研究者基本情報

研究者

• 氏名

  曾根　逸人, ソネ　ハヤト

基本情報

• 研究者氏名（日本語）

  曾根, 逸人

• 研究者氏名（カナ）

  ソネ, ハヤト

論文上での記載著者名

• Hayato Sone
• H. Sone

ホームページ

• ホームページ1

  http://sonelab.ei.st.gunma-u.ac.jp/

使用外国語

• 発表に使用する外国語

  英語

• 執筆に使用する外国語

  英語

所属

• 群馬大学, 教授
• 群馬大学, 大学院理工学府 電子情報部門, 教授

学歴

• 1999年, 東京理科大学, 理学研究科, 物理学専攻
• 1993年, 東京理科大学, 理学部, 応用物理学科
• 1999年, 東京理科大学
• 1993年, 東京理科大学

学位

• 博士（理学）
• 博士（理学）

所属学協会

• 次世代ナノプローブ技術委員会, 2023年, 9999年
• 日本学術振興会ナノプローブテクノロジー第１６７委員会, 2017年, 2023年03月31日
• 応用物理学会 薄膜・表面物理分科会, 2002年, 9999年
• 応用物理学会, 2001年, 9999年
• 日本結晶成長学会, 1993年, 9999年

経歴

• 1999年, 2002年, 理化学研究所 基礎科学特別研究員
• 1999年, 2002年, 特定国立研究開発法人理化学研究所

共同研究・受託研究の実績

• 科学技術振興機構（ＪＳＴ）革新技術開発研究事業「ひずみSiプロセス計測用近接場ラマン分光装置の開発」, 2006年04月, 2009年03月
• 共同研究（株式会社日本カーリット）「多孔質シリコン基板開発」, 2005年10月, 2007年03月
• 産学官連携推進トライ補助 「バイオセンサの開発」, 2004年04月, 2005年03月
• 経済産業省関東経済産業局 地域新生コンソーシアム研究開発事業「超高感度簡易バイオセンサの開発」, 2006年04月, 2008年03月
• 都市エリア産官学連携促進事業（桐生・太田地区）「次世代ナノプロセッシングの研究開発」, 2002年, 2004年
• MIRAIプロジェクト「測長AFMに関する研究」, 2002年04月, 2005年03月
• STARC（半導体理工学研究センター）共同研究 「相変化薄膜素子の微結晶性と不揮発性多値記録特性に関する研究」, 2005年04月, 2008年03月
• 文部科学省特別教育研究経費（連携融合事業）「ケイ素を基軸とする機能性材料の開拓」（分担研究）「Si清浄表面上でのErSi2ナノワイヤ成長制御」, 2005年04月, 2007年03月
• 北関東産官学研究会「ピエゾ抵抗カンチレバを用いた抗原抗体反応用バイオセンサの開発」, 2003年04月, 2004年03月
• 北関東産官学研究会「ピコグラム検出感度を持つカンチレバ型バイオセンサの開発」, 2002年04月, 2003年03月
• 科学技術振興機構（ＪＳＴ）シーズ発掘試験研究「ナノワイヤ探針カンチレバの作製と高アスペクトパターンの三次元計測」, 2008年04月, 2009年03月
• 共同研究（株式会社シリコンテクノロジー）「多孔質シリコン基板開発」, 2008年04月, 2009年03月
• 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム（A-STEP）フィージビリスタディステージ 探索タイプ「高アスペクトAFM計測のための通電加熱型ナノワイヤ探針作製装置の開発」, 2011年12月, 2012年07月
• 科学技術振興機構（ＪＳＴ）研究成果展開事業（先端計測分析技術・機器開発プログラム）領域非特定型　要素技術タイプ「近接場偏光顕微鏡技術の開発」, 2012年10月, 2016年03月

研究活動情報

研究分野

• ナノテク・材料, ナノ材料科学
• ナノテク・材料, ナノマイクロシステム
• ライフサイエンス, 医用システム
• ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学）, 計測工学
• ナノテク・材料, ナノ材料科学
• ナノテク・材料, ナノバイオサイエンス
• ナノテク・材料, 薄膜、表面界面物性
• ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学）, 電子デバイス、電子機器

研究キーワード

• ナノメートル計測制御
• ナノ電子デバイス
• カンチレバ型センサ
• 表面改質
• 結晶成長
• プローブ顕微鏡
• 電子顕微鏡
• 高感度バイオセンサ

研究テーマ

• 高アスペクトAFM計測のための通電加熱型ナノワイヤ探針作製装置の開発, ナノワイヤ、高アスペクト探針、AFM、プローブ, 個人研究, 2011, 2012, ナノ材料・ナノ バイオサイエンス, 計測工学, 応用物性・ 結晶工学, 受託研究
• 超高感度カンチレバ型バイオセンサの開発, ピエゾ抵抗カンチレバ、微小質量検出、　, 国内共同研究, 2006, ナノ材料・ナノ バイオサイエンス, 計測工学, 共同研究
• ナノワイヤ探針の作製と高アスペクトパターンの三次元計測, ナノワイヤ、高アスペクト探針、AFM、プローブ, 個人研究, 2008, ナノ材料・ナノ バイオサイエンス, 計測工学, 応用物性・ 結晶工学, 受託研究
• 自己組織化形成ナノワイヤの作製とデバイス応用, ナノワイヤ、自己組織化、ナノデバイス, 個人研究, 2003, マイクロ・ ナノデバイス, 電子デバイス・ 電子機器, 薄膜・表面 界面物性, 補助金
• 体外受精卵のクオリティーを選別するマルチ卵重計の創製 , カンチレバ-半導体複合型バイオセンサ, 国内共同研究, 2014, -, 医用システム, 補助金

論文

• The possibility of ultrasensitive detection of biomolecules using silicon nanowire biosensor with structural optimization, Hui Zhang, Mayuna Abe, Fumiya Osawa, Yawei Qiu, Noriyasu Ohshima, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi Izumi, and Hayato Sone, 2024年03月12日, Japanese Journal of Applied Physics, 63, 03SP85-1, 03SP85-7, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Multiplex Quantification of Exosomes via Multiple Types of Nanobeads Labeling Combined with Laser Scanning Detection., Ono Masayuki;Zhang Hui;Sone Hayato;Itonaga Makoto, 2023年10月, Analytical chemistry, Analytical chemistry, 95, 42, 15577, 15584, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Estimation of the Depletion Layer Thickness in Silicon Nanowire-Based Biosensors from Attomolar-Level Biomolecular Detection, Hui Zhang, Yawei Qiu, Fumiya Osawa, Meiko Itabashi, Noriyasu Ohshima, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi Izumi and Hayato Sone, 2023年04月12日, ACS Appl. Mater. Interfaces, 15, 19892, 19903, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Formation of 7-nm-wide Line&Spaces in Half Pitch by 3 Dimensional Self-assembly of Nano-dots Using Sphere Type PS-PDMS, Sumio Hosaka, Hui Zhang, You Yin, Hayato Sone, 2021年, European Journal of Applied Physics, 3, 6, 84, 90, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Design and Fabrication of Silicon Nanowire-Based Biosensors with Integration of Critical Factors: Toward Ultrasensitive Specific Detection of Biomolecules, Hui Zhang; Naoki Kikuchi; Noriyasu Ohshima; Taira Kajisa; Toshiya Sakata; Takashi Izumi; Hayato Sone, 2020年11月18日, ACS Applied Materials & Interfaces, 12, 46, 51808, 51819, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Fabrication of Ultrahigh-Sensitivity Silicon Nanowire Biosensor by CMOS-Compatible Process for Detecting Biomolecules at Low Concentrations, Hui Zhang; Kei Okabe; Naoki Kikuchi; Noriyasu Ohshima; Taira Kajisa; Toshiya Sakata; Takashi Izumi; Hayato Sone, 2019年12月, Proceedings of International Conference on Mechanical, Electrical and Medical Intelligent System 2019 (ICMEMIS2019)
• Fabrication of N-type Silicon Nanowire Biosensor for Sub-10-Femtomolar Concentration of Immunoglobulin, Tomoya Tashiro; Hui Zhang; Kakeru Oshima; Yuya Sakurai; Takaaki Suzuki; Noriyasu Ohshima; Takashi Izumi; Hayato Sone, 2018年11月, Key Engineering Materials, 790, 28, 33, 研究論文（学術雑誌）
• Luminescence properties of Eu3+-activated TbAIO(3) perovskite compound synthesized by metal organic decomposition, Onishi Yuya; Nakamura Toshihiro; Sone Hayato; Adachi Sadao, 2018年08月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 57, 8

  DOI
• Synthesis and properties of Tb3Al5O12:Eu3+ garnet phosphor, Yuya Onishi; Toshihiro Nakamura; Hayato Sone; Sadao Adachi, 2018年05月01日, Journal of Luminescence, 197, 242, 247, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Fabrication of Holder-type Piezoresistive Cantilever for Embryo Mass Measurement, Sone Hayato; Kawakami Tomoyuki; Saito Akiko; Sayama Yuki; Hosaka Sumio; Sakata Toshiya, 2018年, SENSORS AND MATERIALS, 30, 10, 2369, 2382, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• 電子線リソグラフィを用いたSiナノワイヤバイオセンサの作製と低濃度抗体検出, 田代 朋也; 大嶋 駆; 櫻井 裕也; 張 慧; 鈴木 孝明; 大嶋 紀安; 和泉 孝志; 曾根 逸人, 2017年, 電気学会バイオ・マイクロシステム研究会資料, BMS-17-49, 11-16., 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
• Sb-Te alloy nanostructures produced on a graphite surface by a simple annealing process, Masashi Kuwahara; Hideaki Uratsuji; Maho Abe; Hayato Sone; Sumio Hosaka; Joe Sakai; Yoichi Uehara; Rie Endo; Tohru Tsuruoka, 2015年08月, APPLIED SURFACE SCIENCE, 346, 366, 371, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Aqueous-Phase Oxidation of Epitaxial Graphene on the Silicon Face of SiC(0001), Md. Zakir Hossain; Maisarah B. A. Razak; Shinya Yoshimoto; Kozo Mukai; Takanori Koitaya; Jun Yoshinobu; Hayato Sone; Sumio Hosaka; Mark C. Hersam, 2014年01月, JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY C, 118, 2, 1014, 1020, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Reconstruction of atomic force microscope image using estimated tip shape from impulse response technique, Yasuhiko Harada; Hayato Sone; You Yin; Sumio Hosaka, 2014年, ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING IV, 596, 147, 151, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Fabrication of Si Nanowire Biosensor Using FIB and Its Evaluations, Anh Hoang Truong; Hayato Sone; Sumio Hosaka, 2014年, ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING IV, 596, 224, 228, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Vapor-Liquid-Solid Growth of Silicon-Based Nanowires for High Sensitive Sensor, Hayato Sone; Yasuyuki Suda; Daiki Kubota; Sumio Hosaka, 2013年, ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING III, 534, 257, +, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Fabrication of Hole-type Microcantilevers using FIB and its Evaluations, Anh Hoang Truong; Hayato Sone; Tomoyuki Kawakami; Sumio Hosaka, 2013年, ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING III, 534, 251, +, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Fabrication using focused ion beam processing of devices employing silicon-based nanowires synthesized by vapor-liquid-solid growth, Hayato Sone; Yousuke Nakamura; Yasuyuki Suda; Sumio Hosaka, 2013年, Applied Mechanics and Materials, 423-426, 125, 129, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Pico-Newton controlled step-in mode NC-AFM using a quadrature frequency demodulator and a slim probe in air for CD-AFM, Sumio Hosaka; Takayuki Takizawa; Daisuke Terauchi; You Yin; Hayato Sone, 2012年, SILICON SCIENCE AND ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING II, 497, 95, 100, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Step-in mode NC-AFM using a quadrature frequency demodulator for observing high-aspect ratio structures in air, Sumio Hosaka; Daisuke Terauchi; Takayuki Takizawa; You Yin; Hayato Sone, 2011年03月30日, e-Journal of Surface Science and Nanotechnology, 9, 122, 125, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Nanometer resolution stress measurement of the Si gate using illumination-collection-type scanning near-field Raman spectroscopy with a completely metal-inside-coated pyramidal probe, Sumio Hosaka; Yusuke Aramomi; Hayato Sone; You Yin; Eiji Sato; Kenji Tochigi, 2011年01月, Nanotechnology, 22, 2, 025206 1-7, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Prototype of Frame-Type Cantilever for Biosensor and Femtogram Detection, Hayato Sone; Shoichi Ichikawa; Yuji Matsubara; Mitsumasa Suzuki; Haruki Okano; Takashi Izumi; Sumio Hosaka, 2011年, SILICON SCIENCE AND ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING I, 459, 134, +, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Prototype of illumination-collection mode scanning near-field optical microscopy and Raman spectroscopy with gold inner-coated aperture-less pyramidal probe, Sumio Hosaka; Hirokazu Koyabu; Yusuke Aramomi; Hayato Sone; You Yin; Eiji Sato; Kenji Tochigi, 2011年, SILICON SCIENCE AND ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING I, 459, 129, +, 研究論文（国際会議プロシーディングス）

  DOI
• Observation of Si Pattern Sidewall Using Inclination Atomic Force Microscope for Evaluation of Line Edge Roughness, Sumio Hosaka; Hirokazu Koyabu; Masamichi Noro; Katsuyuki Takizawa; Hayato Sone; You Yin, 2010年07月, JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY, 10, 7, 4522, 4527, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Multilevel Storage in N-Doped Sb2Te3-Based Lateral Phase Change Memory with an Additional Top TiN Layer, You Yin; Kazuhiro Ota; Tomoyuki Noguchi; Hiroki Ohno; Hayato Sone; Sumio Hosaka, 2009年04月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 48, 4, 04C063 1-4, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Reactively sputtered Ti-Si-N films for application as heating layers for low-current phase-change memory, You Yin; Tomoyuki Noguchi; Kazuhiro Ota; Naoya Higano; Hayato Sone; Sumio Hosaka, 2009年, Journal of Physics: Conference Series, 152, 012026 1-6, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• NANOMAGNETIC DOT ARRAYS FABRICATION BASED ON ELECTRON BEAM DRAWING AND ITS SIZE EFFECT, S. Hosaka; H. Sano; Y. Tanaka; M. Shirai; Z. Mohamad; Y. Tanaka; H. Sone; Y. Yin, 2009年, PHYSICS, CHEMISTRY AND APPLICATION OF NANOSTRUCTURES, 456, +, 研究論文（国際会議プロシーディングス）
• Multilevel storage in lateral top-heater phase-change memory, You Yin; Kazuhiro Ota; Naoya Higano; Hayato Sone; Sumio Hosaka, 2008年08月, IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 29, 8, 876, 878, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Estimation of three-dimensional atomic force microscope tip shape from atomic force microscope image for accurate measurement, Yasuhiko Harada; Hayato Sone; Sumio Hosaka, 2008年07月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 47, 7, 6186, 6189, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Nano-dot and -pit arrays with a pitch of 25 nm x 25 nm fabricated by EB drawing, RIE and nano-imprinting for 1 Tb/in(2) storage, Sumio Hosaka; Zulfakri Mohamad; Masumi Shirai; Hirotaka Sano; You Yin; Akihira Miyachi; Hayato Sone, 2008年05月, MICROELECTRONIC ENGINEERING, 85, 5-6, 774, 777, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Ultramultiple-level storage in TiN/SbTeN double-layer cell for high-density nonvolatile memory, You Yin; Naoya Higano; Hayato Sone; Sumio Hosaka, 2008年04月, APPLIED PHYSICS LETTERS, 92, 16, 163509 1-3, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• 超高真空非接触原子間力顕微鏡によるSi(110)再構成表面の観察, 宮地晃平; 曾根逸人; 保坂純男, 2008年04月, 日本金属学会誌, Nippon Kinzoku Gakkaishi/Journal of the Japan Institute of Metals, 72, 4, 290, 294, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Ultrahigh vacuum non-contact atomic force microscope observation of reconstructed Si (110) surface, Akihira Miyachi; Hayato Sone; Sumio Hosaka, 2008年04月, JOURNAL OF THE JAPAN INSTITUTE OF METALS, 72, 4, 290, 294, 研究論文（学術雑誌）
• Extremely small proximity effect in 30keV electron beam drawing with thin calixarene resist for 20 x 20 nm(2) pitch dot arrays, Sumio Hosaka; Zulfakri Mohamad; Masumi Shira; Hirotaka Sano; You Yin; Akihira Miyachi; Hayato Sone, 2008年02月, APPLIED PHYSICS EXPRESS, 1, 2, 027003 1-3, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Formation of dot arrays with a pitch of 20 nm x 20 nm for patterned media using 30 keV EB drawing on thin calixarene resist, Zulfakri bin Mohamad; Masumi Shirai; Hayato Sone; Sumio Hosaka; Masatoshi Kodera, 2008年01月, NANOTECHNOLOGY, 19, 2, 025301 1-4, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Lateral SbTeN based multi-layer phase change memory for multi-state storage, You Yin; Hayato Sone; Sumio Hosaka, 2007年12月, MICROELECTRONIC ENGINEERING, 84, 12, 2901, 2906, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Scanning electron microscope for in situ study of crystallization of Ge(2)Sb(2)Te(5) in phase-change memory, You Yin; Daisuke Niida; Kazuhiro Ota; Hayato Sone; Sumio Hosaka, 2007年12月, REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 78, 12, 126101 1-3, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Characterization of nitrogen-doped Sb2Te3 films and their application to phase-change memory, You Yin; Hayato Sone; Sumio Hosaka, 2007年09月, JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 102, 6, 064503-064507, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• A chalcogenide-based device with potential for multi-state storage, You Yin; Hayato Sone; Sumio Hosaka, 2007年06月, MICROELECTRONICS JOURNAL, 38, 6-7, 695, 699, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Growth control of self-assembled ErSi2 nanowires on Si(001) and Si(110) surfaces, Hayato Sone; Terukazu Mishima; Akihira Miyachi; Takuya Fukuda; Sumio Hosaka, 2007年05月, MICROELECTRONIC ENGINEERING, 84, 5-8, 1491, 1495, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Nano-dot arrays with a bit pitch and a track pitch of 25 nm formed by EB writing for 1 Tb/in(2) storage, Sumio Hosaka; Hirotaka Sano; Masumi Shirai; You Yin; Hayato Sone, 2007年05月, MICROELECTRONIC ENGINEERING, 84, 5-8, 802, 805, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• 傾斜AFMによる側壁形状計測の可能性, 寺内大輔; 星野堅一; 岡田大祐; 曾根逸人; 保坂純男, 2007年05月, 日本金属学会誌, Nippon Kinzoku Gakkaishi/Journal of the Japan Institute of Metals, 71, 5, 463, 468, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Feasibility to measure sidewall structures of electronic device pattern using the inclination AFM, Daisuke Terauchi; Kenichi Hoshino; Daisuke Okada; Hayato Sone; Sumio Hosaka, 2007年05月, JOURNAL OF THE JAPAN INSTITUTE OF METALS, 71, 5, 463, 468, 研究論文（学術雑誌）
• Prototype of phase-change channel transistor for both nonvolatile memory and current control, Sumio Hosaka; Kunihiro Miyauchi; Takuro Tamura; You Yin; Hayato Sone, 2007年03月, IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, 54, 3, 517, 523, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Possibility to detect Raman spectrum using atomic force cantilevered SNOM with aperture-less pyramidal probe, Sumio Hosaka; Hirokazu Koyabu; Kentaro Mine; Yusuke Aramomi; Hayato Sone; Eiji Sato; Kenji Tochigi, 2007年, EDSSC: 2007 IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON ELECTRON DEVICES AND SOLID-STATE CIRCUITS, VOLS 1 AND 2, PROCEEDINGS, 297, +, 研究論文（国際会議プロシーディングス）
• Prototypical lateral multi-state phase-change memory with a multi-layer media, Y. Yin; N. Higano; K. Ohta; A. Miyachi; M. Asai; H. Sone; S. Hosaka, 2007年, Proceeding of 2007 IEEE International Conference on Electron Devices and Solid-State Circuits, Proceeding of 2007 IEEE International Conference on Electron Devices and Solid-State Circuits, 149, 152

  DOI
• In Situ SEM Observation of Grain Formation and Growth Induced by Electrical Pulses in Lateral Ge2Sb2Te5 Phase-Change Memory, Y. Yin; D. Niida; K. Ohta; A. Miyachi; M. Asai; N. Higano; H. Sone; S. Hosaka, 2007年, Mater. Res. Soc. Symp. Proc., Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 997, I12-05-1-6
• Characteristics of N-doped Sb2Te3 Films by X-Ray Diffraction and Resistance Measurement for Phase-Change Memory, Y. Yin; N. Higano; K. Ohta; A. Miyachi; M. Asai; D. Niida; H. Sone; S. Hosaka, 2007年, Mater. Res. Soc. Symp. Proc., Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 997, I10-11-1-6
• Nanosilicon dot arrays with a bit pitch and a track pitch of 25 nm formed by electron-beam drawing and reactive ion etching for 1 Tbit/in.(2) storage, Sumio Hosaka; Hirotaka Sano; Masumi Shirai; Hayato Sone, 2006年11月, APPLIED PHYSICS LETTERS, 89, 22, 223131, 223133, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Finite element analysis of dependence of programming characteristics of phase-change memory on material properties of chalcogenides, You Yin; Hayato Sone; Surnio Hosaka, 2006年11月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS, 45, 11, 8600, 8603, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Ultrahigh vacuum non-contact atomic force microscope observation of reconstructed Si(110) surface, Akihira Miyachi; Hayato Sone; Sumio Hosaka, 2006年10月, MATERIALS TRANSACTIONS, 47, 10, 2595, 2598, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Simulation of proposed confined-chalcogenide phase-change random access memory for low reset current by finite element modelling, You Yin; Hayato Sone; Sumio Hosaka, 2006年08月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS, 45, 8A, 6177, 6181, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• A novel lateral phase-change random access memory characterized by ultra low RESET current and power consumption, You Yin; Akihira Miyachi; Daisuke Niida; Hayato Sone; Sumio Hosaka, 2006年07月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS, 45, 24-28, L726, L729, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Memory effect in metal-chalcogenide-metal structures for ultrahigh-density nonvolatile memories, Y Yin; H Sone; S Hosaka, 2006年06月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS, 45, 6A, 4951, 4954, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Possibility of a femtogram mass biosensor using a self-sensing cantilever, S Hosaka; T Chiyoma; A Ikeuchi; H Okano; H Sone; T Izumi, 2006年06月, CURRENT APPLIED PHYSICS, 6, 3, 384, 388, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Electrical properties of phase change and channel current control in ultrathin phase-change channel transistor memory by annealing, Y Yin; A Miyachi; D Niida; H Sone; S Hosaka, 2006年04月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS, 45, 4B, 3238, 3242, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Nano-dots formation on silver sulphide surface using electron beam irradiation, H Sone; T Tamura; K Miyazaki; S Hosaka, 2006年04月, MICROELECTRONIC ENGINEERING, 83, 4-9, 1487, 1490, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Possibility to form an ultrahigh packed fine pit and dot arrays for future storage using EB writing, S Hosaka; H Sano; K Itoh; H Sone, 2006年04月, MICROELECTRONIC ENGINEERING, 83, 4-9, 792, 795, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Femtogram mass biosensor using self-sensing cantilever for allergy check, H Sone; A Ikeuchi; T Izumi; H Okano; S Hosaka, 2006年03月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS, 45, 3B, 2301, 2304, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• GSTの結晶構造および表面形状とラテラル型相変化素子の相変化制御性, 保坂 純男; 宮地 晃平; 尹 友; 仁井田 大輔; 曾根 逸人, 2006年, 電子情報通信学会技術研究報告, Vol.105, No.654, 1, 6
• Ultra Low Operation Current Lateral Phase-Change Memory, Y. Yin; D. Niida; N. Higano; A. Miyachi; H. Sone; S. Hosaka, 2006年, Extended Abstracts of the International Conference on Solid State Devices and Materials, Extended Abstracts of the International Conference on Solid State Devices and Materials, 562, 563
• A Novel Multi-Channel Phase-Change Memory Cell for Multi-State Storage with High Controllability, Y. Yin; K. Ohta; H. Sone; S. Hosaka, 2006年, proceedings of 8th international conference on Solid-state and integrated circuit technology, proceedings of 8th international conference on Solid-state and integrated circuit technology

  DOI
• Dependences of electrical properties of thin GeSbTe and AgInSbTe films on annealing, Y Yin; H Sone; S Hosaka, 2005年08月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS, 44, 8, 6208, 6212, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Prototype of atomic force cantilevered SNOM based on through-the-lens-type optical lever and polarized illumination and detection system, M Ono; H Sone; S Hosaka, 2005年07月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS, 44, 7B, 5434, 5437, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Formation of very fine pit and dot arrays using EB writing for ultrahigh density storage toward 1 Tb/in(2), S. Hosaka; H. Sano; A. Miyachi; K. Itoh; H. Sone, 2005年, 2005 IEEE CONFERENCE ON ELECTRON DEVICES AND SOLID-STATE CIRCUITS, PROCEEDINGS, 343, 346, 研究論文（国際会議プロシーディングス）
• Thickness Dependences of Phase Change and Channel Current Control in Phase-Change Channel Transistor, Y. Yin; A. Miyachi; D. Niida; H. Sone; S. Hosaka, 2005年, Procceeding of IEEE International Conference on Electron Devices and Solid-State Circuits, Procceeding of IEEE International Conference on Electron Devices and Solid-State Circuits, 617, 620

  DOI
• Picogram mass sensor using piezoresistive cantilever for biosensor, H Sone; H Okano; S Hosaka, 2004年07月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS, 43, 7B, 4663, 4666, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Highly precise atomic force microscope measurement of high-aspect nanostructure free of probe bending error, S Hosaka; D Terauchi; H Sone; T Morimoto; Y Kembo; H Koyanagi, 2004年06月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS, 43, 6A, 3572, 3575, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Proposal for a memory transistor using phase-change and nanosize effects, S Hosaka; K Miyauchi; T Tamura; H Sone; H Koyanagi, 2004年06月, MICROELECTRONIC ENGINEERING, 73-4, 736, 740, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Picogram mass sensor using resonance frequency shift of cantilever, H Sone; Y Fujinuma; S Hosaka, 2004年06月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS, 43, 6A, 3648, 3651, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Picogram mass sensor using microcantilever, H Sone; Y Fujinuma; T Hieida; T Chiyoma; H Okano; S Hosaka, 2004年, SICE 2004 ANNUAL CONFERENCE, VOLS 1-3, 1508, 1513, 研究論文（国際会議プロシーディングス）
• 超高密度記録のための相変化チャンネルトランジスタの可能性－1つのトランジスタで、メモリ格納とスイッチオンオフ制御－, 保坂 純男; 尹 友; 曾根 逸人, 2004年, 電子情報通信学会技術研究報告, Vol. 103, No. 729, 1, 6
• Electric properties of thin GeSbTe and AgInSbTe films by annealing, Y. Yin; H. Sone; S. Hosaka, 2004年, Proceedings of the 16th Symposium Phase Change Optical Information Storage PCOS 2004, Proceedings of the 16th Symposium Phase Change Optical Information Storage PCOS 2004, 23, 26
• SNOM imaging of very fine pits formed by EB lithography for ultrahigh density optical recording, S Hosaka; H Sone; Y Takahashi; T Shintani; K Kato; T Saiki, 2003年06月, MICROELECTRONIC ENGINEERING, 67-8, 728, 735, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Pico-gram mass deviation detected by resonance frequency shift of AFM cantilever, H Sone; Y Fujinuma; T Hieida; S Hosaka, 2003年, SICE 2003 ANNUAL CONFERENCE, VOLS 1-3, 2121, 2124, 研究論文（国際会議プロシーディングス）
• Growth kinetics of hydrogenated amorphous silicon carbide films by RF plasma-enhanced CVD using two kinds of source materials, T Kaneko; N Miyakawa; H Sone; H Yamazaki, 2002年04月, THIN SOLID FILMS, 409, 1, 74, 77, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• The growth process and optical emission spectroscopy of amorphous silicon carbide films from methyltrichlorosilane by rf plasma enhanced CVD, T Kaneko; N Miyakawa; H Sone; H Yamazakia, 2001年07月, SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 142, 360, 364, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Luminescence from Er-doped Si film grown by solid phase epitaxy, Takane Kobayashi; Shuji Komuro; Hayato Sone; Susumu Shimoda; Hideo Isshiki; Takeshi Katayama; Masakazu Aono, 2001年, RIKEN Review, RIKEN Review, No. 38, 23, 25
• In situ measurements and growth kinetics of silicon carbide chemical vapor deposition from methyltrichlorosilane, H Sone; T Kaneko; N Miyakawa, 2000年10月, JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 219, 3, 245, 252, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Study of diffusion and defects by medium-energy coaxial impact-collision ion scattering spectroscopy, T Kobayashi; CF McConville; J Nakamura; G Dorenbos; H Sone; T Katayama; M Aono, 2000年, DEFECTS AND DIFFUSION IN SEMICONDUCTORS, 183-1, 207, 213, 研究論文（学術雑誌）
• Growth kinetics of silicon carbide chemical vapor deposition from methyltrichlorosilane, T Kaneko; H Sone; N Miyakawa; M Naka, 1999年04月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS, 38, 4A, 2089, 2091, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Thin film growth of silicon carbide from methyl-trichloro-silane by RF plasma-enhanced CVD, T Kaneko; N Miyakawa; H Sone; M Iijima, 1997年04月, JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 174, 1-4, 658, 661, 研究論文（学術雑誌）

  DOI
• Growth kinetics of various vapor-grown SiC, T Kaneko; H Sone; N Miyakawa; M Naka, 1996年, SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS 1995, 142, 53, 56, 研究論文（学術雑誌）
• Study of silicon carbide CVD process by thermogravimetry, H Sone; T Kaneko; N Miyakawa, 1996年, SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS 1995, 142, 193, 196, 研究論文（学術雑誌）

MISC

• 電子線描画法による高感度シリコンナノワイヤバイオセンサの作製およびアトモル濃度の抗原抗体特異結合の検出, 張慧; 大嶋紀安; 大嶋駆; 菊池直樹; 加治佐平; 坂田利弥; 和泉孝志; 曾根逸人, 2019年03月, 第66回応用物理学会春季学術講演会講演要旨, 9a-S421-12, 研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）
• 電子線リソグラフを用いた超高感度Siナノワイヤバイオセンサの創製, 曾根 逸人; 櫻井 祐也; 田代 朋也; 大嶋 紀安; 和泉 孝志, 2017年, 群馬大学 医理工生命医科学融合医療イノベーションプロジェクト年次報告書 Annual Report 2017, 群馬大学 医理工生命医科学融合医療イノベーションプロジェクト年次報告書 Annual Report 2017, 75, 75
• 電子線リソグラフを用いた超高感度Siナノワイヤバイオセンサの作製と低濃度抗体検出, 田代朋也; 大嶋駆; 櫻井裕也; 張慧; 鈴木孝明; 大嶋紀安; 和泉孝志; 曾根 逸人, 2017年, バイオ・マイクロシステム研究会資料, 2017IEEJapan, 11, 16
• Possibility to form nanometer-sized optical probe in an atomic force cantilevered SNOM, Sumio Hosaka; Takayuki Shimizu; Kentaro Mine; Keisuke Shimada; Hayato Sone, 2007年, J. Phys. Conf. Ser, 61, 425, 429

  DOI
• カンチレバー型フェムトグラムバイオセンサを用いた抗体抗原反応測定, 池内歩; 曾根逸人; 保坂純男; 和泉孝志; 岡野晴樹, 2005年03月29日, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 52nd, 3, 1468
• カンチレバー共振型ピコグラムセンサー, 曾根逸人; 保坂純男; 和泉孝志; 岡野晴樹, 2004年09月01日, 応用物理学会学術講演会講演予稿集, 応用物理学会学術講演会講演予稿集, 65th, 0, 22
• 原子スイッチを用いたマトリクスアレイメモリの研究, 田村拓郎; 宮崎健; 曾根逸人; 保坂純男; 長谷川剛; 青野正和, 2003年08月30日, 応用物理学会学術講演会講演予稿集, 応用物理学会学術講演会講演予稿集, 64th, 1, 151
• 超高密度デバイスのための相変化メモリトランジスタの可能性, 保坂純男; 宮内邦之; 田村拓郎; 曽根逸人, 2003年08月30日, 応用物理学会学術講演会講演予稿集, 応用物理学会学術講演会講演予稿集, 64th, 1, 152
• ナノ力学的操作による量子化コンダクタンス・デバイス (日本顕微鏡学会第48回シンポジウム 材料科学と生命科学のクロストーク--顕微解析の最前線) -- (非生物系セッション4 SPMとナノ力学的デバイス), 保坂 純男; 田村 拓郎; 曽根 逸人, 2003年, 電子顕微鏡, 38, 0, 129, 132
• Reflection type depolarization near-field optical imaging of very fine pits formed by EB fabrication, 保坂 純男; 曾根 逸人; 高橋 佳孝; T. Shintani; K. Katoh; T. Saiki, 2003年, Microelectronics Eng., Vol. 67-68, pp.728-735

  DOI
• Study of Silicon Carbide CVD Process by Thermogravimetry, T. Kaneko; H. Sone; N. Miyakawa; K. Kishi, 1994年, Proceedings of the 7th Topical Meeting on Crystal Growth Mechanism, Proceedings of the 7th Topical Meeting on Crystal Growth Mechanism, 12, 141, 144

書籍等出版物

• 炭素とケイ素の元素科学（監修：松本英之，大谷朝男，編集：海野雅史）“ケイ素系ナノワイヤ～作製からセンサ応用まで”, 群馬大学 エレメント・イノベーションプロジェクト, 2014年
• 最強エレメント ケイ素の不思議（海野雅史ほか著）“極細のケイ素化合物～ケイ素系ナノワイヤ”, 上毛新聞社, 2011年, ISBN: 9784863520509
• “Self-Sensing Cantilever Sensor for Bioscience”, Applied Scanning Probe Methods VIII (Ed.: B. Bhushan, H. Fuchs, M. Tomitori), Springer-Verlag, 2008年
• “Self-Sensing Cantilever Sensor for Bioscience”, Applied Scanning Probe Methods VIII (Ed.: B. Bhushan, H. Fuchs, M. Tomitori), 2008年
• “実戦ナノテクノロジー－走査プローブ顕微鏡と局所分光”（河津璋，重川秀実，吉村雅満編著），第６章 発展的応用分光，6.1 微小質量計測, 裳華房, 2005年, ISBN: 4785369078

講演・口頭発表等

• The Possibility of Ultrasensitive Detection of Biomolecules using Silicon Nanowire Biosensor with Structural Optimization, Hui Zhang, Mayuna Abe, Fumiya Osawa, Yawei Qiu, Noriyasu Ohshima, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi Izumi and Hayato Sone, 36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2023), 2023年11月16日, 2023年11月14日, 2023年11月17日, 英語, 日本国, 国際会議
• Fabrication of Ring-Shaped Multi-Biosensor for in vitro Embryo Evaluation and Measurement of Weight Detection Sensitivity, Hayato Sone, Kanto Arai, Keisuke Wada, Riho Kakinuma, Akiko Saito, Hui Zhang and Toshiya Sakata, 36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2023), 2023年11月16日, 2023年11月14日, 2023年11月17日, 英語, 日本国, 国際会議
• 体外受精卵評価のためのリング型マルチバイオセンサ作製と質量検出感度測定, 和田圭祐，新井貫人，柿沼李帆，齋藤暁子，張慧，坂田利弥，曾根逸人, 第84回応用物理学会秋季学術講演会, 2023年09月21日, 2023年09月19日, 2023年09月23日, 日本語, 熊本, 日本国
• Siナノワイヤバイオセンサ空乏領域の推測による高感度化要因の解明, 張慧，邱亜威，大澤郁弥，大嶋紀安，加治佐平，坂田利弥，和泉孝志，曾根逸人, 第84回応用物理学会秋季学術講演会, 2023年09月21日, 2023年09月19日, 2023年09月23日, 日本語, 熊本, 日本国
• 電子線描画法によるp型およびn型SiNWの作製とFET特性評価, 板橋芽比子，邱亜威，大澤郁弥，大嶋紀安，和泉孝志，張慧，曾根逸人, 量子生命科学先端フォーラム2022冬の研究会, 2022年11月27日, 2022年11月25日, 2022年11月27日, 日本語, 量子科学技術研究開発機構，稲毛, 日本国, 国内会議
• 体外受精卵評価のためのリング型マルチバイオセンサ作製と変位出力測定, 新井貫人，菊池直樹，和田圭祐，齋藤暁子，張慧，坂田利弥，曾根逸人, 量子生命科学先端フォーラム2022冬の研究会, 2022年11月27日, 2022年11月25日, 2022年11月27日, 日本語, 量子科学技術研究開発機構，稲毛, 日本国, 国内会議
• Siナノワイヤバイオセンサの細線化による生体分子の高感度・特異的検出の実現, 張慧, 邱亜威, 板橋芽比子，大澤郁弥，大嶋紀安，坂田利弥，和泉孝志，加治佐平，曾根逸人, 量子生命科学先端フォーラム2022冬の研究会, 2022年11月26日, 2022年11月25日, 2022年11月27日, 日本語, 量子科学技術研究開発機構，稲毛, 日本国, 国内会議
• Investigation of Thinning Effect on Sensitivity of Silicon Nanowire Biosensor for Ultra-Sensitive and Specific Biomolecule Detection, Hui Zhang, Yawei Qiu, Fumiya Osawa, Meiko Itabashi, Noriyasu Ohshima, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi Izumi and Hayato Sone, 35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2022), 2022年11月10日, 2022年11月08日, 2022年11月11日, 英語, 日本国, 国際会議
• 電子線リソグラフィによるSiナノワイヤセンサの作製とアンモニアガス反応評価, 宮田青空, 神野龍人, 村康太, 斎藤高弘, 張慧, 曾根逸人, 量子生命科学先端フォーラム2021冬の研究会, 2021年12月16日, 2021年12月16日, 2021年12月17日, 日本語, オンライン, 日本国, 国内会議
• 電子線描画法を用いた超高感度 Siナノワイヤバイオセンサの作製と特性評価, 邱亜威, 新井出海, 板橋芽比子, 大澤郁弥, 大嶋紀安, 和泉孝志, 張慧, 曾根逸人, 量子生命科学先端フォーラム2021冬の研究会, 2021年12月16日, 2021年12月16日, 2021年12月17日, 日本語, オンライン, 日本国, 国内会議
• 微小生体分子観察のための近接場蛍光顕微鏡の開発, 金井元紀, 寺内優友, 小野雅之, 張慧, 曾根逸人, 量子生命科学先端フォーラム2021冬の研究会, 2021年12月16日, 2021年12月16日, 2021年12月17日, 日本語, オンライン, 日本国, 国内会議
• 高感度 Siナノワイヤバイオセンサ作製のための最適なドーピング濃度の探求, 新井出海, 邱亜威, 板橋芽比子, 大澤郁弥, 大嶋紀安, 和泉孝志, 張慧, 曾根逸人, 量子生命科学先端フォーラム2021冬の研究会, 2021年12月16日, 2021年12月16日, 2021年12月17日, 日本語, オンライン, 日本国, 国内会議
• 2方向観察沈降測定法を用いたマウス受精卵成長過程の質量測定, 菊池直樹, 齋藤暁子, 丸山拡希, 吉川朝哉, 外山吉治, 佐々木直哉, 張慧, 保坂純男, 坂田利弥, 曾根逸人, 量子生命科学先端フォーラム2021冬の研究会, 2021年12月16日, 2021年12月16日, 2021年12月17日, 日本語, オンライン, 日本国, 国内会議
• Fabrication of Ultrahigh-Sensitivity Silicon Nanowire Biosensor by CMOS-Compatible Process for Detecting Biomolecules at Low Concentrations, Hui Zhang; Kei Okabe; Naoki Kikuchi; Noriyasu Ohshima; Taira Kajisa; Toshiya Sakata; Takashi Izumi; Hayato Sone, International Conference on Mechanical, Electrical and Medical Intelligent System 2019, 2019年12月04日, 英語
• ナノ加工技術を用いた高感度バイオセンサの創製, 曾根逸人, スマートプロセス学会 第5回有機/無機接合研究委員会, 2019年11月11日, 日本語, 東京, 日本国
• 2方向観察沈降測定法を用いたマウス受精卵の成長に伴う質量変化測定, 菊池直樹, 吉川朝哉，齋藤暁子，佐々木直哉，外山吉治, 張慧，保坂純男, 坂田利弥，曾根逸人, 第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019年09月19日
• シリコンナノワイヤ細線化によるバイオセンサ検出感度の評価, 張慧，岡部圭, 菊池直樹, 大嶋紀安, 加治佐平, 坂田利弥, 和泉孝志，曾根逸人, 第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019年09月18日
• ナノスケール計測加工技術を用いた高感度バイオセンサの創製, 曾根逸人, 第112回複合材料懇話会・講演会, 2019年06月14日, 日本語, 桐生, 日本国
• 電子線描画法による高感度シリコンナノワイヤバイオセンサの作製およびアトモル濃度の抗原抗体特異結合の検出, 張慧，大嶋紀安，大嶋駆，菊池直樹，加治佐平，坂田利弥，和泉孝志，曾根逸人, 第66回応用物理学会秋春季学術講演会, 2019年03月09日
• Fabrication of Highly Sensitive Silicon Nanowire Biosensor by Electron Beam Lithography for Detecting Antigen-Antibody Specific Binding at Attomolar Concentration, Hui Zhang; Noriyasu Ohshima; Kakeru Oshima; Naoki Kikuchi; Taira Kajisa; Toshiya Sakata; Takashi Izumi; Hayato Sone, 5th International Symposium of Gunma University Medical Innovation and 9th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2018年12月06日, 英語, 国際会議
• Nanostructure-Incorporated Phase-Change Memory, You Yin; Dai Nishijo; Hayato Sone, 5th International Symposium of Gunma University Medical Innovation and 9th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2018年12月06日, 英語, 国際会議
• Fabrication of W Nanowire Using Electron Beam Lithography for Highly Sensitive Gas Sensor, Naoki Sakuma; Takumi Kato; Yoshitaka Mura; Masayuki Ono; Hayato Sone, 5th International Symposium of Gunma University Medical Innovation and 9th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2018年12月06日, 英語, 国際会議
• Fabrication of Sub-20 nm Width Silicon Nanowire-Based Biosensor for Detecting Biomolecules at Attomolar Concentrations, Hui Zhang; Kakeru Oshima; Naoki Kikuchi; Noriyasu Ohshima; Taira Kajisa; Toshiya Sakata; Takashi Izumi; Hayato Sone, 14th International Conference on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures (ACSIN-14) and 26th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy (ICSPM26), 2018年10月25日, 英語, 国際会議
• Fabrication of Fluorescence Detection Optical System to Develop Scanning Near-Field Fluorescence Microscope, Takahiro Wakahara, Masayuki Ono, Sumio Hosaka and Hayato Sone, International Workshop on Advanced Electrical and Electronic Engineering 2018 (IWAEEE2018), 2018年09月17日, 英語, 中華人民共和国, 国際会議
• Formation of W Nanowire Using Electron Beam Lithography and Its Application to Highly Sensitive Gas Sensor, Takumi Kato, Naoki Sakuma and Hayato Sone, International Workshop on Advanced Electrical and Electronic Engineering 2018 (IWAEEE2018), 2018年09月17日, 英語, 中華人民共和国, 国際会議
• Fabrication of N-type Silicon Nanowire Biosensor for Sub-10-Femtomolar Concentration of Immunoglobulin, Tomoya Tashiro, Hui Zhang, Kakeru Oshima, Yuya Sakurai, Takaaki Suzuki, Noriyasu Ohshima, Takashi Izumi and Hayato Sone, International Workshop on Advanced Electrical and Electronic Engineering 2018 (IWAEEE2018), 2018年09月17日, 英語, 中華人民共和国, 国際会議
• 受精卵質量測定のためのホルダ型ピエゾ抵抗カンチレバの試作と評価, 曾根 逸人, ナノプローブテクノロジー第167委員会第88回研究会, 2018年04月13日, 日本語, 国内会議
• Polymer Nano-Line Array Pattern Formed by Blockcopolymer Self-Assembly, Rika Sendai, Hui Zhang, Hayato Sone and Sumio Hosaka, Gunma International Symposium 2018, 2018年, 英語, 国際会議
• 有限要素解析による受精卵搭載ホルダ型カンチレバセンサの振動解析, 佐山雄基，角田一樹，高城翔太，齋藤暁子，保坂純男，坂田利弥，曾根逸人, 第65回応用物理学会秋春季学術講演会, 2018年
• Tb3Al5O12:Eu3+赤色蛍光体の発光機構, 大西勇也，中村俊博，曾根逸人，安達定雄, 第65回応用物理学会秋春季学術講演会, 2018年
• Polymer Nano-Line Array Pattern Formed by Blockcopolymer Self-Assembly, Rika Sendai, Hui Zhang, Hayato Sone and Sumio Hosaka, Gunma International Symposium 2018, 2018年
• TbAlO3:Eu3+赤色蛍光体の光学特性, 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017年
• Fabrication of Silicon Nanowire Biosensor Using Electron Beam Lithography and Low-Concentration Antibody Detection, 4th International Symposium of Gunma University Medical Innovation, 2017年
• 2方向観察沈降測定法によるマウス受精卵質量測定, 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017年
• 2方向観察沈降測定法によるマウス受精卵質量測定, 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017年
• 受精卵質量測定のための2方向観察沈降測定法の開発, 第64回応用物理学会秋春季学術講演会, 2017年
• Fabrication of Silicon Nanowire Biosensor Using Electron Beam Lithography and Low-Concentration Antibody Detection, 4th International Symposium of Gunma University Medical Innovation, 2017年
• 受精卵質量測定のための沈降測定法の開発, 第77回応用物理学会秋季学術講演会, 2016年
• 受精卵質量測定のための交流ブリッジ回路型変位検出システムの試作, 第77回応用物理学会秋季学術講演会, 2016年
• Sea urchin egg mass measurement using piezoresistive cantilever and sedimentation measurement method, The 42nd Intern. Conf. on Micro- and Nano-Engineering 2016, 2016年
• Fabrication of N-type Silicon Nanowire Using Electron Beam Lithography for Peptide Detection, 3rd International Symposium of Gunma University Medical Innovation and 8th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2016年
• Fabrication of Tungsten Nanowires Using Nickel Catalyst and Its Application to Flammable Gas Sensor, 3rd International Symposium of Gunma University Medical Innovation and 8th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2016年
• ホルダ型ピエゾ抵抗カンチレバを用いたマウス受精卵質量測定, 第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016年
• Sea urchin egg mass measurement using piezoresistive cantilever and sedimentation measurement method, The 42nd Intern. Conf. on Micro- and Nano-Engineering 2016, 2016年
• Fabrication of N-type Silicon Nanowire Using Electron Beam Lithography for Peptide Detection, 3rd International Symposium of Gunma University Medical Innovation and 8th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2016年
• Fabrication of Tungsten Nanowires Using Nickel Catalyst and Its Application to Flammable Gas Sensor, 3rd International Symposium of Gunma University Medical Innovation and 8th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2016年
• LabVIEW-Controlled Scanning Near-Field Polarization Microscope, The 11th International Workshop on Radiation Effects on Semiconductor Devices for Space Applications (11th RASEDA) and The 7th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (7th AMDE), 2015年
• Fabrication of N-type Silicon Nanowire Using Focused Ion Beam for Biosensor, The 11th International Workshop on Radiation Effects on Semiconductor Devices for Space Applications (11th RASEDA) and The 7th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (7th AMDE), 2015年
• Fabrication of N-type Silicon Nanowire Using Electron Beam Lithography for Antibody Detection, 2nd International Symposium of Gunma University Medical Innovation, 2015年
• 受精卵質量測定のためのホルダ型ピエゾ抵抗カンチレバの試作と評価, 第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015年
• Ge2Sb2Te5薄膜からのTeナノニードル作製と組成評価, 第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015年
• 受精卵質量測定のための変位検出型ピエゾ抵抗カンチレバセンサの試作と評価, 第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015年
• 受精卵質量測定のためのホルダ型ピエゾ抵抗カンチレバの改良, 第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015年
• Ordering of either nano-dot arrays or nano-lines along EB-drawn resist guide lines using PS-PDMS self-assembly with a molecular weight of 1.46 kg/mol, The 41st Intern. Conf. on Micro- and Nano-Engineering 2015, 2015年
• Fabrication of holder-type piezoresistive cantilever for embryo mass measurement, The 41st Intern. Conf. on Micro- and Nano-Engineering 2015, 2015年
• LabVIEW-Controlled Scanning Near-Field Polarization Microscope, The 11th International Workshop on Radiation Effects on Semiconductor Devices for Space Applications (11th RASEDA) and The 7th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (7th AMDE), 2015年
• Fabrication of N-type Silicon Nanowire Using Focused Ion Beam for Biosensor, The 11th International Workshop on Radiation Effects on Semiconductor Devices for Space Applications (11th RASEDA) and The 7th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (7th AMDE), 2015年
• Fabrication of N-type Silicon Nanowire Using Electron Beam Lithography for Antibody Detection, 2nd International Symposium of Gunma University Medical Innovation, 2015年
• Ordering of either nano-dot arrays or nano-lines along EB-drawn resist guide lines using PS-PDMS self-assembly with a molecular weight of 1.46 kg/mol, The 41st Intern. Conf. on Micro- and Nano-Engineering 2015, 2015年
• Fabrication of holder-type piezoresistive cantilever for embryo mass measurement, The 41st Intern. Conf. on Micro- and Nano-Engineering 2015, 2015年
• Fabrication of N-type Silicon Nanowire Using FIB for Biomolecule Detection, 4th International Symposium on Element Innovation, 2014年
• Fabrication of N-type Silicon Nanowire Using FIB for Biomolecule Detection, 1st International Symposium of Gunma University Medical Innovation and 6th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2014年
• Fabrication of N-type Silicon Nanowire Using Electron Beam Lithography for Biomolecule Detection, 1st International Symposium of Gunma University Medical Innovation and 6th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2014年
• High Resolution Magnetization Measurement of External-field-Switched Magnetic Nanodot Using Scanning Near-field Polarization Microscopy, The 22nd International Colloquium on Scanning Probe Microscopy, 2014年
• Sb2Te3のナノ構造作製と組成分析, 第75回応用物理学会秋季学術講演会, 2014年
• 近接場偏光顕微鏡を用いた磁気ドットの高分解能磁化計測, 第75回応用物理学会秋季学術講演会, 2014年
• 受精卵質量測定のためのホルダ型ピエゾ抵抗カンチレバの設計と作製, 第75回応用物理学会秋季学術講演会, 2014年
• 生体分子検出のための集束イオンビームを用いたシリコンナノワイヤバイオセンサの作製と評価, 第57回自動制御連合講演会, 2014年
• Fabrication of N-type Silicon Nanowire Using FIB for Biomolecule Detection, 4th International Symposium on Element Innovation, 2014年
• Fabrication of N-type Silicon Nanowire Using FIB for Biomolecule Detection, 1st International Symposium of Gunma University Medical Innovation and 6th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2014年
• Fabrication of N-type Silicon Nanowire Using Electron Beam Lithography for Biomolecule Detection, 1st International Symposium of Gunma University Medical Innovation and 6th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2014年
• High Resolution Magnetization Measurement of External-field-Switched Magnetic Nanodot Using Scanning Near-field Polarization Microscopy, The 22nd International Colloquium on Scanning Probe Microscopy, 2014年
• Fabrication using Focused Ion Beam Processing of Devices Employing Silicon-Based Nanowires Synthesized by Vapor-Liquid-Solid Growth, 3rd International Conference on Applied Mechanics, Materials, and Manufacturing, 2013年
• Prototype of Silicon Nanowire Biosensor Using FIB for Antibody Detection, 3rd International Symposium on Element Innovation, 2013年
• Fabrication of Silicon Nanowire Biosensor Using FIB and Antibody Detection, 12th International Conference on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures, 2013年
• Growth of Titanium Oxide Nanowires on Ti Substrate by Thermal Oxidation Process, 5th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2013年
• Fabrication of Holder-Type Piezoresistive Cantilever Using Focused Ion Beam, 5th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2013年
• Fabrication using Focused Ion Beam Processing of Devices Employing Silicon-Based Nanowires Synthesized by Vapor-Liquid-Solid Growth, 3rd International Conference on Applied Mechanics, Materials, and Manufacturing, 2013年
• Prototype of Silicon Nanowire Biosensor Using FIB for Antibody Detection, 3rd International Symposium on Element Innovation, 2013年
• Fabrication of Silicon Nanowire Biosensor Using FIB and Antibody Detection, 12th International Conference on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures, 2013年
• Growth of Titanium Oxide Nanowires on Ti Substrate by Thermal Oxidation Process, 5th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2013年
• Fabrication of Holder-Type Piezoresistive Cantilever Using Focused Ion Beam, 5th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2013年
• Fabrication of Silicon-Based Nanowires using Vapor-Liquid-Solid Growth for High Sensitive Sensor, 5th International Conference on Advanced Science and Technology for Materials, Manufacturing and Measurement, 2012年
• Fabrication of Silicon-based Nanowire device for high sensitive sensor, 2nd International Symposium on Element Innovation, 2012年
• WOx Nanowires Growth using Infrared Heating Furnace for High Sensitive Gas Sensor, 4th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2012年
• Vapor-Liquid-Solid Synthesized Silicon-based Nanowire Device for High Sensitive Sensor, 4th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2012年
• Fabrication of Si Nanowire Biosensor using FIB and Its Evaluations, 4th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2012年
• Fabrication of Silicon-Based Nanowires using Vapor-Liquid-Solid Growth for High Sensitive Sensor, 5th International Conference on Advanced Science and Technology for Materials, Manufacturing and Measurement, 2012年
• Fabrication of Silicon-based Nanowire device for high sensitive sensor, 2nd International Symposium on Element Innovation, 2012年
• WOx Nanowires Growth using Infrared Heating Furnace for High Sensitive Gas Sensor, 4th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2012年
• Vapor-Liquid-Solid Synthesized Silicon-based Nanowire Device for High Sensitive Sensor, 4th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2012年
• Fabrication of Si Nanowire Biosensor using FIB and Its Evaluations, 4th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2012年
• Vapor-Liquid-Solid Growth of Silicon-Based Nanowires for high sensitive sensor, 3rd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2011年
• Fabrication of Silicon- Based Nanowires for high sensitive sensor, 1st International Symposium on Element Innovation, 2011年
• Fabrication of hole-type microcantilevers using FIB and its evaluations, 3rd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2011年
• Vapor-Liquid-Solid Growth of Silicon-Based Nanowires for high sensitive sensor, 3rd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2011年
• Fabrication of Silicon- Based Nanowires for high sensitive sensor, 1st International Symposium on Element Innovation, 2011年
• Fabrication of hole-type microcantilevers using FIB and its evaluations, 3rd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2011年
• Measurement of Local Stress Distribution in Fine Silicon Gate Using Illumination-Collection Mode Scanning Near-Field Optical Microscopy and Raman Spectroscopy, The 7th International Forum on Advanced Material Science and Technology, 2010年
• Step-in mode NC-AFM for CD measurement of fine structure in air, The 13th International Conference on Non-Contact Atomic Force Microscopy, 2010年
• Pico-Newton Controlled Step-in Mode NC-AFM Using a Quadrature Demodulator and a Slim Probe in Air for CD-AFM, 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2010年
• Vapor-Liquid-Solid Growth of Silicon-Based Nanowires for High-Aspect-Ratio AFM Probe Fabrication, 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2010年
• Measurement of Local Stress Distribution in Fine Silicon Gate Using Illumination-Collection Mode Scanning Near-Field Optical Microscopy and Raman Spectroscopy, The 7th International Forum on Advanced Material Science and Technology, 2010年
• Step-in mode NC-AFM for CD measurement of fine structure in air, The 13th International Conference on Non-Contact Atomic Force Microscopy, 2010年
• Pico-Newton Controlled Step-in Mode NC-AFM Using a Quadrature Demodulator and a Slim Probe in Air for CD-AFM, 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2010年
• Vapor-Liquid-Solid Growth of Silicon-Based Nanowires for High-Aspect-Ratio AFM Probe Fabrication, 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2010年
• Challenge to form 25x25 nm2 pitch dot on magnetic thin film on glass substrate for 1 Tb/in2 magnatic strage, 2nd International Workshop on Nanotechnology, 2009年
• Research activities on nanotechnology in Hosaka Lab., 2nd International Workshop on Nanotechnology, 2009年
• Prototype of self-sensing cantilever for biosensor and femtogram detection, 2nd International Workshop on Nanotechnology, 2009年
• Near-filed Raman spectroscopy using illumination-collection mode with typical AFM pyramidal probe, 2nd International Workshop on Nanotechnology, 2009年
• Scanning Near-field Raman spectroscopy (SNRS) to detect the stress distribution for high spatial resolution, 2nd international symposium on MONODZUKURI, 2009年
• Prototype of illumination-collection mode scanning near-field optical microscopy and Raman spectroscopy with aperture-less pyramidal probe, 1st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2009年
• Nano-dot and pit arrays with a pitch of 25 nm x 25 nm fabricated by EB drawing, RIE and nano-imprinting toward 1 Tb/ in2 storage, 2nd international symposium on MONODZUKURI, 2009年
• Prototype of self-sensing cantilever for biosensor and femtogram detection, 2nd International Symposium on MONODZUKURI, 2009年
• Fabrication of Si nanowire probe cantilever for high-aspect-ratio pattern measurement, 2nd International Symposium on MONODZUKURI, 2009年
• Prototype of self-sensing cantilever for biosensor and femtogram detection, 1st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2009年
• Fabrication of Si Nanowire Probe Cantilever for High-Aspect-Ratio Pattern Measurement, 1st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2009年
• Nanomagnetic dot arrays fabrication based on electron beam drawing and its size effect, Nanomeeting-2009, 2009年
• Challenge to form 25x25 nm2 pitch dot on magnetic thin film on glass substrate for 1 Tb/in2 magnatic strage, 2nd International Workshop on Nanotechnology, 2009年
• Research activities on nanotechnology in Hosaka Lab., 2nd International Workshop on Nanotechnology, 2009年
• Prototype of self-sensing cantilever for biosensor and femtogram detection, 2nd International Workshop on Nanotechnology, 2009年
• Near-filed Raman spectroscopy using illumination-collection mode with typical AFM pyramidal probe, 2nd International Workshop on Nanotechnology, 2009年
• Prototype of illumination-collection mode scanning near-field optical microscopy and Raman spectroscopy with aperture-less pyramidal probe, 1st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE), 2009年
• Nano-dot and pit arrays with a pitch of 25 nm x 25 nm fabricated by EB drawing, RIE and nano-imprinting toward 1 Tb/ in2 storage, 2nd international symposium on MONODZUKURI, 2009年
• Scanning Near-field Raman spectroscopy (SNRS) to detect the stress distribution for high spatial resolution, 2nd international symposium on MONODZUKURI, 2009年
• Prototype of self-sensing cantilever for biosensor and femtogram detection, 2nd International Symposium on MONODZUKURI, 2009年
• Fabrication of Si nanowire probe cantilever for high-aspect-ratio pattern measurement, 2nd International Symposium on MONODZUKURI, 2009年
• Prototype of self-sensing cantilever for biosensor and femtogram detection, 1st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2009年
• Fabrication of Si Nanowire Probe Cantilever for High-Aspect-Ratio Pattern Measurement, 1st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2009年
• Nanomagnetic dot arrays fabrication based on electron beam drawing and its size effect, Nanomeeting-2009, 2009年
• Multi-self- sensing system using piezoresistive cantilever for femtogram mass biosensor, 5th International Symposium on Nanomanufacturing, 2008年
• Prospective of Phase-Change Memory, 2008 MRS Spring Meeting, 2008年
• Near-field Raman spectroscopy using illumination-collection mode with aperture-less pyramidal probe, The 16th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy, 2008年
• フレーム型カンチレバーの試作, 第55回応用物理学会関連連合講演会, 2008年
• ピコニュートン制御によるAFMの試作, 第69回応用物理学会学術講演会, 2008年
• Multi-self- sensing system using piezoresistive cantilever for femtogram mass biosensor, 5th International Symposium on Nanomanufacturing, 2008年
• Prospective of Phase-Change Memory, 2008 MRS Spring Meeting, 2008年
• Near-field Raman spectroscopy using illumination-collection mode with aperture-less pyramidal probe, The 16th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy, 2008年
• ラテラル型相変化抵抗素子における相変化繰り返し実験電子線描画とRIEを用いた10nmドット径モールドによるナノインプリント, 第54回応用物理学会関連連合講演会, 2007年
• ヒーター層付きラテラル型相変化メモリのジュール加熱シミュレーション, 第54回応用物理学会関連連合講演会, 2007年
• ヒーター層付きラテラル型相変化メモリ素子の繰り返し相変化実験, 第54回応用物理学会関連連合講演会, 2007年
• In Situ SEM Observation of Grain Formation and Growth Induced by Electrical Pulses in Lateral Ge2Sb2Te5 Phase-Change Memory, 2007 MRS Spring Meeting, 2007年
• Atomic and nanometer scale observations using Non-Contact Atomic Force Microscope, 1st Surface and Nano Science Workshop, 2007年
• Estimation of AFM tip shape from AFM image for accuate AFM measurement, The 2nd Gunma International Symposium on Chemistry, 2007年
• Nano-dot and pit arrays with a pitch of 25 nm x 25nm fabricated by EB drawing, RIE and nano-imprinting toward 1 Tb/in2 storage, Micro- and Nano-Engineering 2007 33rd Intern. Conf., 2007年
• Characteristics of N-doped Sb2Te3 Films by X-Ray Diffraction and Resistance Measurement for Phase-Change Memory, 2007 MRS Spring Meeting, 2007年
• Growth control of self-assembled ErSi2 nanowires on Si(001) and Si(110) surfaces, 1st Surface and Nano Science Workshop, 2007年
• Nano-dot arrays with a pitch of 25 nm x 25nm written by EB writer for over 1 Tb/in2 storage, 1st Surface and Nano Science Workshop, 2007年
• Direct and indirect heating of low power lateral type PCMD, 1st Surface and Nano Science Workshop, 2007年
• Nanometer scale studies of phase-change material using NC-AFM, XRD, and TEM, 1st Surface and Nano Science Workshop, 2007年
• SNOM studies for Nanometer Resolution, 1st Surface and Nano Science Workshop, 2007年
• Nanometer scale studies of phase-change material using NC-AFM, XRD, and TEM, The 2nd Gunma International Symposium on Chemistry, 2007年
• Challenge of Nano-structure Formation using Novel and Primitive Technologies (From atomic manipulation to electron beam drawing), The 2nd Gunma International Symposium on Chemistry, 2007年
• SNOM studies for Nanometer Resolution, The 2nd Gunma International Symposium on Chemistry, 2007年
• Atomic and nanometer scale observations on Si(110) reconstruction surface using Non-Contact Atomic Force Microscope, The 2nd Gunma International Symposium on Chemistry, 2007年
• Local heating of phase change material in PCMD, The 2nd Gunma International Symposium on Chemistry, 2007年
• Growth controle of ErSi2 nanowires on Si(001) and Si(110) surface, The 2nd Gunma International Symposium on Chemistry, 2007年
• Investigation of the switching time of an atomic switch controlled by solid electrochemical reaction, The 2nd Gunma International Symposium on Chemistry, 2007年
• Growth control of ErSi2 nanowires on Si(001) and Si(110) surfaces, The 3rd International Symposium on Development of Silicon-based Functional Materials, 2007年
• Estimation of AFM tip shape from AFM image for accurate AFM measurement, The 15th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy, 2007年
• Prototypical lateral multi-state phase-change memory with a multi-layer medium, 2007 IEEE International Conference on Electron Devices and Solid-State Circuits, 2007年
• Possibility to detect Raman spectrum using atomic force cantilevered SNOM with aperture-less pyramidal probe, 2007 IEEE International Conference on Electron Devices and Solid-State Circuits, 2007年
• インパルス応答法を応用したAFM探針形状の推定, 第68回応用物理学会学術講演会, 2007年
• In Situ SEM Observation of Grain Formation and Growth Induced by Electrical Pulses in Lateral Ge2Sb2Te5 Phase-Change Memory, 2007 MRS Spring Meeting, 2007年
• Atomic and nanometer scale observations using Non-Contact Atomic Force Microscope, 1st Surface and Nano Science Workshop, 2007年
• Estimation of AFM tip shape from AFM image for accuate AFM measurement, The 2nd Gunma International Symposium on Chemistry, 2007年
• Nano-dot and pit arrays with a pitch of 25 nm x 25nm fabricated by EB drawing, RIE and nano-imprinting toward 1 Tb/in2 storage, Micro- and Nano-Engineering 2007 33rd Intern. Conf., 2007年
• Characteristics of N-doped Sb2Te3 Films by X-Ray Diffraction and Resistance Measurement for Phase-Change Memory, 2007 MRS Spring Meeting, 2007年
• Growth control of self-assembled ErSi2 nanowires on Si(001) and Si(110) surfaces, 1st Surface and Nano Science Workshop, 2007年
• Nano-dot arrays with a pitch of 25 nm x 25nm written by EB writer for over 1 Tb/in2 storage, 1st Surface and Nano Science Workshop, 2007年
• Direct and indirect heating of low power lateral type PCMD, 1st Surface and Nano Science Workshop, 2007年
• Nanometer scale studies of phase-change material using NC-AFM, XRD, and TEM, 1st Surface and Nano Science Workshop, 2007年
• SNOM studies for Nanometer Resolution, 1st Surface and Nano Science Workshop, 2007年
• Nanometer scale studies of phase-change material using NC-AFM, XRD, and TEM, The 2nd Gunma International Symposium on Chemistry, 2007年
• Challenge of Nano-structure Formation using Novel and Primitive Technologies (From atomic manipulation to electron beam drawing), The 2nd Gunma International Symposium on Chemistry, 2007年
• SNOM studies for Nanometer Resolution, The 2nd Gunma International Symposium on Chemistry, 2007年
• Atomic and nanometer scale observations on Si(110) reconstruction surface using Non-Contact Atomic Force Microscope, The 2nd Gunma International Symposium on Chemistry, 2007年
• Local heating of phase change material in PCMD, The 2nd Gunma International Symposium on Chemistry, 2007年
• Growth controle of ErSi2 nanowires on Si(001) and Si(110) surface, The 2nd Gunma International Symposium on Chemistry, 2007年
• Investigation of the switching time of an atomic switch controlled by solid electrochemical reaction, The 2nd Gunma International Symposium on Chemistry, 2007年
• Growth control of ErSi2 nanowires on Si(001) and Si(110) surfaces, The 3rd International Symposium on Development of Silicon-based Functional Materials, 2007年
• Estimation of AFM tip shape from AFM image for accurate AFM measurement, The 15th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy, 2007年
• Prototypical lateral multi-state phase-change memory with a multi-layer medium, 2007 IEEE International Conference on Electron Devices and Solid-State Circuits, 2007年
• Possibility to detect Raman spectrum using atomic force cantilevered SNOM with aperture-less pyramidal probe, 2007 IEEE International Conference on Electron Devices and Solid-State Circuits, 2007年
• 電子線描画とドライエッチングを用いた超高密度記録ビット形成の可能性, 第53回応用物理学会関連連合講演会, 2006年
• AFMによる微細パターン側面粗さの観察（Review-AFMの研究(1)）, 第53回応用物理学会関連連合講演会, 2006年
• ラテラル型相変化抵抗素子における相変化繰り返し実験, 第53回応用物理学会関連連合講演会, 2006年
• Possibility to Form Nanometer-Sized Optical Probe in an Atomic Force Cantilevered SNOM, International Conference on Nanoscience and Technology 2006, 2006年
• Nano-dot arrays with a bit pitch and a track pitch of 25 nm written by EB writing for 1 Tb/in2 storage, Micro- and Nano-Engineering 2006 32nd Intern. Conf., 2006年
• Growth control of self-assembled ErSi2 nanowire on silicon surface, Micro- and Nano-Engineering 2006 32nd Intern. Conf., 2006年
• Possibility to read out 20-nm-sized pits using a near-field optical probe in a atomic force cantilevered SNOM, 8th Intern. Conf. on Solid-State and Integrated Circuit Technology, 2006年
• A Novel Multi-Channel Phase-Change Memory Cell for Multi-State Storage with High Controllability, 8th Intern. Conf. on Solid-State and Integrated Circuit Technology, 2006年
• Terabit patterning ？ Electron beam drawing with a bit pitch and track pitch of 25 nm -, The 8th Asian Symposium on Information Storage Technology, 2006年
• UHV NC-AFM Observation of Surface Structure and Grain Size Changes of Ge2Sb2Te5 Films by Annealing Effect, The 14th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy, 2006年
• Frequency Sweep Method Using Piezo- Resistive Cantilever for Femto-Gram Biosensor, The 14th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy, 2006年
• Possibility to Form Nanometer-Sized Optical Probe in an Atomic Force Cantilevered SNOM, International Conference on Nanoscience and Technology 2006, 2006年
• Nano-dot arrays with a bit pitch and a track pitch of 25 nm written by EB writing for 1 Tb/in2 storage, Micro- and Nano-Engineering 2006 32nd Intern. Conf., 2006年
• Growth control of self-assembled ErSi2 nanowire on silicon surface, Micro- and Nano-Engineering 2006 32nd Intern. Conf., 2006年
• Possibility to read out 20-nm-sized pits using a near-field optical probe in a atomic force cantilevered SNOM, 8th Intern. Conf. on Solid-State and Integrated Circuit Technology, 2006年
• A Novel Multi-Channel Phase-Change Memory Cell for Multi-State Storage with High Controllability, 8th Intern. Conf. on Solid-State and Integrated Circuit Technology, 2006年
• Terabit patterning ？ Electron beam drawing with a bit pitch and track pitch of 25 nm -, The 8th Asian Symposium on Information Storage Technology, 2006年
• UHV NC-AFM Observation of Surface Structure and Grain Size Changes of Ge2Sb2Te5 Films by Annealing Effect, The 14th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy, 2006年
• Frequency Sweep Method Using Piezo- Resistive Cantilever for Femto-Gram Biosensor, The 14th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy, 2006年
• Annealing effect of phase change and current control in phase change channel transistor memory, 2005 Intern. Conf. Solid State Devices and Materials (SSDM 2005), 2005年
• Possibility to form an ultrahigh packed fine pit and dot array for future storage using EB-writing, Intern. Conf. Micro and Nano Engineering 2005, 2005年
• カンチレバー型フェムトグラムバイオセンサを用いた抗体抗原反応測定, 第52回応用物理学会関連連合講演会, 2005年
• カンチレバー共振型超高感度質量センサー, 日本学術振興会ナノプローブテクノロジー第167委員会第40回研究会, 2005年
• 近接場磁気光学カー効果顕微鏡(NKEM)の試作, 第52回応用物理学会関連連合講演会, 2005年
• 電子線描画法を用いた超高密度記録ビット形成の可能性, 第66回応用物理学会学術講演会, 2005年
• Femtogram mass biosensor using a self-sensing cantilever for an allergy checker, 2nd International Conference on Advanced Materials and Nanotechnology, 2005年
• Femtogram Mass Biosensor Using a Self-sensing Cantilever for Allergy Check, The 13th International Conference on Scanning Tunneling Microscopy/Spectroscopy and Related Techniques, 2005年
• Nano-dots formation on silver sulphide surface using electron beam induced charge, Intern. Conf. Micro and Nano Engineering 2005, 2005年
• Thickness Dependences of Phase Change and Channel Current Control in Phase-Change Channel Transistor, 2005 IEEE International Conference on Electron Devices and Solid-State Circuits, 2005年
• Formation of very fine pit and dot arrays using EB writing for ultrahigh density strage toward 1 Tb/in2, 2005 IEEE International Conference on Electron Devices and Solid-State Circuits, 2005年
• Si清浄表面上でのErSi2ナノワイヤーの成長, 第66回応用物理学会学術講演会, 2005年
• UHV-AFMを用いた加熱前/後におけるGe2Sb2Te5薄膜の表面構造の観察, 第66回応用物理学会学術講演会, 2005年
• Annealing effect of phase change and current control in phase change channel transistor memory, 2005 Intern. Conf. Solid State Devices and Materials (SSDM 2005), 2005年
• Possibility to form an ultrahigh packed fine pit and dot array for future storage using EB-writing, Intern. Conf. Micro and Nano Engineering 2005, 2005年
• Femtogram mass biosensor using a self-sensing cantilever for an allergy checker, 2nd International Conference on Advanced Materials and Nanotechnology, 2005年
• Femtogram Mass Biosensor Using a Self-sensing Cantilever for Allergy Check, The 13th International Conference on Scanning Tunneling Microscopy/Spectroscopy and Related Techniques, 2005年
• Nano-dots formation on silver sulphide surface using electron beam induced charge, Intern. Conf. Micro and Nano Engineering 2005, 2005年
• Thickness Dependences of Phase Change and Channel Current Control in Phase-Change Channel Transistor, 2005 IEEE International Conference on Electron Devices and Solid-State Circuits, 2005年
• Formation of very fine pit and dot arrays using EB writing for ultrahigh density strage toward 1 Tb/in2, 2005 IEEE International Conference on Electron Devices and Solid-State Circuits, 2005年
• Si(111)面ステップ上でのKFM像観察, 第65回応用物理学会学術講演会, 2004年
• 相変化メモリトランジスタと結晶成長, 日本結晶成長学会 第34回結晶成長国内会議, 2004年
• 相変化チャンネルを用いたメモリトランジスタの可能性, シリコン材料・デバイス研究会「新型不揮発性メモリー」, 2004年
• Femtogram mass sensor using a piezo resistive cantilever for bioscience, Intern. Conf. Micro and Nano Engineering 2004, 2004年
• Just-on-Surface MFM observation of magneto-optical disc, The 12th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy, 2004年
• Ultra High Vacuumed Kelvin Probe Force Microscopy Observation on Si (111) Step Edges, The 12th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy, 2004年
• カンチレバー共振型ピコグラムセンサー, 2004年秋季 第65回応用物理学会学術講演会, 2004年
• Electric properties of thin GeSbTe and AgInSbTe films by annealing, 16th Symposium Phase Change Optical Information Storage PCOS 2004, 2004年
• Femtogram mass biosensor using a piezoresistive cantilever in water, The 12th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy, 2004年
• Prototype of ANOM based on a TTL type optical lever polarized illumination and detection system, The 12th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy, 2004年
• 高精度形状計測を目指したステップインモードAFMの研究(1), 第51回応用物理学会関連連合講演会, 2004年
• 超高密度記録のための相変化チャンネルトランジスタの可能性, 電子情報通信学会 SDM(シリコンデバイス材料)研究会, 2004年
• Picogram mass sensor using microcantilever, SICE Annual Conference 2004, 2004年
• Femtogram mass sensor using a piezo resistive cantilever for bioscience, Intern. Conf. Micro and Nano Engineering 2004, 2004年
• Electric properties of thin GeSbTe and AgInSbTe films by annealing, 16th Symposium Phase Change Optical Information Storage PCOS 2004, 2004年
• Just-on-Surface MFM observation of magneto-optical disc, The 12th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy, 2004年
• Ultra High Vacuumed Kelvin Probe Force Microscopy Observation on Si (111) Step Edges, The 12th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy, 2004年
• Femtogram mass biosensor using a piezoresistive cantilever in water, The 12th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy, 2004年
• Prototype of ANOM based on a TTL type optical lever polarized illumination and detection system, The 12th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy, 2004年
• Picogram mass sensor using microcantilever, SICE Annual Conference 2004, 2004年
• 力学的原子操作による量子化コンダクタンスの形成と原子移動の観察, 物性研短期研究会「ナノ力学による原子分子の操作と組立」, 2003年
• 力学的原子操作による量子化コンダクタンスの形成と原子移動の観察, 分子科学研究所研究会 原子分子のナノ力学―原子・分子の操作と組立―, 2003年
• Proposal of memory transistor using a phase change and nano-size effects for high density memory array, Proc. 15th Symp. Phase Change Opt. Inform. Storage (Ed. M. Okuda), 2003年
• ピエゾ抵抗カンチレバの共振周波数シフトを用いた水吸着のピコグラム検出, 2003年秋季 第64回応用物理学会学術講演会, 2003年
• Pico-gram mass sensor using piezo resistive cantilever, The 11th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy, 2003年
• ナノ力学的走査による量子化コンダクタンス･デバイス, 第48回顕微鏡学会シンポジウム, 2003年
• 原子スイッチを用いたマトリックスアレイメモリの研究, 2003年秋季第64回応用物理学会学術講演会, 2003年
• 超高密度デバイスのための相変化メモリトランジスタの可能性, 2003年秋季第64回応用物理学会学術講演会, 2003年
• Pico-gram mass deviation detected by resonance frequency shift of AFM cantilever, SICE Annual Conference 2003, 2003年
• Proposal of memory transistor using a phase change and nano-size effects for high density memory array, Proc. 15th Symp. Phase Change Opt. Inform. Storage (Ed. M. Okuda), 2003年
• Pico-gram mass sensor using piezo resistive cantilever, The 11th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy, 2003年
• Pico-gram mass deviation detected by resonance frequency shift of AFM cantilever, SICE Annual Conference 2003, 2003年
• ピコグラム検出感度を持つカンチレバ型バイオセンサの研究, 第49回北関東医学会総会, 2002年
• Er をドープした発光するSi薄膜のME-CAICISSによる構造解析, 表面物理シンポジウム'2002（応用物理学会，薄膜・表面物理分科会特別研究会）, 2002年
• AFMカンチレバの共振周波数シフトを用いた水吸着のピコグラム検出, 2002年秋季 第63回応用物理学会学術講演会, 2002年
• Er をドープした発光するSi薄膜のME-CAICISSによる結晶構造解析, 日本結晶成長学会 第32回結晶成長国内会議, 2002年
• 固相エピタキシー法により作成したErドープSi膜のフォトルミネッセンス及びME-CAICISSによる評価, 2001年春季 第48回応用物理学関係連合講演会, 2001年
• 2種類のソースからのＲＦプラズマＣＶＤにおける非晶質SiCの成長カイネティクス, SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会第１０回講演会, 2001年
• Growth Kinetics of Hydrogenated Amorphous Silicon Carbide films by RF Plasma Enhanced CVD from Two Kinds of Source Materials, The 2nd Asian Conference on CVD, 2001年
• Growth Kinetics of Hydrogenated Amorphous Silicon Carbide films by RF Plasma Enhanced CVD from Two Kinds of Source Materials, The 2nd Asian Conference on CVD, 2001年
• Interface structural analysis using medium-energy coaxial impact-collision ion scattering spectroscopy, Sixteenth International Conference on the Application of Accelerators in Research and Industry (CAARI 2000), 2000年
• 中エネルギー同軸型直衝突イオン散乱分光法 (ME-CAICISS) によるSi/Sb(d-doped)/Si(001)構造の分析, 表面物理シンポジウム'2000（応用物理学会，薄膜・表面物理分科会特別研究会）, 2000年
• シリコンカーバイドＣＶＤ過程における２サイト競合吸着モデル, 日本結晶成長学会 第30回結晶成長国内会議, 1999年
• 中エネルギー同軸型直衝突イオン散乱分光装置 (ME-CAICISS), 応用加速器・関連技術研究シンポジウム, 1999年
• 中エネルギー同軸型直衝突イオン散乱分光法 (ME-CAICISS), 法政大学イオンビーム工学研究所シンポジウム, 1999年
• 熱重量天秤を用いたシリコンカーバイドＣＶＤ過程の成長モデル（Ⅱ）, 日本結晶成長学会 第29回結晶成長国内会議, 1998年
• 熱重量天秤を用いたシリコンカーバイドＣＶＤ過程の成長モデル, 日本結晶成長学会 第28回結晶成長国内会議, 1997年
• 熱重量天秤を用いたシリコンカーバイドのＣＶＤ過程のその場観察, 日本結晶成長学会 第27回結晶成長国内会議, 1996年
• シリコンカーバイドのＣＶＤ成長過程の熱重量天秤による重量その場観察, SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第５回講演会, 1996年
• Study of silicon carbide CVD process by thermogravimetry, Sixth International Conference on Silicon Carbide and Related Materials, 1995年
• 熱重量法によるＣＶＤ過程の研究（Ⅲ）, 日本結晶成長学会 第26回結晶成長国内会議, 1995年
• 熱重量法によるＣＶＤ過程の研究（Ⅱ）, 日本結晶成長学会 第25回結晶成長国内会議, 1994年
• 熱重量法によるＣＶＤ過程の研究（Ⅰ）, 日本結晶成長学会 第24回結晶成長国内会議, 1993年

Works（作品等）

• 経済産業省関東経済産業局 地域新生コンソーシアム研究開発事業「超高感度簡易バイオセンサの開発」, 2006年, 2008年
• 科学技術振興機構（ＪＳＴ）革新技術開発研究事業「ひずみSiプロセス計測用近接場ラマン分光装置の開発」, 2006年, 2009年
• STARC（半導体理工学研究センター）共同研究 「相変化薄膜素子の微結晶性と不揮発性多値記録特性に関する研究」, 2005年, 2008年
• 共同研究（株式会社日本カーリット）「多孔質シリコン基板開発」, 2005年, 2006年
• 文部科学省特別教育研究経費（連携融合事業）「ケイ素を基軸とする機能性材料の開拓」（分担研究）「Si清浄表面上でのErSi2ナノワイヤ成長制御」, 2005年, 2007年
• 産学官連携推進トライ補助 「バイオセンサの開発」, 2004年, 2005年
• 北関東産官学研究会「ピエゾ抵抗カンチレバを用いた抗原抗体反応用バイオセンサの開発」, 2003年, 2004年
• 都市エリア産官学連携促進事業（桐生・太田地区）「次世代ナノプロセッシングの研究開発」, 2002年, 2004年
• 北関東産官学研究会「ピコグラム検出感度を持つカンチレバ型バイオセンサの開発」, 2002年, 2003年
• MIRAIプロジェクト「測長AFMに関する研究」, 2002年, 2005年

産業財産権

• 特許権, バイオセンサ
• 特許権, 記録素子
• 特許権, 質量測定装置及びカンチレバ
• 特許権, メモリ装置、電子機器、相変化メモリ素子への記録方法
• 特許権, カンチレバー型センサ
• 特許権, 走査型プローブ顕微鏡、試料表面形状の計測方法、及びプローブ装置
• 特許権, バイオセンサ及びバイオセンサチップ
• 特許権, プローブ顕微鏡およびプローブ顕微鏡型光記録再生ヘッド装置
• 特許権, カンチレバー型センサ
• 特許権, 走査型プローブ顕微鏡、試料表面形状の計測方法、及びプローブ装置
• 特許権, 相変化メモリ素子、相変化チャンネルトランジスタおよびメモリセルアレイ
• 特許権, 多値記録相変化メモリ素子、多値記録相変化チャンネルトランジスタおよびメモリセルアレイ
• 特許権, 質量測定装置及びカンチレバ
• 特許権, 近接場光探針、光学装置、プローブ顕微鏡、及びプローブ顕微鏡型記録再生ヘッド装置
• 特許権, カンチレバー型センサ
• 特許権, カンチレバー、バイオセンサ、及びプローブ顕微鏡
• 特許権, 近接場偏光顕微鏡
• 特許権, 近接場偏光顕微鏡
• 特許権, メモリ素子、メモリセル、及びメモリセルアレイ
• 特許権, 探針の形状計測方法、試料の形状測定方法、及びプローブ顕微鏡
• 特許権, 加速度センサ
• 特許権, PCT/JP2005/13881

受賞

• 結晶成長国内会議講演奨励賞, 2002年
• 計測自動制御学会2004年会議インターナショナルアワード（最優秀講演賞）, 2004年
• SICE Annual Conference 2004 International Award, 2004年

共同研究・競争的資金等の研究課題

• 体液１滴中の多種生体物質を同時検出する超高感度Siナノワイヤバイオセンサの創製, Development of ultrahigh-sensitive silicon nanowire biosensor for simultaneous detection of various biomolecules in a single drop of body fluid, 曾根 逸人; 大嶋 紀安; 和泉 孝志; 張 慧, 日本学術振興会, Japan Society for the Promotion of Science, 科学研究費助成事業 挑戦的研究(萌芽), Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory), 挑戦的研究(萌芽), Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory), 群馬大学, Gunma University, 2020年07月, 2023年03月, 研究代表者, 20K21879
• 体外受精卵の成長をモニタリングするリング型マルチ卵重計の創製, Development of ring-type multi-sensor for embryo growth monitoring, 曾根 逸人; 坂田 利弥; 張 慧, 日本学術振興会, Japan Society for the Promotion of Science, 科学研究費助成事業 基盤研究(B), Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (B), 基盤研究(B), Grant-in-Aid for Scientific Research (B), 群馬大学, Gunma University, 2018年04月, 2021年03月, 研究代表者, 本研究では、受精卵の外周を固定できるリング型バイオセンサを作製し、育成期間中の質量変化と受精卵から放出されるイオン濃度を同時連続モニタリング可能なシステムの開発を目指す。平成30年度は、以下の成果を得た。 (1) リング型マルチセンサの形状設計とプロセス設計： SOI基板のデバイス層に内径90μmのドーナツ状のリングを形成し、4方向からの梁および片持ち梁で支持するリング型センサを有限要素解析ソフト（COMSOL Multiphysics）を用いて設計するとともに、フォトリソグラフィによる作製プロセスを設計した。その結果、梁の長さ100～500 μm、梁のネッキング幅3～6 μmをパラメータとして4方向梁16種類、片持ち梁8種類の形状を決定した。 (2) リング型マルチセンサの作製と特性評価： センサ作製に必要な5層分のフォトマスクを東大VDECの電子線描画装置（F5112，ADVANTEST）で作製した。そして、熱酸化絶縁層形成とPドーピング、電極形成、センサ外形形成、絶縁保護層形成、裏面深堀加工、犠牲層エッチングの6工程でセンサを作製した。Pドーピングで形成したピエゾ抵抗に対してブリッジ回路を構成してポリスチレンビーズを搭載したところ、5.3 mVの出力変化が確認できた。また、イオンセンサのpH応答を測定したところ22.4 mV/pHの検出感度が得られた。 (3) イオンセンサ高感度化のためのSiナノワイヤ（SiNW）バイオセンサの研究： SOI基板にフォトリソグラフィで電極と絶縁膜、電子線リソグラフィで最小線幅16.2 nmのSiNWセンサを作製した。低濃度アルブミンおよび免疫グロブリンG（IgG）と反応させた結果、濃度6 aMの超低濃度IgGで約5%の抵抗変化を得た。, 18H03547

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• ｉＰＳ細胞のガン化を判別する高感度ナノワイヤバイオセンサアレイの創製, Fabrication of high-sensitivity nanowire biosensor array for canceration diagnosis of iPS cells, 曾根 逸人; ZHANG HUI, 日本学術振興会, Japan Society for the Promotion of Science, 科学研究費助成事業 特別研究員奨励費, Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for JSPS Fellows, 特別研究員奨励費, Grant-in-Aid for JSPS Fellows, 群馬大学, Gunma University, 2017年04月, 2019年03月, 研究代表者, 本研究では、iPS（人工多能性幹）細胞のガン化の原因を解明するため、iPS細胞の分化挙動を調べるための高感度バイオセンサの研究開発を目的とする。平成30年度は、以下の4項目について研究し、成果を挙げた。 (1) 電子線描画法によるレジストナノワイヤ（NW）細線化及びSi層への転写によるSiNW形成：電子線描画装置を用いて最小線幅18.7 nmの高分解能レジストHSQのNW列をSilicon on insulator （SOI）基板上に形成した。そして、HSQ NW列をマスクとして反応性イオンエッチング（RIE）によってSiへパターン転写した結果、最小線幅16.2 nmのSiNW列の形成を確認した。 (2) SiNW列への電極形成によるバイオセンサ作製技術の確立：フォトリソグラフィの重ねプロセスにより、SiNW列にTi電極と絶縁保護膜を形成し、SiNW列の周囲に内径2 mmの反応セルを設置後に絶縁被覆してSiNWバイオセンサを作製した。 (3) 低濃度生体分子測定による検出感度評価：ホスホン酸処理によりSiNW表面に自己組織化単分子膜を形成した後に、卵白アルブミン及び免疫グロブリンG（IgG）を反応させた結果、濃度6 aMの超低濃度IgGの検出が確認できた。なお、コントロールIgGには反応しないこと、IgG濃度600 nMまでの増加に伴ってSiNWを流れる電流の連続的な減少も確認した。 (4) SiNWバイオセンサによる受精卵の活動状態モニタリング：SiNWバイオセンサの反応セル内にウニ受精卵を入れてSiNWに流れる電流を測定した結果、1細胞期から2細胞期までの約75分間に約5 nAの電流増加を確認した。これは、受精卵の成長に伴って卵膜から放出される水素イオンを検出したことを示唆しており、生きた細胞の活動モニタリングの可能性が確認できたことから、iPS細胞の評価への応用が期待できる。, 17F17058

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• 体外受精卵のクオリティーを選別するマルチ卵重計の創製, Development of multi-sensing mass-sensor for quality evaluation of in-vitro fertilized egg, 曾根 逸人; 保坂 純男; 坂田 利弥; 齋藤 暁子, SONE Hayato; HOSAKA Sumio; SAKATA Toshiya; SAITO Akiko, 日本学術振興会, Japan Society for the Promotion of Science, 科学研究費助成事業 基盤研究(B), Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (B), 基盤研究(B), Grant-in-Aid for Scientific Research (B), 群馬大学, Gunma University, 2014年04月, 2018年03月, 研究代表者, 本研究では、体外受精卵の非侵襲な精密診断法の開発を目指して、受精卵の重量と呼吸活性の連続測定が可能な、ピエゾ抵抗カンチレバに半導体センサを搭載したマルチ卵重計の創製を目的とした。受精卵を搭載可能にするため集束イオンビーム加工によってホルダ型ピエゾ抵抗カンチレバを作製し、カンチレバの共振周波数検出法および変位検出法を用いて、マウス受精卵およびウニ卵子の質量を測定することに成功した。また、受精卵質量を検証するため、沈降測定法を開発してマウス受精卵と未受精卵の密度および質量を測定した。さらに、Siナノワイヤセンサを開発して、イオン検出による呼吸活性の高感度測定の可能性を示した。, In this research, a multi-sensing mass-sensor using piezoresistive cantilever with semiconductor sensor was investigated to measure the mass and respiration activity of a fertilized egg for non-invasive quality evaluation of in-vitro fertilized egg. We fabricated a holder-type piezoresistive cantilever using focused ion beam processing to place a single fertilized egg on the cantilever. Then, we measured a single mouse fertilized egg and sea urchin egg mass by a resonance frequency detection method and deflection detection method using the holder-type cantilever. To verify the fertilized egg mass, we measured the mass and density of a mouse fertilized egg and non-fertilized egg using a sedimentation measurement method. We also developed a Si nanowire sensor, and we demonstrated to detect a low-concentration biomolecules for respiration activity measurement of the fertilized egg., 26282143

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• 電子線リソグラフィを用いた高感度バイオセンサの作製, 曾根 逸人, 文部科学省, ナノテクノロジープラットフォーム 研究設備の試行的利用, 2014年03月, 2015年04月, 研究代表者, 競争的資金
• 高アスペクトAFM計測のための通電加熱型ナノワイヤ探針作製装置の開発, 高アスペクトAFM計測のための通電加熱型ナノワイヤ探針作製装置の開発, 曾根 逸人, 科学技術振興機構（ＪＳＴ）, 受託研究 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム（A-STEP）フィージビリスタディステージ 探索タイプ, Funded Research, 2011年, 2012年, 研究代表者, 競争的資金
• ナノワイヤ探針の作製と高アスペクトパターンの三次元計測, ナノワイヤ探針の作製と高アスペクトパターンの三次元計測, 曾根 逸人, 科学技術振興機構（ＪＳＴ）, 受託研究 シーズ発掘試験研究, Funded Research, 2008年04月, 2009年03月, 研究代表者, 競争的資金
• 自己組織化形成ナノワイヤデバイスの開発, 曾根 逸人, 日本学術振興会, Japan Society for the Promotion of Science, 科学研究費助成事業 若手研究(B), Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Young Scientists (B), 若手研究(B), Grant-in-Aid for Young Scientists (B), 群馬大学, Gunma University, 2003年, 2004年, 研究代表者, 本研究は、自己組織化により形成されたナノワイヤを用いたデバイスの研究開発を目標とした。本年度は、超高真空中でシリコン(Si)基板上にエルビウム(Er)を蒸着させ、その表面構造変化を超高真空走査トンネル顕微鏡(STM)によって観察した。最初にEr蒸着条件を決めるため、電子ビーム蒸着源のエミッション電流設定によって、Erイオン電流を1〜50nAの範囲で制御できる条件を調べた。さらに、蒸着速度と蒸着量の安定性を調べて、イオン電流を10〜20nA、蒸着時間を10〜60秒に決めた。この時の蒸着量は、イオン電流から計算すると約0.001〜0.01ML(MLは原子層)であり、蒸着時の真空度約2×10^<-9>Torrからは、約0.1L(1L=1.0×10^<-6>Torr・s)と見積もることができる。実験では、Er蒸着前にSi基板表面状態をSTMによって観察し、Siの清浄表面のSi(111)7x7およびSi(001)2x1構造を確認した。Si(111)上へのEr蒸着後には、Erが島状に付着している状態が観察でき、その島のサイズは高さ約5nm、幅約10nmであった。これを600℃で5分間アニールしたところ、島の幅が約5nmに減少し、島の密度が増加することがわかった。Si(001)の場合、Er蒸着後には、Si(111)の時と同様に島状のErが観察でき、これを600℃で5分間アニールしたところ、島状のErが減少して原子の配列(ナノワイヤ)が観察できた。なお、Si(001)表面を平坦化するには、表面清浄化時の電流通電方向を表面に存在するステップの下り方向に合わせることが重要であることがわかった。今後、原子配列構造や電子状態を計測し、デバイス応用を研究する予定である。, 15710081
• 超高感度カンチレバ型バイオセンサの開発, Cooperative Research, 2006年, 競争的資金
• 自己組織化形成ナノワイヤの作製とデバイス応用, Grants and Funding, 2003年, 競争的資金

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• 超高感度カンチレバ型バイオセンサの開発, 共同研究, 2006年, 競争的資金

科学研究費の申請・獲得状況

• 基盤研究(A), 体外受精卵の成長と精子力を定量評価するマルチ卵重計および精子活動センサの創製, 新規, 2021年
• 挑戦的研究(萌芽), 体液１滴中の多種生体物質を同時検出する超高感度Siナノワイヤバイオセンサの創製, 新規, 2020年
• 基盤研究(B), 体外受精卵の成長をモニタリングするリング型マルチ卵重計の創製, 18H03547, 継続, 2020年
• 挑戦的研究(萌芽), 体液１滴中の多種生体物質を同時検出する超高感度Siナノワイヤバイオセンサの創製, 20K21879, 新規, 2020年
• 挑戦的研究(萌芽), 体液１滴に含まれるウイルス１個を検出する超高感度Siナノワイヤバイオセンサの創製, 新規, 2019年
• 基盤研究(B), 体外受精卵の成長をモニタリングするリング型マルチ卵重計の創製, 18H03547, 継続, 2019年
• 基盤研究(B), 体外受精卵の成長をモニタリングするリング型マルチ卵重計の創製, 新規, 2018年
• 基盤研究(B), 体外受精卵の成長をモニタリングするリング型マルチ卵重計の創製, 18H03547, 新規, 2018年
• 特別研究員奨励費, iPS細胞のガン化を判別する高感度ナノワイヤバイオセンサアレイの創製, 17F17058, 継続, 2018年
• iPS細胞のガン化を判別する高感度ナノワイヤバイオセンサアレイの創製, 17F17058, 継続, 2018年
• 体外受精卵の成長をモニタリングするリング型マルチ卵重計の創製, 18H03547, 新規, 2018年
• iPS細胞のガン化を判別する高感度ナノワイヤバイオセンサアレイの創製, 17F17058, 新規, 2017年
• 体外受精卵のクオリティーを選別するマルチ卵重計の創製, 26282143, 継続, 2016年
• 体外受精卵のクオリティーを選別するマルチ卵重計の創製, 26282143, 継続, 2015年
• 体外受精卵のクオリティーを選別するマルチ卵重計の創製, 26282143, 継続, 2014年
• 自己組織化形成ナノワイヤデバイスの開発, 15710081, 継続, 2004年
• 自己組織化形成ナノワイヤデバイスの開発, 15710081, 新規, 2003年

社会貢献活動情報

社会貢献活動

• PC を用いた計測制御基礎, 理工学府エレクトロメカニクス教育研究センター, 令和５年度群馬大学エレクトロニクスエグゼクティブ養成プログラム, 2023年09月12日, 2023年09月12日, 桐生キャンパス　3号館101室, セミナー・ワークショップ, 　エレクトロメカニクス教育研究センターが主催する令和５年度群馬大学エレクトロニクスエグゼクティブ養成プログラムの講座として、「PCを用いた計測制御基礎」を実施した。内容はグラフィカルプログラミングソフトウェアのLabVIEW（ナショナルインスツルメンツ社製）を用いた基本的な電子計測プログラミングとデータ集録方法について解説した上で、ダイオード、太陽電池などの電子デバイス特性の自動計測および出力自動制御の実習を行った。（対象：社会人・一般, 企業）
• 栃木県立足利高等学校出張講義, 栃木県立足利高等学校, 2023年06月13日, 2023年06月13日, ３学年進路説明会において、理工学部について説明した。群馬大学には1室が割り当てられていて、理工学部の他に共同教育学部、情報学部、医学部保健学科が参加して、各ブースで説明を実施した。スクリーン、プロジェクタが使用できないとの連絡を受けていたので、広報室から事前送付いただいた資料（理工学部案内冊子、キャンパス案内、理工学部説明スライド印刷版）を配布して、主にスライド印刷版を使って説明した。合計4回説明して、各回の生徒（保護者）人数は、1回目21名（7名）、2回目5名（2名）、3回目4名（2名）、4回目1名（1名＋先生2名）であった。この人数は資料請求カードを提出してくれた人数のみで、冊子の残数から数えた参加人数は54人であった。14:30～17:00の間に生徒と保護者が自由に回って来る形式だったので、1回目の参加者が志望順位の高さを示していると考えられる。1回目は用意されていた8席を大きく上回る生徒と保護者が来て、大勢に取り巻かれて大声で説明することになったので、理工学部への関心の高さを感じた。（対象：高校生, 教育関係者, 保護者）
• ナノテクで受精卵の重さを測る―不妊治療への応用を目指して―, 株式会社　グリーンベース, トークカフェ at PLUS+アンカー, 2022年12月10日, 2022年12月10日, PLUS+アンカー, 講演会, 　トークカフェ at PLUS+アンカーで「ナノテクで受精卵の重さを測る―不妊治療への応用を目指して―」のタイトルで一般市民向けの講演を行った。日本の不妊治療の現状を説明した後に、現在我々が研究している受精卵の重さを測定する装置の開発とそれを用いた研究成果について紹介した。（対象：社会人・一般）
• PC を用いた計測制御基礎, 理工学府エレクトロメカニクス教育研究センター, 令和４年度群馬大学エレクトロニクスエグゼクティブ養成プログラム, 2022年09月09日, 2022年09月09日, 桐生キャンパス　3号館101室, セミナー・ワークショップ, 　エレクトロメカニクス教育研究センターが主催する令和４年度群馬大学エレクトロニクスエグゼクティブ養成プログラムの講座として、「PCを用いた計測制御基礎」を実施した。内容はグラフィカルプログラミングソフトウェアのLabVIEW（ナショナルインスツルメンツ社製）を用いた基本的な電子計測プログラミングとデータ集録方法について解説した上で、ダイオード、太陽電池などの電子デバイス特性の自動計測および出力自動制御の実習を行った。（対象：社会人・一般, 企業）
• 群馬大学大学院理工学府 エレクトロメカニクス教育研究センター キックオフミーティング, 理工学府エレクトロメカニクス教育研究センター, 群馬大学大学院理工学府 エレクトロメカニクス教育研究センター キックオフミーティング, 2021年12月21日, 2021年12月21日, エレクトロメカニクス教育研究センターキックオフミーティング_チラシ.pdf, その他, パスワードが無い, オンライン, セミナー・ワークショップ, 2021年4月1日付で群馬大学大学院理工学府に設置した「エレクトロメカニクス教育研究センター」を紹介するためのキックオフミーティングをオンラインで開催した。（対象：教育関係者, 研究者, 社会人・一般, 企業, 行政機関）

  添付ファイルのURL
• PCを用いた計測制御基礎とデータ解析基礎（前半）, 理工学府エレクトロメカニクス教育研究センター, 令和３年度群馬大学エレクトロニクスエグゼクティブ養成プログラム, 2021年12月02日, 2021年12月02日, 桐生キャンパス，オンライン, セミナー・ワークショップ, 　エレクトロメカニクス教育研究センターが主催する令和３年度群馬大学エレクトロニクスエグゼクティブ養成プログラムの講座として、「PCを用いた計測制御基礎とデータ解析基礎（前半）」を実施した。内容はグラフィカルプログラミングソフトウェアのLabVIEW（ナショナルインスツルメンツ社製）を用いた基本的な電子計測プログラミングとデータ集録方法について解説した上で、ダイオード、太陽電池などの電子デバイス特性の自動計測および出力自動制御の実演を行った。（対象：社会人・一般, 企業）
• 前橋育英高校出張講義, 前橋育英高校, 2021年11月18日, 2021年11月18日, 前半は「ナノスケールの計測加工と高感度バイオセンサへの応用」というタイトルで模擬講義と私の研究紹介を行った。後半は「群馬大学理工学部紹介_20211104.pptx」を用いて、理工学部について紹介した。今回の依頼では「大学での研究の面白さを知るために、高校生の目線に立った分かりやすい切り口で模擬講義を実施」となっていたので、前半の研究紹介を長めにしました。（対象：高校生, 教育関係者）
• 栃木県立佐野東高校出張講義, 栃木県立佐野東高校, 2020年11月13日, 2020年11月13日, 前半は「ナノスケールの計測加工と高感度バイオセンサへの応用」というタイトルで模擬授業および私の研究紹介を行った。後半は「1_9.1設置承認_理工説明PPT(普通校)hs.pptx」を用いて、理工学部について紹介した。（対象：高校生, 教育関係者）

学術貢献活動

• 応用物理学会 薄膜・表面物理分科会, 学会・研究会等, 応用物理学会 薄膜・表面物理分科会, 2023年04月01日, 2024年03月31日
• 次世代ナノプローブ技術員会, 学会・研究会等, 次世代ナノプローブ技術員会, 2023年04月01日, 2024年03月31日
• 第36回マイクロプロセス・ナノテクノロジー国際会議, 学会・研究会等, 第36回マイクロプロセス・ナノテクノロジー国際会議, 2023年04月01日, 2023年12月31日
• 応用物理学会 薄膜・表面物理分科会企画チュートリアル, 学会・研究会等, 応用物理学会 薄膜・表面物理分科会, 2023年03月16日, 2023年03月16日
• 応用物理学会 薄膜・表面物理分科会企画シンポジウム, 学会・研究会等, 応用物理学会 薄膜・表面物理分科会, 2023年03月16日, 2023年03月16日
• 応用物理学会 薄膜・表面物理分科会, 学会・研究会等, 応用物理学会 薄膜・表面物理分科会, 2022年04月01日, 2023年03月31日
• 日本学術振興会ナノプローブテクノロジー第１６７委員会, 学会・研究会等, 日本学術振興会ナノプローブテクノロジー第１６７委員会, 2022年04月01日, 2023年03月31日
• 日本学術振興会ナノプローブテクノロジー第１６７委員会, 学会・研究会等, 日本学術振興会ナノプローブテクノロジー第１６７委員会, 2021年04月01日, 2022年03月31日
• 応用物理学会 薄膜・表面物理分科会, 学会・研究会等, 応用物理学会 薄膜・表面物理分科会, 2021年04月01日, 2022年03月31日
• 応用物理学会 薄膜・表面物理分科会, 学会・研究会等, 応用物理学会 薄膜・表面物理分科会, 2020年04月01日, 2021年03月31日
• 日本学術振興会ナノプローブテクノロジー第１６７委員会, 学会・研究会等, 日本学術振興会ナノプローブテクノロジー第１６７委員会, 2020年04月01日, 2021年03月31日
• 日本学術振興会ナノプローブテクノロジー第１６７委員会, 学会・研究会等, 2019年04月01日, 2020年03月31日
• 応用物理学会 薄膜・表面物理分科会, 学会・研究会等, 応用物理学会 薄膜・表面物理分科会, 2019年04月01日, 2020年03月31日
• 日本学術振興会ナノプローブテクノロジー第１６７委員会, 学会・研究会等, 2018年04月01日, 2019年03月31日
• 応用物理学会 薄膜・表面物理分科会, 学会・研究会等, 応用物理学会 薄膜・表面物理分科会, 2018年04月01日, 2019年03月31日