研究者基本情報

研究者

• 氏名

  張　慧, チョウ　エ

所属

• 電子情報部門, 助教

基本情報

• 研究者氏名（日本語）

  張, 慧

• 研究者氏名（カナ）

  チョウ, エ

論文上での記載著者名

• Hui Zhang
• 張慧
• 張 慧
• H. Zhang

使用外国語

• 発表に使用する外国語

  英語

• 執筆に使用する外国語

  英語

所属

• 群馬大学, 大学院理工学府, 助教
• 群馬大学, 大学院理工学府, 助教
• 早稲田大学, 理工学術院, 招聘研究員

所属部局等

• 所属情報

  大学院理工学府, 電子情報部門

学歴

• 2003年09月, 2007年07月, 中国瀋陽化工学院, 自動化学科
• 2010年04月, 2013年03月, 群馬大学, 工学部, 先端生産システム工学専攻

学位

• 工学博士
• 工学博士, 群馬大学

所属学協会

• 応用物理学会

経歴

• 2013年04月, 2014年03月, 群馬大学, 高度人材育成センター, ポスドク研究員
• 2014年04月, 2016年03月, 群馬大学, 大学院理工学府電子情報部門, ポスドク研究員
• 2016年10月, 2017年03月, 早稲田大学, ナノ・ライフ創新研究機構, 次席研究員
• 2017年04月, 2019年03月, 早稲田大学, ナノ・ライフ創新研究機構, 招聘研究員
• 2017年04月, 2019年03月, 日本学術振興会, 群馬大学, 外国人特別研究員
• 2019年03月, 9999年, 群馬大学, 理工学府電子情報部門, 助教
• 2019年04月, 2020年03月, 早稲田大学, アンビエントロニクス研究所, 招聘研究員

研究活動情報

研究分野

• ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学）, 計測工学
• ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学）, 電子デバイス、電子機器
• ナノテク・材料, ナノバイオサイエンス
• ライフサイエンス, 医用システム, 高感度バイオセンサ

研究キーワード

• シミュレーション
• 電子顕微鏡
• ナノ電子デバイス
• 超高感度バイオセンサ
• ナノ微細加工・計測
• 熱電発電デバイス

論文

• Ultrasensitive Specific Detection of Anti-Influenza A H1N1 Hemagglutinin Monoclonal Antibody Using Silicon Nanowire Field Effect Biosensors, Hui Zhang,Fumiya Osawa, Haru Okamoto, Yawei Qiu, Zhiheng Liu, Noriyasu Ohshima, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi Izumi, and Hayato Sone, 2025年01月, ACS Applied Bio Materials, 8, 2, 1038, 1049, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• The possibility of ultrasensitive detection of biomolecules using silicon nanowire biosensor with structural optimization, Hui Zhang, Mayuna Abe, Fumiya Osawa, Yawei Qiu, Noriyasu Ohshima, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi Izumi, Hayato Sone, 2024年03月12日, Japanese Journal of Applied Physics, 63, 3, 03SP85-1, 03SP85-7, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Multiplex Quantification of Exosomes via Multiple Types of Nanobeads Labeling Combined with Laser Scanning Detection, Masayuki Ono, Hui Zhang, Hayato Sone, Makoto Itonaga, 2023年10月09日, Analytical Chemistry, 95, 42, 15577, 15584, 研究論文（学術雑誌）
• Estimation of the Depletion Layer Thickness in Silicon Nanowire-Based Biosensors from Attomolar-Level Biomolecular Detection, Hui Zhang, Yawei Qiu, Fumiya Osawa, Meiko Itabashi, Noriyasu Ohshima, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi Izumi, Hayato Sone, 2023年04月12日, ACS Applied Materials & Interfaces, 15, 16, 19892, 19903, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Formation of 7-nm-wide Line&Spaces in Half Pitch by 3 Dimensional Self-assembly of Nano-dots Using Sphere Type PS-PDMS, Sumio Hosaka, Takashi Akahane, Kazumasa Ohyama, Hui Zhang, You Yin, Hayato Sone, 2021年12月, European Journal of Applied Physics, 3, 6, 84, 90, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Fabrication of Ultrahigh-Sensitivity Silicon Nanowire Biosensor by CMOS-Compatible Process for Detecting Biomolecules at Low Concentrations, Hui Zhang, Kei Okabe, Naoki Kikuchi, Noriyasu Ohshima, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi Izumi, Hayato Sone, 2019年12月, Proceedings of International Conference on Mechanical, Electrical and Medical Intelligent System
• Design and Fabrication of Silicon Nanowire-Based Biosensor with Integration of Critical Factors: Toward Ultrasensitive Specific Detection of Biomolecules, Hui Zhang*, Naoki Kikuchi, Noriyasu Ohshima, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi Izumi, Hayato Sone, 2020年11月03日, ACS Applied Materials & Interfaces, 12, 51808, 51819, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Modeling, Simulation, Fabrication and Characterization of a 10 μW/cm2 Class Si-Nanowire Thermoelectric Generator for IoT Applications, Motohiro Tomita; Shunsuke Ohba; Yuya Himeda; Ryo Yamato; Keisuke Shima; Takehiro Kumada; Mao Xu; Hiroki Takezawa; Kohei Mesaki; Kazuaki Tsuda; Shuichiro Hashimoto; Tianzhuo Zhan; Hui Zhang; Yoshinari Kamakuri; Yuhei Suzuki; Hiroshi Inokawa; Hiroya Ikeda; Takashi Matsukawa; Takeo Matsuki; Takanobu Watanabe, 2018年11月, IEEE Transaction on Electron Devices, IEEE Transactions on Electron Devices, 65, 11, 5180, 5188, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• The possibility of mW/cm2-class on-chip power generation using ultrasmall si nanowire-based thermoelectric generators, Hui Zhang; Taiyu Xu; Shuichiro Hashimoto; Takanobu Watanabe, 2018年05月01日, IEEE Transactions on Electron Devices, 65, 5, 2016, 2023, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• 10μW/cm2-Class High Power Density Silicon Thermoelectric Energy Harvester Compatible with CMOS-VLSI Technology, Motohiro Tomita; Shunsuke Ohba; Yuya Himeda; Ryo Yamato; Keisuke Shima; Takehiro Kumada; Mao Xu; Hiroki Takezawa; Kohei Mesaki; Kazuaki Tsuda; Shuichiro Hashimoto; Tianzhuo Zhan; Hui Zhang; Yoshinari Kamakuri; Yuhei Suzuki; Hiroshi Inokawa; Hiroya Ikeda; Takashi Matsukawa; Takeo Matsuki; Takanobu Watanabe, 2018年10月25日, 2018 Symposium on VLSI Technology, Digest of Technical Papers - Symposium on VLSI Technology, 2018-June, 93, 94, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Fabrication of N-type Silicon Nanowire Biosensor for Sub-10-Femtomolar Concentration of Immunoglobulin, Tomoya Tashiro; Hui Zhang; Kakeru Oshima; Yuya Sakurai; Takaaki Suzuki; Noriyasu Ohshima; Takashi Izumi; Hayato Sone, 2018年, Key Engineering Materials, Key Engineering Materials, 790, 28, 33, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• A Scalable Si-based Micro Thermoelectric Generator, Takanobu Watanabe; Shuhei Asada; Taiyu Xu; Shuichiro Hashimoto; Shunsuke Ohba; Yuya Himeda; Ryo Yamato; Hui Zhang; Motohiro Tomita; Takashi Matsukawa; Yoshinari Kamakura; Hiroya Ikeda, 2017年, 2017 IEEE ELECTRON DEVICES TECHNOLOGY AND MANUFACTURING CONFERENCE (EDTM), 86, 87, 研究論文（国際会議プロシーディングス）
• 電子線リソグラフィを用いたSiナノワイヤバイオセンサの作製と低濃度抗体検出, 田代 朋也; 大嶋 駆; 櫻井 裕也; 張 慧; 鈴木 孝明; 大嶋 紀安; 和泉 孝志; 曾根 逸人, 2017年, 電気学会「バイオ・マイクロシステム研究会」, BMS-17-49, 11, 16, 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
• 相変化記録の多値化と高速化へのアプローチおよび微細性, 保坂 純男; イン ユウ,張 慧, 2017年, 映情学技報, 41(21), MMS2017-48, 25, 30, 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
• Sub 10 ns fast switching and resistance control in lateral GeTe-based phase-change memory, You Yin; Yulong Zhang; Yousuke Takehana; Ryota Kobayashi; Hui Zhang; Sumio Hosaka, 2016年06月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 55, 6, 06GG07 1, 6, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• The dependence of crystallization on temperature in the nanosecond timescale for GeTe-based fast phase-change resistor, Hui Zhang; Yulong Zhang; You Yin; Sumio Hosaka, 2016年04月, CHEMICAL PHYSICS LETTERS, 650, 102, 106, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Advanced nanofabrication and its application to nano phase-change memory for reducing writing current, You Yin; Dai Nishijo; Keita Sawao; Kazumasa Ohyama; Takashi Akahane; Takuya Komori; Miftakhul Huda; Hui Zhang; Sumio Hosaka, 2016年, 2016 13th IEEE International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology, ICSICT 2016 - Proceedings, 199, 202, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Observation of magnetic nanodot arrays using near-field polarization microscope, Ryosuke Takahashi; Tao Jin; Zulfakri Bin Mohamad; Hui Zhang; Miftakhul Huda; Vu Le Mine Nhat; You Yin; Sumio Hosaka, 2013年, Key Engineering Materials, 643, 9, 13, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Prototype of atomic force microscope with high resolution optical microscope for observing magnetic nanodot arrays, Tao Jin; Ryosuke Takahashi; Hui Zhang; You Yin; Sumio Hosaka, 2013年, Key Engineering Materials, 643, 185, 189, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Long range ordering of 5-nm-sized dot arrays with a pitch of 10 nm along EB-drawn Guide Lines using PS-PDMS self-assembly, Hui Zhang; Miftakhul Huda; Jing Liu; Yulong Zhang; Tao Jin; Sumio Hosaka; You Yin, 2013年, Key Engineering Materials, 643, 3, 7, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Ordering of 6-nm-sized nanodot arrays with 10-nm-pitch using self-assembled block copolymers along electron beam-drawn guide-lines, Sumio Hosaka; Takashi Akahane; Miftakhul Huda; Takuya Komori; Hui Zhang; You Yin, 2014年07月, MICROELECTRONIC ENGINEERING, 123, 54, 57, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Estimation of pattern resolution using NaCl high-contrast developer by Monte Carlo simulation of electron beam lithography, Hui Zhang; Miftakhul Huda; Takuya Komori; Yulong Zhang; You Yin; Sumio Hosaka, 2014年06月, MICROELECTRONIC ENGINEERING, 121, 142, 146, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Controlling of 6 nm Sized and 10 nm Pitched Dot Arrays Ordered along Narrow Guide Lines Using PS-PDMS Self-Assembly, Sumio Hosaka; Takashi Akahane; Miftakhul Huda; Hui Zhang; You Yin, 2014年05月, ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES, 6, 9, 6208, 6211, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Ordering of self-assembled 5-nm-diameter poly(dimethylsiloxane) nanodots with sub-10nm pitch using ultra-narrow electron-beam-drawn guide lines and three-dimensional control, Hui Zhang; Sumio Hosaka; You Yin, 2014年03月, APPLIED PHYSICS LETTERS, 104, 9, 093107 1, 4, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Estimation of HSQ Resist Profile by Using High Contrast Developement Model for High Resolution EB Lithography, Hui Zhang; Takuya Komori; Jing Liu; Yulong Zhang; Zulfakri Mohamad; You Yin; Sumio Hosaka, 2014年, ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING IV, 596, 97, 100, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Fabrication of 6-nm-sized nanodot arrays with 12 nm-pitch along guide lines using both self-assembling and electron beam-drawing for 5 Tbit/in(2) magnetic recording, Sumio Hosaka; Takashi Akahane; Miftakhul Huda; Takuya Komori; Hui Zhang; You Yin, 2014年, ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING IV, 596, 73, +, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Fabrication of Carbon Nanodot Arrays with a Pitch of 20 nm for Pattern-Transfer of PDMS Self-Assembled Nanodots, Jing Liu; Miftakhul Huda; Zulfakri Bin Mohamad; Hui Zhang; You Yin; Sumio Hosaka, 2014年, ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING IV, 596, 88, 91, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Simulation of Fine Resist Profile Formation by Electron Beam Drawing and Development with Solubility Rate Based on Energy Deposition Distribution, Hui Zhang; Takuya Komori; Yulong Zhang; You Yin; Sumio Hosaka, 2013年12月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 52, 12, 126504 1, 5, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Volume-change-free GeTeN films for high-performance phase-change memory, You Yin; Hui Zhang; Sumio Hosaka; Yang Liu; Qi Yu, 2013年12月, JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 46, 50, 505311 1, 5, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Dependence of Electron Beam Diameter, Electron Energy, Resist Thickness and Resist Type for Forming Nano-sized Dot Arrays in EB Lithography by Using Monte Carlo Simulation, Hui Zhang; YuLong Zhang; Sumio Hosaka; You Yin, 2013年05月, American Journal of Nanoscience and Nanotechnology, American Journal of Nanoscience and Nanotechnology, 1, 11, 16, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Fabrication of 25-nm-Pitched CoPt Magnetic Dot Arrays Using 30-keV-Electron Beam Drawing, RIE and Ion-Milling, Zulfakri Mohamad; Miftakhul Huda; Takuya Komori; Rosalena Irma Alip; Hui Zhang; You Yin; Sumio Hosaka, 2014年, ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING IV, 596, 92, +, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Effect of Salty Development on Forming HSQ Resist Nanodot Arrays with a Pitch of 15×15 nm2 by 30-keV Electron Beam lithography, Takuya Komori; Hui Zhang; Takashi Akahane; Zulfakri Bin Mohamad; You Yin; Sumio Hosaka, 2013年, Key Engineering Materials, ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING III, 534, 113, +, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Comparison of Nano-sized Pattern of Calixarene and ZEP520 Resists by Using Energy Deposition Distribution, Hui Zhang; Takuya Komori; Zulfakri Mohamad; You Yin; Sumio Hosaka, 2013年, ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING III, 534, 107, +, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Fabrication of 30-nm-Pitched CoPt Magnetic Dot Arrays Using 30-keV-Electron Beam Lithography and Ion Milling for Patterned Media, Zulfakri Mohamad; Rosalena Irma Alip; Takuya Komori; Takashi Akahane; Hui Zhang; Miftakhul Huda; You Yin; Sumio Hosaka, 2013年, ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING III, 534, 118, +, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Electron Beam Lithography of 15× 15 nm2 Pitched Nanodot Arrays with a Size of Less than 10nm Using High Development Contrast Salty Developer, Takuya Komori; Hui Zhang; Takashi Akahane; Zulfakri Bin Mohamad; You Yin; Sumio Hosaka, 2012年06月, Japanese Journal of Applied Physics, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 51, 6, 06FB02 1, 4, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Coercive Force Reduced by Nanometer-sized Dot Pitch in CoPt Magnetic Dot Arrays for Patterned Media Measured by Micro X-Ray Magnetic Circular Dichroism, Zulfakri Bin Mohamad; Takashi Akahane; Takuya Komori; Hui Zhang; Rosalena Irma Alip; Motohiro Suzuki; M. Takagi; Naomi Kawamura; You Yin; Sumio Hosaka, 2012年, Jurnal Teknologi, Jurnal Teknologi, 59, SUPPL.3, 37, 39, 研究論文（学術雑誌）
• Estimation of nanometer-sized EB patterning using Energy deposition distribution in Monte Carlo simulation, Hui Zhang; Takuro Tamura; You Yin; Sumio Hosaka, 2012年, Key Engineering Materials, 497, 127, 132, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• A New Algorithm of Temperature Control in the Chemical Vapor Deposition Process, Hui Zhang; DeCheng Yuan, 2010年, Journal of Shenyang University of Chemical Technology, Journal of Shenyang University of Chemical Technology, 24, 275, -278, 研究論文（学術雑誌）
• Ultrasensitive Specific Detection of Anti-Influenza A H1N1 Hemagglutinin Monoclonal Antibody Using Silicon Nanowire Field Effect Biosensors, Hui Zhang; Fumiya Osawa; Haru Okamoto; Yawei Qiu; Zhiheng Liu; Noriyasu Ohshima; Taira Kajisa; Toshiya Sakata; Takashi Izumi; Hayato Sone, 2025年01月, ACS Applied Bio Materials

  DOI
• The possibility of ultrasensitive detection of biomolecules using silicon nanowire biosensor with structural optimization, Hui Zhang; Mayuna Abe; Fumiya Osawa; Yawei Qiu; Noriyasu Ohshima; Taira Kajisa; Toshiya Sakata; Takashi Izumi; Hayato Sone, 2024年03月12日, Japanese Journal of Applied Physics, 63, 03SP85-1, 03SP85-7, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Multiplex Quantification of Exosomes via Multiple Types of Nanobeads Labeling Combined with Laser Scanning Detection, Masayuki Ono; Hui Zhang; Hayato Sone; Makoto Itonaga, 2023年10月09日, Analytical Chemistry, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Estimation of the Depletion Layer Thickness in Silicon Nanowire-Based Biosensors from Attomolar-Level Biomolecular Detection, Hui Zhang; Yawei Qiu; Fumiya Osawa; Meiko Itabashi; Noriyasu Ohshima; Taira Kajisa; Toshiya Sakata; Takashi Izumi; Hayato Sone, 2023年04月12日, ACS Applied Materials & Interfaces, 15, 16, 19892, 19903, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Formation of 7-nm-wide Line&Spaces in Half Pitch by 3 Dimensional Self-assembly of Nano-dots Using Sphere Type PS-PDMS, Sumio Hosaka; Takashi Akahane; Kazumasa Ohyama; Hui Zhang; You Yin; Hayato Sone, 2021年12月, European Journal of Applied Physics, 3, 6, 84, 90, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Design and Fabrication of Silicon Nanowire-Based Biosensor with Integration of Critical Factors: Toward Ultrasensitive Specific Detection of Biomolecules, Hui Zhang; Naoki Kikuchi; Noriyasu Ohshima; Taira Kajisa; Toshiya Sakata; Takashi Izumi; Hayato Sone, 2020年11月03日, ACS Applied Materials & Interfaces, 12, 46, 51808, 51819, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Fabrication of Ultrahigh-Sensitivity Silicon Nanowire Biosensor by CMOS-Compatible Process for Detecting Biomolecules at Low Concentrations, Hui Zhang; Kei Okabe; Naoki Kikuchi; Noriyasu Ohshima; Taira Kajisa; Toshiya Sakata; Takashi Izumi; Hayato Sone, 2019年12月, Proceedings of International Conference on Mechanical, Electrical and Medical Intelligent System 2019 (ICMEMIS2019), Proceedings of International Conference on Mechanical, Electrical and Medical Intelligent System 2019 (ICMEMIS2019)
• Modeling, Simulation, Fabrication, and Characterization of a 10-μW/cm² Class Si-Nanowire Thermoelectric Generator for IoT Applications, Motohiro Tomita; Shunsuke Ohba; Yuya Himeda; Ryo Yamato; Keisuke Shima; Takehiro Kumada; Mao Xu; Hiroki Takezawa; Kohei Mesaki; Kazuaki Tsuda; Shuichiro Hashimoto; Tianzhuo Zhan; Hui Zhang; Yoshinari Kamakuri; Yuhei Suzuki; Hiroshi Inokawa; Hiroya Ikeda; Takashi Matsukawa; Takeo Matsuki; Takanobu Watanabe, 2018年09月, IEEE Transactions on Electron Devices, IEEE Transactions on Electron Devices, pp, 99, 1, 9, 研究論文（学術雑誌）

MISC

• 電子線描画法による高感度シリコンナノワイヤバイオセンサの作製およびアトモル濃度の抗原抗体特異結合の検出, 張慧; 大嶋紀安; 大嶋駆; 菊池直樹; 加治佐平; 坂田利弥; 和泉孝志; 曾根逸人, 2019年03月, 第66回応用物理学会春季学術講演会講演要旨, 9a-S421-12, 研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）
• シリコンナノワイヤ細線化によるバイオセンサ検出感度の評価, ZHANG Hui; 岡部圭; 菊池直樹; 大嶋紀安; 加治佐平; 坂田利弥; 和泉孝志; 曾根逸人, 2019年, 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 80th

講演・口頭発表等

• アンモニアガス検知に向けたSnO2 ナノ粒子を用いたガスセンサの作製, 梅澤昂斗、西島大貴、佐藤和好、張慧、曾根逸人, 群馬大学S メンブレンおよび生体分子化学プロジェクト 第5 回産学連携交流会（第125 回複合材料懇話会）, 2024年12月09日, 2024年12月09日, 2024年12月09日
• 低濃度アンモニアガス検知のための半導体式ガスセンサの設計と試作, 西島大貴、梅澤昂斗、佐藤和好、張慧、曾根逸人, 群馬大学S メンブレンおよび生体分子化学プロジェクト 第5 回産学連携交流会（第125 回複合材料懇話会）, 2024年12月09日, 2024年12月09日, 2024年12月09日
• Ultrasensitive Specific Detection of Anti-influenza A H1N1 Hemagglutinin Monoclonal Antibody Using Silicon Nanowire Field Effect Biosensors, Hui Zhang, Fumiya Osawa, Haru Okamoto, Yawei Qiu, Zhiheng Liu, Noriyasu Ohshima, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi Izumi, Hayato Sone, 37th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2024), 2024年11月14日, 2024年11月12日, 2024年11月15日, 日本国, 国際会議
• Challenges in Forming Sub-10 nm Nanowires via Directed Self-Assembly for Future Applications in Silicon Nanowire Biosensor, Yawei Qiu, Hui Zhang, Fumiya Osawa, Noriyasu Ohshima, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi Izumi, Hayato Sone, 2024年11月13日, 2024年11月12日, 2024年11月15日, 国際会議
• COMSOL有限要素解析法を用いた高感度Siナノワイヤバイオセンサの最適な構造の予測, 張 慧, 阿部 真優菜, 大澤 郁弥, 邱 亜威, 大嶋 紀安, 加治佐 平, 坂田 利弥, 和泉 孝志, 曾根 逸人, 第85回応用物理学会秋季学術講演会, 2024年09月19日, 2024年09月17日, 2024年09月21日
• 有限要素解析法による体外受精卵評価用リング型マルチバイオセンサの変位量解析, 柿沼 李帆, 和田 圭祐, 新井 貫人, 齋藤 暁子, 張 慧, 坂田 利弥, 曾根 逸人, 第85回応用物理学会秋季学術講演会, 2024年09月18日, 2024年09月17日, 2024年09月21日
• 体外受精卵評価のための リング型マルチバイオセンサ作製と質量応答評価, 柿沼 李帆, 新井 貫人, 和田 圭祐, 齋藤 暁子, 張 慧, 坂田 利弥, 曾根 逸人, 群馬大学Sメンブレン・プロジェクト第4回産学連携交流会, 2023年11月11日, 2023年11月11日, 2023年11月11日, 日本語
• 電子線描画法によるシリコンナノワイヤガスセンサの作製とアンモニアガス反応評価, 神野龍人, 西島大貴, 宮田青空, 張慧, 曾根逸人, 群馬大学Sメンブレン・プロジェクト第4回産学連携交流会, 2023年11月11日, 2023年11月11日, 2023年11月11日, 日本語
• Fabrication of Ring-Shaped Multi-Biosensor for in vitro Embryo Evaluation and Measurement of Weight Detection Sensitivity, Hayato Sone, Kanto Arai, Keisuke Wada, Riho Kakinuma, Akiko Saito, Hui Zhang, Toshiya Sakata, 36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023), 2023年11月16日, 2023年11月14日, 2023年11月18日, 英語, 国際会議
• The Possibility of Ultrasensitive Detection of Biomolecules using Silicon Nanowire Biosensor with Structural Optimization, Hui Zhang, Mayuna Abe, Fumiya Osawa, Yawei Qiu, Noriyasu Ohshima, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi Izumi, Hayato Sone, 36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023), 2023年11月06日, 2023年11月14日, 2023年11月18日, 英語, 国際会議
• 体外受精卵評価のためのリング型マルチバイオセンサ作製と質量検出感度測定, 和田 圭祐, 新井 貫人, 柿沼 李帆, 齋藤 暁子, 張 慧, 坂田 利弥, 曾根 逸人, 第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023年9月21日, 2023年09月21日, 2023年09月19日, 2023年09月23日, 日本語, 国内会議
• Siナノワイヤバイオセンサ空乏領域の推測による高感度化要因の解明, 張 慧, 邱 亜威, 大澤 郁弥, 大嶋 紀安, 加治佐 平, 坂田 利弥, 和泉 孝志, 曾根 逸人, 第84回応用物理学会秋季学術講演会, 2023年09月21日, 2023年09月19日, 2023年09月23日, 日本語
• Siナノワイヤバイオセンサ電気特性と検出感度の幅及び極性依存性, 大澤 郁弥, 張 慧, 邱 亜威, 板橋 芽比子, 大嶋 紀安, 加治佐 平, 坂田 利弥, 和泉 孝志, 曾根 逸人, 第84回応用物理学会秋季学術講演会, 2023年09月21日, 2023年09月19日, 2023年09月23日, 日本語, 国内会議
• 体外受精卵評価のためのリング型マルチバイオセンサ作製と変位出力測定, 新井貫人, 菊池直樹, 和田圭祐, 齋藤暁子, 張慧, 坂田利弥, 曾根逸人, 量子生命科学先端フォーラム2022冬の研究会, 2022年11月27日, 2022年11月26日, 2022年11月27日, 日本語
• 電子線描画法によるp型およびn型SiNWの作製とFET特性評価, 板橋芽比子, 邱亜威, 大澤郁弥, 大嶋紀安, 和泉孝志, 張慧, 曾根逸人, 量子生命科学先端フォーラム 2022冬の研究会, 2022年11月26日, 2022年11月26日, 2022年11月27日, 日本語
• Siナノワイヤバイオセンサの細線化による生体分子の高感度・特異的検出の実現, 張慧, 邱亜威, 板橋芽比子, 大澤郁弥, 大嶋紀安, 坂田利弥, 和泉孝志, 加治佐平, 曾根逸人, 量子生命科学先端フォーラム 2022冬の研究会, 2022年11月26日, 2022年11月16日, 2022年11月27日, 日本語
• Investigation of Thinning Effect on Sensitivity of Silicon Nanowire Biosensor for Ultra-Sensitive and Specific Biomolecule Detection, Hui Zhang, Yawei Qiu, Fumiya Osawa, Meiko Itabashi, Noriyasu Ohshima, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi Izumi, Hayato Sone, 35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2022), 2022年11月10日, 2022年11月08日, 2022年11月11日, 英語
• 微小生体分子観察のための近接場蛍光顕微鏡の開発, 金井 元紀, 寺内 優友, 小野 雅之, 張 慧, 曾根 逸人, 量子生命科学先端フォーラム 2021冬の研究会, 2021年12月16日, 日本語
• 電子線リソグラフィによる Siナノワイヤセンサの作製とアンモニアガス反応評価, 宮田 青空, 神野 龍人, 村 康太, 斎藤 高弘, 張 慧, 曾根 逸人, 量子生命科学先端フォーラム 2021冬の研究会, 2021年12月16日, 日本語
• 2方向観察沈降測定法を用いたマウス受精卵成長過程の質量測定, 菊池 直樹, 齋藤 暁子, 丸山拡希, 吉川 朝哉, 外山 吉治, 佐々木 直哉, 張 慧, 保坂 純男, 坂田 利弥, 曾根 逸人, 量子生命科学先端フォーラム 2021冬の研究会, 2021年12月16日, 日本語
• 電子線描画法を用いた超高感度 Siナノワイヤバイオセンサの作製と特性評価, 邱 亜威, 新井 出海, 板橋 芽比子, 大澤 郁弥, 大嶋 紀安, 和泉 孝志, 張 慧, 曾根 逸人, 量子生命科学先端フォーラム 2021冬の研究会, 2021年12月16日, 日本語
• 高感度Siナノワイヤバイオセンサ作製のための最適なドーピング濃度の探求, 新井 出海, 邱 亜威, 板橋 芽比子, 大澤 郁弥, 大嶋 紀安, 和泉 孝志, 張 慧, 曾根 逸人, 量子生命科学先端フォーラム 2021冬の研究会, 2021年12月16日, 2021年12月16日, 2021年12月16日, 日本語
• Fabrication of Ultrahigh-Sensitivity Silicon Nanowire Biosensor by CMOS-Compatible Process for Detecting Biomolecules at Low Concentrations, Hui Zhang; Kei Okabe; Naoki Kikuchi; Noriyasu Ohshima; Taira Kajisa; Toshiya Sakata; Takashi Izumi; Hayato Sone, 3rd International Conference on Mechanical, Electrical and Medical Intelligent System, 2019年12月04日, 英語, 国際会議
• 30 keV電子線描画法を用いた3 Tbit/in.2 (ピッチ15 nm)超高密度磁気記録用ドット列を形成, 小森琢哉; 張慧; 赤羽隆志, 第72回応用物理学会学術講演会, 2011年08月29日, 日本語, 国内会議
• p型シリコンナノワイヤを用いた熱電発電デバイスの作製と特性評価, 姫田 悠矢; 橋本 修一郎; 麻田 修平; 徐 泰宇; 大場 俊輔; 大和 亮; 張 慧; 松川 貴; 渡邉 孝信, 第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017年03月16日, 日本語, 国内会議
• Short Channel Effect of Si Nanowire Thermoelectric Generator, 張 慧; 徐 泰宇; 麻田 修平; 橋本 修一郎; 姫田 悠矢; 大場 俊輔; 大和 亮; 渡邉 孝信, 第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017年03月14日, 英語, 国内会議
• In-plane熱流を利用したSiナノワイヤ型熱電デバイスの発電特性におけるAlN熱伝導層幅依存性, 熊田 剛大; 大和 亮; 大場 俊輔; 姫田 悠矢; 徐 茂; 橋本 修一郎; 張 慧; 松川 貴; 渡邉 孝信, 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017年09月07日, 日本語, 国内会議
• 電子線リソグラフィを用いたSiナノワイヤバイオセンサの作製と低濃度抗体検出, 田代 朋也; 大嶋 駆; 櫻井 裕也; 張 慧; 鈴木 孝明; 大嶋 紀安; 和泉 孝志; 曾根 逸人, 電気学会 バイオ・マイクロシステム研究会, 2017年10月04日, 英語, 国内会議
• 横型Siナノワイヤ熱電変換デバイスの熱エンジニアリング, 富田 基裕; 熊田 剛大; 島 圭佑; 詹 天卓; 張 慧; 松川 貴; 松木 武雄; 渡邉 孝信, 第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018年09月20日, 日本語, 国内会議
• 平面型シリコンナノワイヤ熱電デバイスにおける熱流を制御する最適基板構造, 島 圭佑; 富田 基裕; 張 慧; 詹 天卓; 松川; 松木 武雄; 渡邉 孝信, 第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018年09月20日, 日本語, 国内会議
• プレーナ型Siナノワイヤ熱電発電デバイスの排熱効率を向上する基板材料および貫通基板構造の検討, 富田 基裕; 大場 俊輔; 姫田 悠矢; 大和亮; 島 圭佑; 熊田 剛大; 徐 茂; 武澤 宏樹; 目崎 航平; 津田 和瑛; 橋本 修一郎; 詹 天卓; 張 慧; 鎌倉 良成; 鈴木 悠平; 猪川 洋; 池田 浩也; 松川 貴; 松木 武雄; 渡邉 孝信, ADMETA Satellite Workshop, 2018年11月02日, 日本語, 国内会議
• マイクロ熱電発電デバイスのスケーリング戦略, 渡邉 孝信; 富田 基裕; 詹 天卓; 張 慧; 松川 貴; 松木 武雄; 鎌倉 良成; 池田 浩也, JST-CREST「微小エネルギーを利用した革新的な環境発電技術の創出」領域公開シンポジウム, 2018年11月07日, 日本語, 国内会議
• 電子線描画法による高感度シリコンナノワイヤバイオセンサの作製およびアトモル濃度の抗原抗体特異結合の検出, 張慧; 大嶋紀安; 大嶋駆; 菊池直樹; 加治佐平; 坂田利弥; 和泉孝志; 曾根逸人, 第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019年03月09日, 日本語, 国内会議
• 2⽅向観察沈降測定法を⽤いたマウス受精卵の成⻑に伴う質量変化測定, 菊池 直樹; 吉川 朝哉; 斎藤 暁子; 佐々木 直哉; 外山 吉治; 張 慧; 保坂 純男; 坂田 利弥; 曾根 逸人, 第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019年09月19日, 日本語, 国内会議
• シリコンナノワイヤ細線化によるバイオセンサ検出感度の評価, 張 慧; 岡部 圭; 菊池 直樹; 大嶋 紀安; 加治佐 平; 坂田 利弥; 和泉 孝志; 曾根 逸人, 第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019年09月18日, 日本語, 国内会議
• A New Algorithm of Temperature Control in the Chemical Vapor Deposition Process, Hui Zhang, 2nd International Symposium on MONODZUKURI, 2009年10月09日, 英語, 国際会議
• Fabrication of Nanometer Sized Si Dot Arrays Using Reactive Ion Etching with Metal Dot Arrays, Takuro Tamura; Hui Zhang; Takashi Akahane; Miftakhul Huda; Takuya Komori; You Yin; Sumio Hosaka, 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2010年12月09日, 英語, 国際会議
• Monte Carlo Simulation of Electron Scattering Processes for High-Resolution Electron Beam Lithography, Hui Zhang; Takuro Tamura; You Yin; Sumio Hosaka, 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2010年12月09日, 英語, 国際会議
• Estimation of Nanometer-Scale Patterning of Calixarene Resist in Electron Beam Lithography, Hui Zhang; You Yin; Sumio Hosaka, International Conference on Nanoscience and Technology (China Nano), 2011年09月07日, 英語, 国際会議
• EB drawing of 15 nm×15 nm Pitched Nanodot Arrays with a Size of <10nm using High Contrast Developer, Takuya Komori; Hui Zhang; Takashi Akahane; Zulfakri Bin Mohamad Mohamad; You Yin; Sumio Hosaka, 24th International Micro-processes and Nanotechnology Conference(MNC2011), 2011年10月24日, 英語, 国際会議
• Fabrication of 30-nm-Pitched CoPt Magnetic Dot Arrays Using 30-keV-Electron Beam Lithography and Ion Milling for Patterned Media, Zulfakri Bin Mohamad; Takuya Komori; Takashi Akahane; Rosalena Irma Alip; Hui Zhang; You Yin; Sumio Hosaka, 3st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2011年12月08日, 英語, 国際会議
• The Effect of Salt Development for Forming HSQ Resist Nanodot Arrays with a Pitch of 15 × 15 nm2 by 30-keV EB drawing, Takuya Komori; Hui Zhang; Takashi Akahane; Zulfakri Bin Mohamad; You Yin; Sumio Hosaka, 3st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2011年12月08日, 英語, 国際会議
• Calculation of High-contrast HSQ resist using Energy Deposition Distribution in EB lithography, Hui Zhang; Takuya Komori; You Yin; Sumio Hosaka, 3st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2011年12月08日, 英語, 国際会議
• The Simulation of Forming Fine Pitched Dot Array with a Dot Size of <10 nm Based on High Development Contrast Property in 30-keV lithography, Hui Zhang; Takuya Komori; You Yin; Sumio Hosaka, 9th International Symposium on Advancing the Chemical Sciences Challenges in Nanoscience, 2012年08月31日, 英語, 国際会議
• Fabrication of Carbon Nanodot Arrays with a Pitch of 20 nm for Pattern-Transfer of PDMS Self-Assembled nanodots, Jing Liu; Miftakhul Huda; Hui Zhang; You Yin; Sumio Hosaka, 4th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2012年12月07日, 英語, 国際会議
• Fabrication of 25-nm-Pitched CoPt Magnetic Dot Arrays using 30-keV-Electron Beam Drawing, RIE and Ion milling, Zulfakri Bin Mohamad; Miftakhul Huda; Takuya Komori; Rosalena Irma Alip; Hui Zhang; You Yin; Sumio Hosaka, 4th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2012年12月07日, 英語, 国際会議
• A new modeling of Calculating Resist Profile based on Energy Deposition Distribution in Electron beam Lithography, Hui Zhang; Takuya Komori; Jing Liu; Yu Long Zhang; You Yin; Sumio Hosaka, 4nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2012年12月07日, 英語, 国際会議
• Simulation of Fine Resist Profile Formation by Electron Beam Drawing and Development with Solubility Rate Based on Energy Deposition Distribution, Hui Zhang; Takuya Komori; Sumio Hosaka; You Yin, 7th International Conference on Materials for Advanced Technologies (ICMAT), 2013年06月30日, 英語, 国際会議
• Margin of 30-keV-EB drawing and graphoepitaxy of PS-PDMS self-assembly with EB drawn guide lines for formation of sub-10-nm-sized dot arrays, Sumio Hosaka; Takashi Akahane; Takuya Komori; Miftakhul Huda; Hui Zhang; You Yin, 39th International Micro & Nano Engineering Conference (MNE 2013), 2013年09月16日, 英語, 国際会議
• Estimation of Pattern Resolution Using NaCl High Contrast Developer by Monte Carlo Simulation of Electron Beam Lithography, Hui Zhang; Takuya Komori; Yulong Zhang; You Yin; Sumio Hosaka, 39th International Micro & Nano Engineering Conference (MNE 2013), 2013年09月16日, 英語, 国際会議
• Single-nanodot Arrays and Single-nanohalf-pitch Lines Formed using PS-PDMS Self-assembly and Electron Beam Drawing, Sumio Hosaka; Miftakhul Huda; Hui Zhang; Takuya Komori; You Yin, 26th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2013), 2013年11月05日, 英語, 国際会議
• Nano-contact for small power consumption in phase change memory, Sumio Hosaka; Hui Zhang; Miftakhul Huda; You Yin, 25th Symposium on Phase Change Oriented Science, 2013年11月28日, 英語, 国際会議
• Scanning Near-field Polarization Microscopy for magnetization of nanometer-sized magnetic column, Sumio Hosaka; Ryosuke Takahashi; Tao Jin; Zulfakri Bin Mohamad; Hui Zhang; Miftakhul Huda; Hayato Sone; You Yin, 5th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2013年12月19日, 英語, 国際会議
• Observation of magnetic nanodot arrays by using scanning near-field polarization microscope, Ryosuke Takahashi; Jin Tao; Zulfakri Bin Mohanmad; Hui Zhang; Miftakhul Huda; Vuleminh Nhat; You Yin; Sumio Hosaka, 5th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2013年12月19日, 英語, 国際会議
• Fabrication of Ultrahigh Density 10-nm-Order Sized Si Nanodot Array by Pattern-Transfer of Block Copolymer Self-Assembled Nanodot Array, Miftakhul Huda; Hui Zhang; Jing Liu; You Yin; Sumio Hosaka, 5th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2013年12月19日, 英語, 国際会議
• “Long Range Ordering of Nanodots with Sub-10-nm-Pitch and 5-nm-dot Size using EB-drawn Guide Line and Self-assembly of Polystyrene-Poly(dimethylsiloxane), Hui Zhang; Miftakhul Huda; Jing Liu; Yulong Zhang; You Yin; Sumio Hosaka, 5th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2013年12月19日, 英語, 国際会議
• Observation of Nanometer-Sized Magnetic Dots and its Magnetization using a Scanning Near-Field Polarization Microscopy, Sumio Hosaka; Ryosuke Takahashi; Tao Jin; Hui Zhang; Miftakhul Huda; Hayato Sone; You Yin, 3rd International Conference on Advanced Materials and Practical Nanotechnology (3rd ICAMPN), 2014年08月14日, 英語, 国際会議
• Observation of Nanometer-Sized Magnetization of PtCo Magnetic Dot Arrays Using Scanning Near-Field Polarization Microscopy, Sumio Hosaka; Ryosuke Takahashi; Tao Jin; Hui Zhang; Miftakhul Huda; You Yin, 40th International Micro & Nano Engineering Conference (MNE 2014), 2014年09月22日, 英語, 国際会議
• Thickness Dependence On Ordering of Dots and Lines Along EB-drawn Guide Lines Using Self-assembly of Polystyrene-Poly(dimethyl-siloxane), Kazumasa Ohyama; Hui Zhang; Miftakhul Huda; Hayato Sone; You Yin; Sumio Hosaka, 1st International Symposium of Gunma University Medical Innovation (GUMI) and 6th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2014年12月05日, 英語, 国際会議
• Ordering of either nano-dot arrays or nano-lines along EB-drawn resist guide lines using PS-PDMS self-assembly with a molecular weight of 1.46 kg/mol, Sumio Hosaka; Mazumasa Ohyama; Hui Zhang; You Yin; Hayato Sone, 41st International Micro & Nano Engineering Conference (MNE 2015), 2015年09月21日, 英語, 国際会議
• LabVIEW-Controlled Scanning Near-Field Polarization Microscope, Shun Kozaki; Tao Jin; Hui Zhang; Vuleminh Nhat; Sachiya Nomoto; Hayato Sone; You Yin; Sumio Hosaka; Ken Miura, 11th International Workshop on Radiation Effects on Semiconductor Devices for Space Applications (11th RASEDA) and The 7th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (7th AMDE), 2015年11月11日, 英語, 国際会議
• Sub 10 ns Fast Switching and Resistance Control in Lateral GeTe-Based Phase-Change Memory, You Yin; Yulong Zhang; Yousuke Takehana; Ryouta Kobayashi; Hui Zhang; Sumio Hosaka, 28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2015), 2015年11月10日, 英語, 国際会議
• Challenge to Control 5-nm-sized Dot Arrays with a Pitch of <10 nm in a Long-range Order along EB-drawn Guide Lines Using PS-PDMS Self-assembly, Hui Zhang; Sumio Hosaka; You Yin, 28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2015), 2015年11月10日, 英語, 国際会議
• Advanced Nanofabrication and its Application to Nano Phase-Change Memory for Reducing Writing Current, Y. Yin; D. Nishijo; K. Sawao; K. Ohyama; T. Akahane; T. Komori; M. Huda; H. Zhang; S. Hosaka, 2016 IEEE 13th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology (ICSICT-2016), 2016年10月25日, 英語, 国際会議
• A Scalable Si-based Micro Thermoelectric Generator, Takanobu Watanabe; Shuhei Asada; Taiyu Xu; Shuichiro Hashimoto; Shunsuke Ohba; Yuya Himeda; Ryo Yamato; Hui Zhang; Motohiro Tomita; Takashi Matsukawa; Yoshinari Kamakura; Hiroya Ikeda, Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM2017), 2017年03月02日, 英語, 国際会議
• 熱電発電デバイスの微細化戦略, 渡邉孝信; 張慧; 橋本修一郎; 松川貴; 鎌倉良成; 池田浩也, フォノンエンジニアリング研究グループ・JST「微小エネ」領域合同研究会, 2017年07月14日, 日本語, 国内会議
• Fabrication of Silicon Nanowire Biosensor Using Electron Beam Lithography and Low-Concentration Antibody Detection, Hayato Sone; Tomoya Tashiro; Kakeru Oshima; Yuya Sakurai; Hui Zhang; Takaaki Suzuki; Noriyasu Ohshima; Takashi Izumi, 4th International Symposium of Gunma University Medical Innovation, 2017年11月06日, 英語, 国際会議
• Polymer Nano-Line Array Pattern Formed by Blockcopolymer Self-Assembly, Rika Sendai; Hui Zhang; Hayato Sone; Sumio Hosaka, Gunma International Symposium 2018 (GIS2018), 2018年01月17日, 英語, 国際会議
• 10μW/cm2-Class High Power Density Silicon Thermoelectric Energy Harvester Compatible with CMOS-VLSI Technology, M. Tomita; S. Ohba; Y. Himeda; R. Yamato; K. Shima; T. Kumada; M. Xu; H. Takezawa; K. Mesaki; K. Tsuda; S. Hashimoto; T. Zhan; H. Zhang; Y. Kamakuri; Y. Suzuki; H. Inokawa; H. Ikeda; T. Matsukawa; T. Matsuki; T. Watanabe, 2018 Symposium on VLSI Technology, 2018年06月20日, 英語, 国際会議
• Substrate Heat Resistance Engineering for Realizing High Performance Si Nanowires Thermoelectric Generator, Motohiro Tomita; Takehiro Kumada; Keisuke Shima; Tianzhuo Zhan; Hui Zhang; Takashi Matsukawa; Takeo Matsuki; Takanobu Watanabe, 2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2018), 2018年09月09日, 英語, 国際会議
• Optimum substrate design of planar type Si nanowire thermoelectric generator, Keisuke Shima; Motohiro Tomita; Hui Zhang; Tianzhuo Zhan; Takashi Matsukawa; Takeo Matsuki; Takanobu Watanabe, 2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2018), 2018年09月09日, 英語, 国際会議
• Fabrication of Sub-20 nm Width Silicon Nanowire-based Biosensor for Detecting Biomolecules at Attomolar Concentrations, Hui Zhang; Kakeru Oshima; Naoki Kikuchi; Noriyasu Ohshima; Taira Kajisa; Toshiya Sakata; Takashi, Izumi; Hayato Sone, The 14th International Conference on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures (ACSIN-14) &The 26th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy (ICSPM26), 2018年10月21日, 英語, 国際会議
• Fabrication of Highly Sensitive Silicon Nanowire Biosensor by Electron Beam Lithography for Detecting Antigen-Antibody Specific Binding at Attomolar Concentration, Hui Zhang; Noriyasu Ohshima; Kakeru Oshima; Naoki Kikuchi; Taira Kajisa; Toshiya Sakata; Takashi Izumi; Hayato Sone, 5th International Symposium of Gunma University Medical Innovation and 9th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2018年12月06日, 英語, 国際会議
• CMOS Friendly Silicon-based Micro Thermoelectric Generator, Takanobu Watanabe; Motohiro Tomita; Tianzhuo Zhan; Hui Zhang; Takashi Matsukawa; Takeo Matsuki; Yoshinari Kamakuri; Hiroya Ikeda, 5th International Conference on Nanoscience and Nanotechnology, 2019年01月28日, 英語, 国際会議
• Development of Shape Automatically Measurement Method using AI Image Processing for in vitro Fertilized Egg Evaluation, Qiao Qinxue, Riho Kakinuma, Saito Akiko, Hui Zhang, Sakata Toshiya, Hayato Sone, 5th Gunma International Symposium 2025 (GIS2025) (Kiryu, Japan), 2025年01月23日, 2025年01月23日, 2025年01月23日, 英語
• Enhancing Detection Sensitivity of Si Nanowire Biosensor Through Controlled Channel Impurity Concentrations, Fumiya Osawa, Hui Zhang, Yawei Qiu, Noriyasu Ohshima, Toshiya Sakata, Taira Kajisa, Takashi Izumi, Hayato Sone, 5th Gunma International Symposium 2025 (GIS2025) (Kiryu, Japan), 2025年01月23日, 2025年01月23日, 2025年01月23日, 英語
• Design and Development of Silicon Nanowire Biosensor with Enhanced Sensitivity and Specificity for Biomolecule Detection, Hui Zhang; Fumiya Osawa; Yawei Qiu; Haru Okamoto; Zhiheng Liu; Noriyasu Ohshima; Toshiya Sakata; Taira Kajisa; Takashi Izumi; Hayato Sone, 5th Gunma International Symposium 2025 (GIS2025) (Kiryu, Japan), 2025年01月23日, 2025年01月23日, 2025年01月23日, 英語
• Si ナノワイヤバイオセンサ高感度化を目指した幅及び半導体極性効果の検証, 大澤郁弥、張慧、邱亜威、板橋芽比子、大嶋紀安、加治佐平、坂田利弥、和泉孝志、曾根逸人, 群馬大学S メンブレンおよび生体分子化学プロジェクト 第5 回産学連携交流会（第125 回複合材料懇話会）, 2024年12月09日, 2024年12月09日, 2024年12月09日, 日本語
• Si ナノワイヤバイオセンサ作製のための熱酸化によるSi 層膜厚制御, 劉志恒、大澤郁弥、岡本遥流、邱亜威、曾根逸人、張慧、大嶋紀安、加治佐平、坂田利弥、和泉孝志, 群馬大学S メンブレンおよび生体分子化学プロジェクト 第5 回産学連携交流会（第125 回複合材料懇話会）, 2024年12月09日, 2024年12月09日, 2024年12月09日, 日本語
• Si ナノワイヤバイオセンサの不純物濃度制御と電気特性評価, 岡本遥流、大澤郁弥、邱亜威、劉志恒、大嶋紀安、加治佐平、坂田利弥、和泉孝志、曾根逸人、張慧, 群馬大学S メンブレンおよび生体分子化学プロジェクト 第5 回産学連携交流会（第125 回複合材料懇話会）, 2024年12月09日, 2024年12月09日, 2024年12月09日, 日本語
• 体外受精卵重量測定マルチバイオセンサ作製とポリスチレンビーズを用いた重量感度計測, 小澤晶、柿沼李帆、鈴木翔太、和田圭祐、齋藤暁子、張慧、坂田利弥、曾根逸人, 群馬大学S メンブレンおよび生体分子化学プロジェクト 第5 回産学連携交流会（第125 回複合材料懇話会）, 2024年12月09日, 2024年12月09日, 2024年12月09日, 日本語
• 体外受精卵重量測定マルチバイオセンサ作製と原子間力顕微鏡を用いた重量 感度検出, 鈴木翔太、柿沼 李帆、小澤 晶、和田 圭祐、齋藤暁子、張慧、坂田利弥、曾根逸人, 群馬大学S メンブレンおよび生体分子化学プロジェクト 第5 回産学連携交流会（第125 回複合材料懇話会）, 2024年12月09日, 2024年12月09日, 2024年12月09日, 日本語
• 近接場蛍光イメージングのための原子間力制御および蛍光検出機構の作製, 丹羽祐貴、小野雅之、張慧、曾根逸人, 群馬大学S メンブレンおよび生体分子化学プロジェクト 第5 回産学連携交流会（第125 回複合材料懇話会）, 2024年12月09日, 2024年12月09日, 2024年12月09日, 日本語
• 体外受精卵評価を目指したリング型マルチバイオセンサ変位量の有限要素解 析, 柿沼李帆、和田圭祐、新井貫人、齋藤 暁子、張慧、坂田利弥、曾根逸人, 群馬大学S メンブレンおよび生体分子化学プロジェクト 第5 回産学連携交流会（第125 回複合材料懇話会）, 2024年12月09日, 2024年12月09日, 2024年12月09日, 日本語
• アンモニアガス検知に向けたSnO2 ナノ粒子を用いたガスセンサの作製, 梅澤昂斗、西島大貴、佐藤和好、張慧、曾根逸人, 群馬大学S メンブレンおよび生体分子化学プロジェクト 第5 回産学連携交流会（第125 回複合材料懇話会）, 2024年12月09日, 2024年12月09日, 2024年12月09日, 日本語
• 低濃度アンモニアガス検知のための半導体式ガスセンサの設計と試作, 西島大貴、梅澤昂斗、佐藤和好、張慧、曾根逸人, 群馬大学S メンブレンおよび生体分子化学プロジェクト 第5 回産学連携交流会（第125 回複合材料懇話会）, 2024年12月09日, 2024年12月09日, 2024年12月09日, 日本語
• Ultrasensitive Specific Detection of Anti-influenza A H1N1 Hemagglutinin Monoclonal Antibody Using Silicon Nanowire Field Effect Biosensors, Hui Zhang; Fumiya Osawa; Haru Okamoto; Yawei Qiu; Zhiheng Liu; Noriyasu Ohshima; Taira Kajisa; Toshiya Sakata; Takashi Izumi; Hayato Sone, 37th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2024), 2024年11月14日, 2024年11月12日, 2024年11月15日, 日本語
• Challenges in Forming Sub-10 nm Nanowires via Directed Self-Assembly for Future Applications in Silicon Nanowire Biosensor, Yawei Qiu; Hui Zhang; Fumiya Osawa; Noriyasu Ohshima; Taira Kajisa; Toshiya Sakata; Takashi Izumi; Hayato Sone, 37th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2024), 2024年11月13日, 2024年11月12日, 2024年11月15日, 日本語
• COMSOL有限要素解析法を用いた高感度Siナノワイヤバイオセンサの最適な構造の予測, 張 慧; 阿部 真優菜; 大澤 郁弥; 邱 亜威; 大嶋 紀安; 加治佐 平; 坂田 利弥; 和泉 孝志; 曾根 逸人, 第85回応用物理学会秋季学術講演会, 2024年09月19日, 2024年09月16日, 2024年09月20日, 日本語
• 有限要素解析法による体外受精卵評価用リング型マルチバイオセンサの変位量解析, 柿沼 李帆; 和田 圭祐; 新井 貫人; 齋藤 暁子; 張 慧; 坂田 利弥; 曾根 逸人, 第85回応用物理学会秋季学術講演会, 2024年09月18日, 2024年09月16日, 2024年09月20日, 日本語
• 体外受精卵評価のための リング型マルチバイオセンサ作製と質量応答評価, 柿沼 李帆; 新井 貫人; 和田 圭祐; 齋藤 暁子; 張 慧; 坂田 利弥; 曾根 逸人, 群馬大学Sメンブレン・プロジェクト第4回産学連携交流会, 2023年12月11日, 2023年12月11日, 2023年12月11日, 日本語
• 電子線描画法によるシリコンナノワイヤガスセンサの作製とアンモニアガス反応評価, 神野龍人; 西島大貴; 宮田青空; 張慧; 曾根逸人, 群馬大学Sメンブレン・プロジェクト第4回産学連携交流会, 2023年12月11日, 2023年12月11日, 2023年12月11日, 日本語
• Fabrication of Ring-Shaped Multi-Biosensor for in vitro Embryo Evaluation and Measurement of Weight Detection Sensitivity, Hayato Sone; Kanto Arai; Keisuke Wada; Riho Kakinuma; Akiko Saito; Hui Zhang; Toshiya Sakata, 36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023), 2023年11月16日, 2023年11月14日, 2023年11月17日, 英語
• The Possibility of Ultrasensitive Detection of Biomolecules using Silicon Nanowire Biosensor with Structural Optimization, Hui Zhang; Mayuna Abe; Fumiya Osawa; Yawei Qiu; Noriyasu Ohshima; Taira Kajisa; Toshiya Sakata; Takashi Izumi; Hayato Sone, 36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023), 2023年11月16日, 2023年11月14日, 2023年11月17日, 英語
• 体外受精卵評価のためのリング型マルチバイオセンサ作製と質量検出感度測定, 和田 圭祐; 新井 貫人; 柿沼 李帆; 齋藤 暁子; 張 慧; 坂田 利弥; 曾根 逸人, 第84回応用物理学会秋季学術講演会, 2023年09月21日, 2023年09月19日, 2023年09月23日, 日本語
• Siナノワイヤバイオセンサ空乏領域の推測による高感度化要因の解明, 張 慧; 邱 亜威; 大澤 郁弥; 大嶋 紀安; 加治佐 平; 坂田 利弥; 和泉 孝志; 曾根 逸人, 第84回応用物理学会秋季学術講演会, 2023年09月21日, 2023年09月19日, 2023年09月23日, 日本語
• Siナノワイヤバイオセンサ電気特性と検出感度の幅及び極性依存性, 大澤 郁弥; 張 慧; 邱 亜威; 板橋 芽比子; 大嶋 紀安; 加治佐 平; 坂田 利弥; 和泉 孝志; 曾根 逸人, 第84回応用物理学会秋季学術講演会, 2023年09月21日, 2023年09月19日, 2023年09月23日, 日本語
• 体外受精卵評価のためのリング型マルチバイオセンサ作製と変位出力測定, 新井貫人; 菊池直樹; 和田圭祐; 齋藤暁子; 張慧; 坂田利弥; 曾根逸人, 量子生命科学先端フォーラム2022冬の研究会, 2022年11月27日, 2022年11月25日, 2022年11月27日, 日本語
• 電子線描画法によるp型およびn型SiNWの作製とFET特性評価, 板橋芽比子; 邱亜威; 大澤郁弥; 大嶋紀安; 和泉孝志; 張慧; 曾根逸人, 量子生命科学先端フォーラム 2022冬の研究会, 2022年11月27日, 2022年11月25日, 2022年11月27日, 日本語
• Siナノワイヤバイオセンサの細線化による生体分子の高感度・特異的検出の実現, 張慧; 邱亜威; 板橋芽比子; 大澤郁弥; 大嶋紀安; 坂田利弥; 和泉孝志; 加治佐平; 曾根逸人, 量子生命科学先端フォーラム 2022冬の研究会, 2022年11月26日, 2022年11月25日, 2022年11月27日, 日本語
• Investigation of Thinning Effect on Sensitivity of Silicon Nanowire Biosensor for Ultra-Sensitive and Specific Biomolecule Detection, Hui Zhang; Yawei Qiu; Fumiya Osawa; Meiko Itabashi; Noriyasu Ohshima; Taira Kajisa; Toshiya Sakata; Takashi Izumi; Hayato Sone, 35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2022), 2022年11月10日, 2022年11月08日, 2022年11月11日, 英語
• 微小生体分子観察のための近接場蛍光顕微鏡の開発, 金井 元紀; 寺内 優友; 小野 雅之; 張 慧; 曾根 逸人, 量子生命科学先端フォーラム 2021冬の研究会, 2021年12月16日, 2021年12月16日, 日本語
• 電子線リソグラフィによる Siナノワイヤセンサの作製とアンモニアガス反応評価, 宮田 青空; 神野 龍人; 村 康太; 斎藤 高弘; 張 慧; 曾根 逸人, 量子生命科学先端フォーラム 2021冬の研究会, 2021年12月16日, 2021年12月16日, 日本語
• 2方向観察沈降測定法を用いたマウス受精卵成長過程の質量測定, 菊池 直樹; 齋藤 暁子; 丸山拡希; 吉川 朝哉; 外山 吉治; 佐々木 直哉; 張 慧; 保坂 純男; 坂田 利弥; 曾根 逸人, 量子生命科学先端フォーラム 2021冬の研究会, 2021年12月16日, 2021年12月16日, 日本語
• 電子線描画法を用いた超高感度 Siナノワイヤバイオセンサの作製と特性評価, 邱 亜威; 新井 出海; 板橋 芽比子; 大澤 郁弥; 大嶋 紀安; 和泉 孝志; 張 慧; 曾根 逸人, 量子生命科学先端フォーラム 2021冬の研究会, 2021年12月16日, 2021年12月16日, 日本語
• 高感度Siナノワイヤバイオセンサ作製のための最適なドーピング濃度の探求, 新井 出海; 邱 亜威; 板橋 芽比子; 大澤 郁弥; 大嶋 紀安; 和泉 孝志; 張 慧; 曾根 逸人, 量子生命科学先端フォーラム 2021冬の研究会, 2021年12月16日, 2021年12月16日

共同研究・競争的資金等の研究課題

• Siナノワイヤの細線化とアスペクト比調整によるウイルス感染超早期診断の実現, 張慧, 科研費, 科研費, 若手研究, 群馬大学, 2021年, 2024年, 研究代表者, 21K18071
• 感染症早期診断のためのSiナノワイヤを用いたサブaM感度バイオセンサの創製, 張 慧, 日本学術振興会（文部科学省）, 科学研究費補助金 研究活動スタート支援, 2019年04月, 2021年03月, 研究代表者, 競争的資金

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• iPS細胞のガン化を判別する高感度ナノワイヤバイオセンサアレイの創製, 曾根 逸人, 日本学術振興会（文部科学省）, 科学研究費補助金 特別研究員奨励費, 2017年04月, 2019年03月, 競争的資金

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• 体外受精卵の成長をモニタリングするリング型マルチ卵重計の創製, 曾根 逸人, 日本学術振興会（文部科学省）, 科学研究費補助金 基盤研究(B), 2019年04月, 2020年03月, 競争的資金

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• 体外受精卵クオリティ評価のためのAI画像解析を用いた傾斜沈降卵重計の創製, Development of tilt-type sedimentation weight measurement system using AI image processing for quality evaluation of in-vitro embryo, 曾根 逸人; 坂田 利弥; 張 慧, 日本学術振興会, Japan Society for the Promotion of Science, 科学研究費助成事業, Grants-in-Aid for Scientific Research, 基盤研究(B), Grant-in-Aid for Scientific Research (B), 群馬大学, Gunma University, 2024年04月, 2027年03月, 24K03299

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• 計算科学とナノ微細加工技術を駆使した超高感度Siナノワイヤバイオ センサシステムの創製, 国立研究開発法人科学技術振興機構, 創発的研究支援事業, 2021創発的研究支援事業, 群馬大学, 2022年04月, 2025年03月, 研究代表者

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• Siナノワイヤの細線化とアスペクト比調整によるウイルス感染超早期診断の実現, Siナノワイヤの細線化とアスペクト比調整によるウイルス感染超早期診断の実現, 張 慧, 日本学術振興会, Japan Society for the Promotion of Science, 科学研究費助成事業 若手研究, Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Early-Career Scientists, 若手研究, Grant-in-Aid for Early-Career Scientists, 群馬大学, Gunma University, 2021年04月, 2024年03月, 研究代表者, 本研究では、感染初期段階で微量ウイルスを高感度かつ迅速に検出するため、Siナノワイヤ（NW）のアスペクト比を調節することで高感度化の可能性を探求し、SiNWの表面修飾法と検出系の構築による超高感度バイオセンサシステムの開発を目的とする。2021年度は、所属機関のコロナ対応方針で一定期間の出張が制限されたことにより、東京大学の共同利用設備の利用頻度が少なくなったため、当初計画を一部変更して以下の成果を得た。 (1)アスペクト比1のSiNW形成条件の検討：幅と高さのアスペクト比1のSiNWを作製するため、NW形成する前に反応性イオンエッチングでSOI基板のSi層の膜厚を20 nmに調整した。その後、電子線描画法の露光条件を調整することで最小幅13 nmのNWを形成した。反応性イオンエッチングによるNWをSi層へ転写することで、幅11 nmのSiNWが形成できた。Si層の厚さは20 nm程度であるため、SiNWのアスペクト比は1より少し大きいと考えられる。 (2)SiNW表面へのHigh-k絶縁膜形成：SiNW内部の電子の生体分子に対する応答性を向上させるため、スパッタ装置を用いてSiNW表面に厚さ10 nmのHigh-k絶縁膜Si3N4とHfO2を成膜した。 (3)SiNW表面の親水化処理による親水性の評価：検出ターゲットとなる生体分子を認識する抗原分子を効率的にSiNW表面に付着させるため、a)希塩酸処理；b）酸素プラズマ処理；c)オゾン処理によるSiNW表面の親水性を改善できるか調査した。a)～c)処理後の基板は接触角計を用いて親水性を評価した。結果として、希塩酸処理と酸素プラズマ処理で基板の親水性が改善できたが、希塩酸処理では長い処理時間をすること及び酸素プラズマ処理では基板表面が粗くなることを確認した。10分間のUVオゾン処理で基板の親水性が大幅に改善できたことを確認した。, 21K18071

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• 体液１滴中の多種生体物質を同時検出する超高感度Siナノワイヤバイオセンサの創製, Development of ultrahigh-sensitive silicon nanowire biosensor for simultaneous detection of various biomolecules in a single drop of body fluid, 曾根 逸人, 日本学術振興会, Japan Society for the Promotion of Science, 科学研究費助成事業 挑戦的研究(萌芽), Grants-in-Aid for Scientific Research, 挑戦的研究(萌芽), Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory), 群馬大学, Gunma University, 2020年07月, 2023年03月, 研究分担者, 本研究では、電子線リソグラフィによりシリコンナノワイヤ（SiNW）素子を作製し、夾雑物のフィルタリング、多種類生体物質を各々特異的に結合できる表面修飾法を確立して、体液1滴に含まれる多種類の生体物質を同時検出可能なバイオセンサの創製を目指す。令和3年度は、コロナ禍がある程度収束していた期間に出張が可能となり、当初計画の東京大学の共同利用設備も使用した研究を推進し、以下の成果を得た。 (1) 多種生体分子同時検出のためのSiNWバイオセンサチップの作製：令和2年度に設計したフォトマスクの原画ファイル（20 mm角のSOI基板上に9個のセンサチップが搭載され、各センサチップ上には4つのSiNWセンサを配置）を用いて、東京大学の電子線描画装置でフォトマスクを作製した。それを用いてSOI基板上へTi電極をフォトリソグラフィで形成し、設計通りの電極パターンの形成を確認した。その後、電子線描画で電極間に架橋するHSQレジストNWを形成し、それをマスクとして高密度プラズマエッチングでSiNWを作製した。SOI基板上には合計36個のSiNWセンサが搭載されているため、電子線描画における露光位置、焦点、露光量等の調整が非常に困難で、露光時間も長く苦労したが、4センサが配置されたセンサチップが作製できた。各SiNWの幅は20～50 nmであり、従来の1センサ型と同等のSiNWの形成を確認した。 (2) 夾雑物フィルタリング機能を有するSiNWセンサへの体液輸送マイクロ流路の作製：(1)のセンサチップ上に形成された４つのSiNWへ体液を輸送できるマイクロ流路を作製するため、光造形式の3Dプリンターを導入した。この装置で樹脂の型を作製して、それにPDMSを流し込んでマイクロ流路を試作したところ、流路断面の幅および高さが200 μmの流路が形成でき、漏洩なく通水できることを確認した。, 20K21879

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科学研究費の申請・獲得状況

• 若手研究, Siナノワイヤの細線化とアスペクト比調整によるウイルス感染超早期診断の実現, 21K18071, 新規, 2021年