickness in Silicon Nanowire-Based Biosensors from Attomolar-Level Biomolecular Detection, Hui Zhang, Yawei Qiu, Fumiya Osawa, Meiko Itabashi, Noriyasu Ohshima, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi Izumi, Hayato Sone, 2023年04月12日, ACS Applied Materials & Interfaces, 15, 16, 19892, 19903, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Formation of 7-nm-wide Line&Spaces in Half Pitch by 3 Dimensional Self-assembly of Nano-dots Using Sphere Type PS-PDMS, Sumio Hosaka, Takashi Akahane, Kazumasa Ohyama, Hui Zhang, You Yin, Hayato Sone, 2021年12月, European Journal of Applied Physics, 3, 6, 84, 90, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Fabrication of Ultrahigh-Sensitivity Silicon Nanowire Biosensor by CMOS-Compatible Process for Detecting Biomolecules at Low Concentrations, Hui Zhang, Kei Okabe, Naoki Kikuchi, Noriyasu Ohshima, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi Izumi, Hayato Sone, 2019年12月, Proceedings of International Conference on Mechanical, Electrical and Medical Intelligent System
• Design and Fabrication of Silicon Nanowire-Based Biosensor with Integration of Critical Factors: Toward Ultrasensitive Specific Detection of Biomolecules, Hui Zhang*, Naoki Kikuchi, Noriyasu Ohshima, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi Izumi, Hayato Sone, 2020年11月03日, ACS Applied Materials & Interfaces, 12, 51808, 51819, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Modeling, simulation, fabrication, and characterization of a 10-μ W/cm² class si-nanowire thermoelectric generator for IoT applications, Motohiro Tomita,Shunsuke Oba,Yuya Himeda,Ryo Yamato,Keisuke Shima,Takehiro Kumada,Mao Xu,Hiroki Takezawa,Kohhei Mesaki,Kazuaki Tsuda,Shuichiro Hashimoto,Tianzhuo Zhan,Hui Zhang,Yoshinari Kamakura,Yuhhei Suzuki,Hiroshi Inokawa,Hiroya Ikeda,Takashi Matsukawa,Takeo Matsuki,Takanobu Watanabe, 2018年11月, IEEE Transactions on Electron Devices, 65, 11, 5180, 5188, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• The Possibility of mW/cm2-class On-Chip Power Generation Using Ultra-Small Si Nanowire based Thermoelectric Generators, Hui Zhang,Taiyu Xu,Shuichiro Hashimoto,Takanobu Watanabe, 2018年04月, IEEE Transactions on Electron Devices, IEEE Transactions on Electron Devices, 65, 5, 2016, 2023, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• 10μW/cm2-Class High Power Density Silicon Thermoelectric Energy Harvester Compatible with CMOS-VLSI Technology, Motohiro Tomita,Shunsuke Ohba,Yuya Himeda,Ryo Yamato,Keisuke Shima,Takehiro Kumada,Mao Xu,Hiroki Takezawa,Kohei Mesaki,Kazuaki Tsuda,Shuichiro Hashimoto,Tianzhuo Zhan,Hui Zhang,Yoshinari Kamakuri,Yuhei Suzuki,Hiroshi Inokawa,Hiroya Ikeda,Takashi Matsukawa,Takeo Matsuki,Takanobu Watanabe, 2018年, 2018 Symposium on VLSI Technology, 2018 Symposium on VLSI Technology, 93, 94, 研究論文（国際会議プロシーディングス）
• Fabrication of N-type Silicon Nanowire Biosensor for Sub-10-Femtomolar Concentration of Immunoglobulin, Tomoya Tashiro,Hui Zhang,Kakeru Oshima,Yuya Sakurai,Takaaki Suzuki,Noriyasu Ohshima,Takashi Izumi,Hayato Sone, 2018年, Key Engineering Materials, Key Engineering Materials, 790, 28, 33, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• A Scalable Si-based Micro Thermoelectric Generator, Takanobu Watanabe,Shuhei Asada,Taiyu Xu,Shuichiro Hashimoto,Shunsuke Ohba,Yuya Himeda,Ryo Yamato,Hui Zhang,Motohiro Tomita,Takashi Matsukawa,Yoshinari Kamakura,Hiroya Ikeda, 2017年, 2017 IEEE ELECTRON DEVICES TECHNOLOGY AND MANUFACTURING CONFERENCE (EDTM), 86, 87, 研究論文（国際会議プロシーディングス）
• 電子線リソグラフィを用いたSiナノワイヤバイオセンサの作製と低濃度抗体検出, 田代 朋也,大嶋 駆,櫻井 裕也,張 慧,鈴木 孝明,大嶋 紀安,和泉 孝志,曾根 逸人, 2017年, 電気学会「バイオ・マイクロシステム研究会」, BMS-17-49, 11, 16, 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
• 相変化記録の多値化と高速化へのアプローチおよび微細性, 保坂 純男,イン ユウ\,張 慧, 2017年, 映情学技報, 41(21), MMS2017-48, 25, 30, 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
• Sub 10 ns fast switching and resistance control in lateral GeTe-based phase-change memory, You Yin,Yulong Zhang,Yousuke Takehana,Ryota Kobayashi,Hui Zhang,Sumio Hosaka, 2016年06月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 55, 6, 06GG07 1, 6, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• The dependence of crystallization on temperature in the nanosecond timescale for GeTe-based fast phase-change resistor, Hui Zhang,Yulong Zhang,You Yin,Sumio Hosaka, 2016年04月, CHEMICAL PHYSICS LETTERS, 650, 102, 106, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Advanced nanofabrication and its application to nano phase-change memory for reducing writing current, You Yin,Dai Nishijo,Keita Sawao,Kazuma Ohyama,Takashi Akahane,Takuya Komori,Miftakhul Huda,Hui Zhang,Sumio Hosaka, 2016年, 13th IEEE International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology (ICSICT), 13th IEEE International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology (ICSICT), 1708, 1732, 研究論文（国際会議プロシーディングス）
• Observation of Magnetic Nanodot Arrays Using Near-Field Polarization Microscope, Ryosuke Takahashi,Tao Jin,Zulfakri Bin Mohamad,Hui Zhang,Miftakhul Huda,You Yin,Sumio Hosaka, 2015年05月, Key Engineering Materials, Key Engineering Materials, 643, 9, 13, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Prototype of atomic force microscope with high resolution optical microscope for observing magnetic nanodot arrays, Tao Jin,Ryosuke Takahashi,Hui Zhang,You Yin,Sumio Hosaka, 2015年05月, Key Engineering Materials, Key Engineering Materials, 643, 185, 189, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Long Range Ordering of 5-nm-sized Dot Arrays with a Pitch of <10 nm along EB-drawn Guide Lines using PS-PDMS Self-assembly, Hui Zhang,Miftakhul Huda,Jing Liu,Yulong Zhang,Tao Jin,Sumio Hosaka,You Yin, 2015年05月, Key Engineering Materials, Key Engineering Materials, 643, 3, -7, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Ordering of 6-nm-sized nanodot arrays with 10-nm-pitch using self-assembled block copolymers along electron beam-drawn guide-lines, Sumio Hosaka,Takashi Akahane,Miftakhul Huda,Takuya Komori,Hui Zhang,You Yin, 2014年07月, MICROELECTRONIC ENGINEERING, 123, 54, 57, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Estimation of pattern resolution using NaCl high-contrast developer by Monte Carlo simulation of electron beam lithography, Hui Zhang,Miftakhul Huda,Takuya Komori,Yulong Zhang,You Yin,Sumio Hosaka, 2014年06月, MICROELECTRONIC ENGINEERING, 121, 142, 146, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Controlling of 6 nm Sized and 10 nm Pitched Dot Arrays Ordered along Narrow Guide Lines Using PS-PDMS Self-Assembly, Sumio Hosaka,Takashi Akahane,Miftakhul Huda,Hui Zhang,You Yin, 2014年05月, ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES, 6, 9, 6208, 6211, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Ordering of self-assembled 5-nm-diameter poly(dimethylsiloxane) nanodots with sub-10nm pitch using ultra-narrow electron-beam-drawn guide lines and three-dimensional control, Hui Zhang,Sumio Hosaka,You Yin, 2014年03月, APPLIED PHYSICS LETTERS, 104, 9, 093107 1, 4, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Estimation of HSQ Resist Profile by Using High Contrast Developement Model for High Resolution EB Lithography, Hui Zhang,Takuya Komori,Jing Liu,Yulong Zhang,Zulfakri Mohamad,You Yin,Sumio Hosaka, 2014年, ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING IV, 596, 97, 100, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Fabrication of 6-nm-sized nanodot arrays with 12 nm-pitch along guide lines using both self-assembling and electron beam-drawing for 5 Tbit/in(2) magnetic recording, Sumio Hosaka,Takashi Akahane,Miftakhul Huda,Takuya Komori,Hui Zhang,You Yin, 2014年, ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING IV, 596, 73, +, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Fabrication of Carbon Nanodot Arrays with a Pitch of 20 nm for Pattern-Transfer of PDMS Self-Assembled Nanodots, Jing Liu,Miftakhul Huda,Zulfakri Bin Mohamad,Hui Zhang,You Yin,Sumio Hosaka, 2014年, ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING IV, 596, 88, 91, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Simulation of Fine Resist Profile Formation by Electron Beam Drawing and Development with Solubility Rate Based on Energy Deposition Distribution, Hui Zhang,Takuya Komori,Yulong Zhang,You Yin,Sumio Hosaka, 2013年12月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 52, 12, 126504 1, 5, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Volume-change-free GeTeN films for high-performance phase-change memory, You Yin,Hui Zhang,Sumio Hosaka,Yang Liu,Qi Yu, 2013年12月, JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 46, 50, 505311 1, 5, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Dependence of Electron Beam Diameter, Electron Energy, Resist Thickness and Resist Type for Forming Nano-sized Dot Arrays in EB Lithography by Using Monte Carlo Simulation, Hui Zhang,YuLong Zhang,Sumio Hosaka,You Yin, 2013年05月, American Journal of Nanoscience and Nanotechnology, American Journal of Nanoscience and Nanotechnology, 1, 11, 16, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Fabrication of 25-nm-pitched CoPt magnetic dot arrays using 30-keV-electron beam drawing, RIE and ion milling, Zulfakri Bin Mohamad,Miftakhul Huda,Takuya Komori,Rosalena Irma Alip,Hui Zhang,You Yin,Sumio Hosaka, 2013年01月, Key Engineering Materials, Key Engineering Materials, 596, 147, 151, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Effect of Salty Development on Forming HSQ Resist Nanodot Arrays with a Pitch of 15×15 nm2 by 30-keV Electron Beam lithography, Takuya Komori,Hui Zhang,Takashi Akahane,Zulfakri Bin Mohamad,You Yin,Sumio Hosaka, 2013年, Key Engineering Materials, ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING III, 534, 113, +, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Comparison of Nano-sized Pattern of Calixarene and ZEP520 Resists by Using Energy Deposition Distribution, Hui Zhang,Takuya Komori,Zulfakri Mohamad,You Yin,Sumio Hosaka, 2013年, ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING III, 534, 107, +, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Fabrication of 30-nm-Pitched CoPt Magnetic Dot Arrays Using 30-keV-Electron Beam Lithography and Ion Milling for Patterned Media, Zulfakri Mohamad,Rosalena Irma Alip,Takuya Komori,Takashi Akahane,Hui Zhang,Miftakhul Huda,You Yin,Sumio Hosaka, 2013年, ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING III, 534, 118, +, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Electron Beam Lithography of 15× 15 nm2 Pitched Nanodot Arrays with a Size of Less than 10nm Using High Development Contrast Salty Developer, Takuya Komori,Hui Zhang,Takashi Akahane,Zulfakri Bin Mohamad,You Yin,Sumio Hosaka, 2012年06月, Japanese Journal of Applied Physics, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 51, 6, 06FB02 1, 4, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Coercive Force Reduced by Nanometer-sized Dot Pitch in CoPt Magnetic Dot Arrays for Patterned Media Measured by Micro X-Ray Magnetic Circular Dichroism, Zulfakri Bin Mohamad,Takashi Akahane,Takuya Komori,Hui Zhang,Rosalena Irma Alip,Motohiro Suzuki,M. Takagi,Naomi Kawamura,You Yin,Sumio Hosaka, 2012年, Jurnal Teknologi, Jurnal Teknologi, 59, 37, 39, 研究論文（学術雑誌）
• Estimation of Nanometer-sized EB patterning using Energy deposition distribution in Monte Carlo Simulation, Hui Zhang,Takuro Tamura,You Yin,Sumio Hosaka, 2011年12月, Key Engineering Materials, Key Engineering Materials, 497, 127, 132, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• A New Algorithm of Temperature Control in the Chemical Vapor Deposition Process, Hui Zhang,DeCheng Yuan, 2010年, Journal of Shenyang University of Chemical Technology, Journal of Shenyang University of Chemical Technology, 24, 275, -278, 研究論文（学術雑誌）

講演・口頭発表等

• 体外受精卵評価のためのリング型マルチバイオセンサ作製と変位出力測定, 新井貫人, 菊池直樹, 和田圭祐, 齋藤暁子, 張慧, 坂田利弥, 曾根逸人, 量子生命科学先端フォーラム2022冬の研究会, 2022年11月27日, 2022年11月26日, 2022年11月27日, 日本語
• 電子線描画法によるp型およびn型SiNWの作製とFET特性評価, 板橋芽比子, 邱亜威, 大澤郁弥, 大嶋紀安, 和泉孝志, 張慧, 曾根逸人, 量子生命科学先端フォーラム 2022冬の研究会, 2022年11月26日, 2022年11月26日, 2022年11月27日, 日本語
• Siナノワイヤバイオセンサの細線化による生体分子の高感度・特異的検出の実現, 張慧, 邱亜威, 板橋芽比子, 大澤郁弥, 大嶋紀安, 坂田利弥, 和泉孝志, 加治佐平, 曾根逸人, 量子生命科学先端フォーラム 2022冬の研究会, 2022年11月26日, 2022年11月16日, 2022年11月27日, 日本語
• Investigation of Thinning Effect on Sensitivity of Silicon Nanowire Biosensor for Ultra-Sensitive and Specific Biomolecule Detection, Hui Zhang, Yawei Qiu, Fumiya Osawa, Meiko Itabashi, Noriyasu Ohshima, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi Izumi, Hayato Sone, 35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2022), 2022年11月10日, 2022年11月08日, 2022年11月11日, 英語
• 微小生体分子観察のための近接場蛍光顕微鏡の開発, 金井 元紀, 寺内 優友, 小野 雅之, 張 慧, 曾根 逸人, 量子生命科学先端フォーラム 2021冬の研究会, 2021年12月16日, 日本語
• 電子線リソグラフィによる Siナノワイヤセンサの作製とアンモニアガス反応評価, 宮田 青空, 神野 龍人, 村 康太, 斎藤 高弘, 張 慧, 曾根 逸人, 量子生命科学先端フォーラム 2021冬の研究会, 2021年12月16日, 日本語
• 2方向観察沈降測定法を用いたマウス受精卵成長過程の質量測定, 菊池 直樹, 齋藤 暁子, 丸山拡希, 吉川 朝哉, 外山 吉治, 佐々木 直哉, 張 慧, 保坂 純男, 坂田 利弥, 曾根 逸人, 量子生命科学先端フォーラム 2021冬の研究会, 2021年12月16日, 日本語
• 電子線描画法を用いた超高感度 Siナノワイヤバイオセンサの作製と特性評価, 邱 亜威, 新井 出海, 板橋 芽比子, 大澤 郁弥, 大嶋 紀安, 和泉 孝志, 張 慧, 曾根 逸人, 量子生命科学先端フォーラム 2021冬の研究会, 2021年12月16日, 日本語
• 高感度Siナノワイヤバイオセンサ作製のための最適なドーピング濃度の探求, 新井 出海, 邱 亜威, 板橋 芽比子, 大澤 郁弥, 大嶋 紀安, 和泉 孝志, 張 慧, 曾根 逸人, 量子生命科学先端フォーラム 2021冬の研究会, 2021年12月16日, 2021年12月16日, 2021年12月16日, 日本語
• Fabrication of Ultrahigh-Sensitivity Silicon Nanowire Biosensor by CMOS-Compatible Process for Detecting Biomolecules at Low Concentrations, Hui Zhang,Kei Okabe,Naoki Kikuchi,Noriyasu Ohshima,Taira Kajisa,Toshiya Sakata,Takashi Izumi,Hayato Sone, 3rd International Conference on Mechanical, Electrical and Medical Intelligent System, 2019年12月04日, 英語, 国際会議
• 30 keV電子線描画法を用いた3 Tbit/in.2 (ピッチ15 nm)超高密度磁気記録用ドット列を形成, 小森琢哉,張慧,赤羽隆志, 第72回応用物理学会学術講演会, 2011年08月29日, 日本語, 国内会議
• p型シリコンナノワイヤを用いた熱電発電デバイスの作製と特性評価, 姫田 悠矢,橋本 修一郎,麻田 修平,徐 泰宇,大場 俊輔,大和 亮,張 慧,松川 貴,渡邉 孝信, 第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017年03月16日, 日本語, 国内会議
• Short Channel Effect of Si Nanowire Thermoelectric Generator, 張 慧,徐 泰宇,麻田 修平,橋本 修一郎,姫田 悠矢,大場 俊輔,大和 亮,渡邉 孝信, 第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017年03月14日, 英語, 国内会議
• In-plane熱流を利用したSiナノワイヤ型熱電デバイスの発電特性におけるAlN熱伝導層幅依存性, 熊田 剛大,大和 亮,大場 俊輔,姫田 悠矢,徐 茂,橋本 修一郎,張 慧,松川 貴,渡邉 孝信, 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017年09月07日, 日本語, 国内会議
• 電子線リソグラフィを用いたSiナノワイヤバイオセンサの作製と低濃度抗体検出, 田代 朋也,大嶋 駆,櫻井 裕也,張 慧,鈴木 孝明,大嶋 紀安,和泉 孝志,曾根 逸人, 電気学会 バイオ・マイクロシステム研究会, 2017年10月04日, 英語, 国内会議
• 横型Siナノワイヤ熱電変換デバイスの熱エンジニアリング, 富田 基裕,熊田 剛大,島 圭佑,詹 天卓,張 慧,松川 貴,松木 武雄,渡邉 孝信, 第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018年09月20日, 日本語, 国内会議
• 平面型シリコンナノワイヤ熱電デバイスにおける熱流を制御する最適基板構造, 島 圭佑,富田 基裕,張 慧,詹 天卓,松川,松木 武雄,渡邉 孝信, 第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018年09月20日, 日本語, 国内会議
• プレーナ型Siナノワイヤ熱電発電デバイスの排熱効率を向上する基板材料および貫通基板構造の検討, 富田 基裕,大場 俊輔,姫田 悠矢,大和亮,島 圭佑,熊田 剛大,徐 茂,武澤 宏樹,目崎 航平,津田 和瑛,橋本 修一郎,詹 天卓,張 慧,鎌倉 良成,鈴木 悠平,猪川 洋,池田 浩也,松川 貴,松木 武雄,渡邉 孝信, ADMETA Satellite Workshop, 2018年11月02日, 日本語, 国内会議
• マイクロ熱電発電デバイスのスケーリング戦略, 渡邉 孝信,富田 基裕,詹 天卓,張 慧,松川 貴,松木 武雄,鎌倉 良成,池田 浩也, JST-CREST「微小エネルギーを利用した革新的な環境発電技術の創出」領域公開シンポジウム, 2018年11月07日, 日本語, 国内会議
• 電子線描画法による高感度シリコンナノワイヤバイオセンサの作製およびアトモル濃度の抗原抗体特異結合の検出, 張慧,大嶋紀安,大嶋駆,菊池直樹,加治佐平,坂田利弥,和泉孝志,曾根逸人, 第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019年03月09日, 日本語, 国内会議
• 2⽅向観察沈降測定法を⽤いたマウス受精卵の成⻑に伴う質量変化測定, 菊池 直樹,吉川 朝哉,斎藤 暁子,佐々木 直哉,外山 吉治,張 慧,保坂 純男,坂田 利弥,曾根 逸人, 第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019年09月19日, 日本語, 国内会議
• シリコンナノワイヤ細線化によるバイオセンサ検出感度の評価, 張 慧,岡部 圭,菊池 直樹,大嶋 紀安,加治佐 平,坂田 利弥,和泉 孝志,曾根 逸人, 第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019年09月18日, 日本語, 国内会議
• A New Algorithm of Temperature Control in the Chemical Vapor Deposition Process, Hui Zhang, 2nd International Symposium on MONODZUKURI, 2009年10月09日, 英語, 国際会議
• Fabrication of Nanometer Sized Si Dot Arrays Using Reactive Ion Etching with Metal Dot Arrays, Takuro Tamura,Hui Zhang,Takashi Akahane,Miftakhul Huda,Takuya Komori,You Yin,Sumio Hosaka, 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2010年12月09日, 英語, 国際会議
• Monte Carlo Simulation of Electron Scattering Processes for High-Resolution Electron Beam Lithography, Hui Zhang,Takuro Tamura,You Yin,Sumio Hosaka, 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2010年12月09日, 英語, 国際会議
• Estimation of Nanometer-Scale Patterning of Calixarene Resist in Electron Beam Lithography, Hui Zhang,You Yin,Sumio Hosaka, International Conference on Nanoscience and Technology (China Nano), 2011年09月07日, 英語, 国際会議
• EB drawing of 15 nm×15 nm Pitched Nanodot Arrays with a Size of <10nm using High Contrast Developer, Takuya Komori,Hui Zhang,Takashi Akahane,Zulfakri Bin Mohamad Mohamad,You Yin,Sumio Hosaka, 24th International Micro-processes and Nanotechnology Conference(MNC2011), 2011年10月24日, 英語, 国際会議
• Fabrication of 30-nm-Pitched CoPt Magnetic Dot Arrays Using 30-keV-Electron Beam Lithography and Ion Milling for Patterned Media, Zulfakri Bin Mohamad,Takuya Komori,Takashi Akahane,Rosalena Irma Alip,Hui Zhang,You Yin,Sumio Hosaka, 3st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2011年12月08日, 英語, 国際会議
• The Effect of Salt Development for Forming HSQ Resist Nanodot Arrays with a Pitch of 15 × 15 nm2 by 30-keV EB drawing, Takuya Komori,Hui Zhang,Takashi Akahane,Zulfakri Bin Mohamad,You Yin,Sumio Hosaka, 3st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2011年12月08日, 英語, 国際会議
• Calculation of High-contrast HSQ resist using Energy Deposition Distribution in EB lithography, Hui Zhang,Takuya Komori,You Yin,Sumio Hosaka, 3st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2011年12月08日, 英語, 国際会議
• The Simulation of Forming Fine Pitched Dot Array with a Dot Size of <10 nm Based on High Development Contrast Property in 30-keV lithography, Hui Zhang,Takuya Komori,You Yin,Sumio Hosaka, 9th International Symposium on Advancing the Chemical Sciences Challenges in Nanoscience, 2012年08月31日, 英語, 国際会議
• Fabrication of Carbon Nanodot Arrays with a Pitch of 20 nm for Pattern-Transfer of PDMS Self-Assembled nanodots, Jing Liu,Miftakhul Huda,Hui Zhang,You Yin,Sumio Hosaka, 4th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2012年12月07日, 英語, 国際会議
• Fabrication of 25-nm-Pitched CoPt Magnetic Dot Arrays using 30-keV-Electron Beam Drawing, RIE and Ion milling, Zulfakri Bin Mohamad,Miftakhul Huda,Takuya Komori,Rosalena Irma Alip,Hui Zhang,You Yin,Sumio Hosaka, 4th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2012年12月07日, 英語, 国際会議
• A new modeling of Calculating Resist Profile based on Energy Deposition Distribution in Electron beam Lithography, Hui Zhang,Takuya Komori,Jing Liu,Yu Long Zhang,You Yin,Sumio Hosaka, 4nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2012年12月07日, 英語, 国際会議
• Simulation of Fine Resist Profile Formation by Electron Beam Drawing and Development with Solubility Rate Based on Energy Deposition Distribution, Hui Zhang,Takuya Komori,Sumio Hosaka,You Yin, 7th International Conference on Materials for Advanced Technologies (ICMAT), 2013年06月30日, 英語, 国際会議
• Margin of 30-keV-EB drawing and graphoepitaxy of PS-PDMS self-assembly with EB drawn guide lines for formation of sub-10-nm-sized dot arrays, Sumio Hosaka,Takashi Akahane,Takuya Komori,Miftakhul Huda,Hui Zhang,You Yin, 39th International Micro & Nano Engineering Conference (MNE 2013), 2013年09月16日, 英語, 国際会議
• Estimation of Pattern Resolution Using NaCl High Contrast Developer by Monte Carlo Simulation of Electron Beam Lithography, Hui Zhang,Takuya Komori,Yulong Zhang,You Yin,Sumio Hosaka, 39th International Micro & Nano Engineering Conference (MNE 2013), 2013年09月16日, 英語, 国際会議
• Single-nanodot Arrays and Single-nanohalf-pitch Lines Formed using PS-PDMS Self-assembly and Electron Beam Drawing, Sumio Hosaka,Miftakhul Huda,Hui Zhang,Takuya Komori,You Yin, 26th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2013), 2013年11月05日, 英語, 国際会議
• Nano-contact for small power consumption in phase change memory, Sumio Hosaka,Hui Zhang,Miftakhul Huda,You Yin, 25th Symposium on Phase Change Oriented Science, 2013年11月28日, 英語, 国際会議
• Scanning Near-field Polarization Microscopy for magnetization of nanometer-sized magnetic column, Sumio Hosaka,Ryosuke Takahashi,Tao Jin,Zulfakri Bin Mohamad,Hui Zhang,Miftakhul Huda,Hayato Sone,You Yin, 5th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2013年12月19日, 英語, 国際会議
• Observation of magnetic nanodot arrays by using scanning near-field polarization microscope, Ryosuke Takahashi,Jin Tao,Zulfakri Bin Mohanmad,Hui Zhang,Miftakhul Huda,Vuleminh Nhat,You Yin,Sumio Hosaka, 5th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2013年12月19日, 英語, 国際会議
• Fabrication of Ultrahigh Density 10-nm-Order Sized Si Nanodot Array by Pattern-Transfer of Block Copolymer Self-Assembled Nanodot Array, Miftakhul Huda,Hui Zhang,Jing Liu,You Yin,Sumio Hosaka, 5th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2013年12月19日, 英語, 国際会議
• “Long Range Ordering of Nanodots with Sub-10-nm-Pitch and 5-nm-dot Size using EB-drawn Guide Line and Self-assembly of Polystyrene-Poly(dimethylsiloxane), Hui Zhang,Miftakhul Huda,Jing Liu,Yulong Zhang,You Yin,Sumio Hosaka, 5th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2013年12月19日, 英語, 国際会議
• Observation of Nanometer-Sized Magnetic Dots and its Magnetization using a Scanning Near-Field Polarization Microscopy, Sumio Hosaka,Ryosuke Takahashi,Tao Jin,Hui Zhang,Miftakhul Huda,Hayato Sone,You Yin, 3rd International Conference on Advanced Materials and Practical Nanotechnology (3rd ICAMPN), 2014年08月14日, 英語, 国際会議
• Observation of Nanometer-Sized Magnetization of PtCo Magnetic Dot Arrays Using Scanning Near-Field Polarization Microscopy, Sumio Hosaka,Ryosuke Takahashi,Tao Jin,Hui Zhang,Miftakhul Huda,You Yin, 40th International Micro & Nano Engineering Conference (MNE 2014), 2014年09月22日, 英語, 国際会議
• Thickness Dependence On Ordering of Dots and Lines Along EB-drawn Guide Lines Using Self-assembly of Polystyrene-Poly(dimethyl-siloxane), Kazumasa Ohyama,Hui Zhang,Miftakhul Huda,Hayato Sone,You Yin,Sumio Hosaka, 1st International Symposium of Gunma University Medical Innovation (GUMI) and 6th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2014年12月05日, 英語, 国際会議
• Ordering of either nano-dot arrays or nano-lines along EB-drawn resist guide lines using PS-PDMS self-assembly with a molecular weight of 1.46 kg/mol, Sumio Hosaka,Mazumasa Ohyama,Hui Zhang,You Yin,Hayato Sone, 41st International Micro & Nano Engineering Conference (MNE 2015), 2015年09月21日, 英語, 国際会議
• LabVIEW-Controlled Scanning Near-Field Polarization Microscope, Shun Kozaki,Tao Jin,Hui Zhang,Vuleminh Nhat,Sachiya Nomoto,Hayato Sone,You Yin,Sumio Hosaka,Ken Miura, 11th International Workshop on Radiation Effects on Semiconductor Devices for Space Applications (11th RASEDA) and The 7th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (7th AMDE), 2015年11月11日, 英語, 国際会議
• Sub 10 ns Fast Switching and Resistance Control in Lateral GeTe-Based Phase-Change Memory, You Yin,Yulong Zhang,Yousuke Takehana,Ryouta Kobayashi,Hui Zhang,Sumio Hosaka, 28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2015), 2015年11月10日, 英語, 国際会議
• Challenge to Control 5-nm-sized Dot Arrays with a Pitch of <10 nm in a Long-range Order along EB-drawn Guide Lines Using PS-PDMS Self-assembly, Hui Zhang,Sumio Hosaka,You Yin, 28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2015), 2015年11月10日, 英語, 国際会議
• Advanced Nanofabrication and its Application to Nano Phase-Change Memory for Reducing Writing Current, Y. Yin,D. Nishijo,K. Sawao,K. Ohyama,T. Akahane,T. Komori,M. Huda,H. Zhang,S. Hosaka, 2016 IEEE 13th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology (ICSICT-2016), 2016年10月25日, 英語, 国際会議
• A Scalable Si-based Micro Thermoelectric Generator, Takanobu Watanabe,Shuhei Asada,Taiyu Xu,Shuichiro Hashimoto,Shunsuke Ohba,Yuya Himeda,Ryo Yamato,Hui Zhang,Motohiro Tomita,Takashi Matsukawa,Yoshinari Kamakura,Hiroya Ikeda, Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM2017), 2017年03月02日, 英語, 国際会議
• 熱電発電デバイスの微細化戦略, 渡邉孝信,張慧,橋本修一郎,松川貴,鎌倉良成,池田浩也, フォノンエンジニアリング研究グループ・JST「微小エネ」領域合同研究会, 2017年07月14日, 日本語, 国内会議
• Fabrication of Silicon Nanowire Biosensor Using Electron Beam Lithography and Low-Concentration Antibody Detection, Hayato Sone,Tomoya Tashiro,Kakeru Oshima,Yuya Sakurai,Hui Zhang,Takaaki Suzuki,Noriyasu Ohshima,Takashi Izumi, 4th International Symposium of Gunma University Medical Innovation, 2017年11月06日, 英語, 国際会議
• Polymer Nano-Line Array Pattern Formed by Blockcopolymer Self-Assembly, Rika Sendai,Hui Zhang,Hayato Sone,Sumio Hosaka, Gunma International Symposium 2018 (GIS2018), 2018年01月17日, 英語, 国際会議
• 10μW/cm2-Class High Power Density Silicon Thermoelectric Energy Harvester Compatible with CMOS-VLSI Technology, M. Tomita,S. Ohba,Y. Himeda,R. Yamato,K. Shima,T. Kumada,M. Xu,H. Takezawa,K. Mesaki,K. Tsuda,S. Hashimoto,T. Zhan,H. Zhang,Y. Kamakuri,Y. Suzuki,H. Inokawa,H. Ikeda,T. Matsukawa,T. Matsuki,T. Watanabe, 2018 Symposium on VLSI Technology, 2018年06月20日, 英語, 国際会議
• Substrate Heat Resistance Engineering for Realizing High Performance Si Nanowires Thermoelectric Generator, Motohiro Tomita,Takehiro Kumada,Keisuke Shima,Tianzhuo Zhan,Hui Zhang,Takashi Matsukawa,Takeo Matsuki,Takanobu Watanabe, 2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2018), 2018年09月09日, 英語, 国際会議
• Optimum substrate design of planar type Si nanowire thermoelectric generator, Keisuke Shima,Motohiro Tomita,Hui Zhang,Tianzhuo Zhan,Takashi Matsukawa,Takeo Matsuki,Takanobu Watanabe, 2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2018), 2018年09月09日, 英語, 国際会議
• Fabrication of Sub-20 nm Width Silicon Nanowire-based Biosensor for Detecting Biomolecules at Attomolar Concentrations, Hui Zhang,Kakeru Oshima,Naoki Kikuchi,Noriyasu Ohshima,Taira Kajisa,Toshiya Sakata,Takashi\, Izumi,Hayato Sone, The 14th International Conference on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures (ACSIN-14) &The 26th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy (ICSPM26), 2018年10月21日, 英語, 国際会議
• Fabrication of Highly Sensitive Silicon Nanowire Biosensor by Electron Beam Lithography for Detecting Antigen-Antibody Specific Binding at Attomolar Concentration, Hui Zhang,Noriyasu Ohshima,Kakeru Oshima,Naoki Kikuchi,Taira Kajisa,Toshiya Sakata,Takashi Izumi,Hayato Sone, 5th International Symposium of Gunma University Medical Innovation and 9th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2018年12月06日, 英語, 国際会議
• CMOS Friendly Silicon-based Micro Thermoelectric Generator, Takanobu Watanabe,Motohiro Tomita,Tianzhuo Zhan,Hui Zhang,Takashi Matsukawa,Takeo Matsuki,Yoshinari Kamakuri,Hiroya Ikeda, 5th International Conference on Nanoscience and Nanotechnology, 2019年01月28日, 英語, 国際会議

共同研究・競争的資金等の研究課題

• Siナノワイヤの細線化とアスペクト比調整によるウイルス感染超早期診断の実現, 張慧, 科研費, 科研費, 若手研究, 群馬大学, 2021年, 2024年, 研究代表者, 21K18071
• 感染症早期診断のためのSiナノワイヤを用いたサブaM感度バイオセンサの創製, 張 慧, 日本学術振興会（文部科学省）, 科学研究費補助金 研究活動スタート支援, 2019年04月, 2021年03月, 研究代表者, 競争的資金
• iPS細胞のガン化を判別する高感度ナノワイヤバイオセンサアレイの創製, 曾根 逸人, 日本学術振興会（文部科学省）, 科学研究費補助金 特別研究員奨励費, 2017年04月, 2019年03月, 競争的資金
• 体外受精卵の成長をモニタリングするリング型マルチ卵重計の創製, 曾根 逸人, 日本学術振興会（文部科学省）, 科学研究費補助金 基盤研究(B), 2019年04月, 2020年03月, 競争的資金

科学研究費の申請・獲得状況

• 若手研究, Siナノワイヤの細線化とアスペクト比調整によるウイルス感染超早期診断の実現, 21K18071, 新規, 2021年